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    弹性波装置
    71.
    发明公开
    弹性波装置 审中-实审

    公开(公告)号：CN113169724A

    公开(公告)日：2021-07-23

    申请号：CN201980080668.2

    申请日：2019-12-04

    Applicant: 株式会社村田制作所

    Inventor： 大村正志 ,  木村哲也

    IPC: H03H9/145 ,  H03H9/25 ,  H03H9/64

    Abstract: 提供一种能够使谐振特性提高的弹性波装置。弹性波装置(1)具备支承基板、声反射层(3)、压电体层(4)以及IDT电极(5)。在声反射层(3)中，高声阻抗层(31)以及低声阻抗层中的至少一个为导电层。在将由IDT电极(5)的电极指间距(P1)决定的弹性波的波长设为λ，将多个第1电极指(53)的前端的包络线(L1)与多个第2电极指(54)的前端的包络线(L2)之间的区域设为交叉区域(55)时，在从支承基板的厚度方向的俯视下，导电层(高声阻抗层31)至少与交叉区域(55)重复，在多个第1电极指(53)延伸的方向上从多个第1电极指(53)的前端到导电层的端部(高声阻抗层31的端部31A)为止距离(d1)大于0且为12λ以下。

    弹性波装置、高频前端电路、通信装置及弹性波装置的制造方法
    72.
    发明公开
    弹性波装置、高频前端电路、通信装置及弹性波装置的制造方法 有权

    公开(公告)号：CN110383682A

    公开(公告)日：2019-10-25

    申请号：CN201880016222.9

    申请日：2018-02-23

    Applicant: 株式会社村田制作所

    Inventor： 木村哲也 ,  维拉·卡贾卡里

    IPC: H03H9/145 ,  H03H3/08 ,  H03H9/64 ,  H03H9/72

    Abstract: 提供一种难以发生谐振特性的劣化的弹性波装置。在相对置的第一端面(6c)及第二端面(6d)之间反射弹性波的端面反射型的弹性波装置(1)。在压电体(6)的第一主面(6a)上设置有第一电极指(7)及第二电极指(8)。将从连结第一端面(6c)、第二端面(6d)的第一方向观察第一电极指(7)和第二电极指(8)时重叠的部分设为交叉宽度部、且将压电体(6)中的第一端面(6c)与第二端面(6d)的距离设为压电体(6)的宽度时，在第一端面(6c)与第二端面(6d)对置的区域设置有不同宽度部分，该不同宽度部分具有与交叉宽度部的第二方向上的中央部分的压电体的宽度不同的宽度。

    弹性表面波装置
    76.
    发明授权
    弹性表面波装置 有权

    公开(公告)号：CN102257729B

    公开(公告)日：2014-03-12

    申请号：CN200980150881.2

    申请日：2009-11-25

    Applicant: 株式会社村田制作所

    Inventor： 木村哲也 ,  门田道雄

    IPC: H03H9/145 ,  H03H9/25

    CPC classification number: H03H9/02559 ,  H03H9/14541

    Abstract: 本发明提供一种机电耦合系数(k2)大且插入损失低，并且具有高耐静电性的弹性表面波装置。在压电体(10)上形成有多根槽(10a)。IDT电极(37)的电极指(31a、31b)具有：位于槽(10a)的内部的第一电极层(21)、形成在第一电极层(21)上且位于比槽(10a)的上端面靠上侧的位置的第二电极层(22)。在弹性表面波装置(1)中，第一电极层(21)的平均密度(ρa)的3次方与第一电极层的平均刚度(C44a)之积的1/2次方(ρa3×C44a)1/2比第二电极层(22)的平均密度(ρb)的3次方与第二电极层(22)的平均刚度(C44b)之积的1/2次方(ρb3×C44b)1/2大。

    弹性表面波装置
    77.
    发明授权
    弹性表面波装置 有权

    公开(公告)号：CN101904095B

    公开(公告)日：2013-05-08

    申请号：CN200880121753.0

    申请日：2008-10-17

    Applicant: 株式会社村田制作所

    Inventor： 木村哲也 ,  门田道雄 ,  矢追真理

    IPC: H03H9/145 ,  H03H9/25

    CPC classification number: H03H9/02559 ,  H03H9/14538

    Abstract: 本发明提供一种弹性表面波装置，其通过形成SiO2膜，能够实现频率温度特性的改善，且不容易产生插入损耗的增大，不仅能够使得电极的反射系数充分大，也能抑制不希望的所述寄生现象，由此能够得到更良好的谐振特性或滤波特性。在LiNbO3基板(1)的上表面(1a)形成有多条槽(1b)，在槽(1b)内形成有以Pt为主体的IDT电极(3)，覆盖LiNbO3基板(1)的上表面(1a)及IDT电极(3)而形成有SiO2层(4)，并且SiO2层(4)的表面被平坦化，利用基于瑞利波的响应，且LiNbO3基板的欧拉角处于(0°±5°，208°～228°，0°±5°)的范围内。

    弹性波装置
    78.
    发明公开
    弹性波装置 有权

    公开(公告)号：CN102113214A

    公开(公告)日：2011-06-29

    申请号：CN200980130108.X

    申请日：2009-07-21

    Applicant: 株式会社村田制作所

    Inventor： 木村哲也 ,  门田道雄

    IPC: H03H9/145 ,  H03H9/25

    CPC classification number: H03H9/02559 ,  H03H9/0222 ,  H03H9/02834 ,  H03H9/14541

    Abstract: 本发明提供一种弹性波装置，其频率温度系数(TCF)小，插入损耗少，机电耦合系数大，而且可以增大电极指间距。弹性波装置(1)包括：压电体(10)、IDT电极(30)、和覆盖IDT电极(30)的电介质层(20)。电介质层(20)的频率温度系数的符号与压电体(10)相反或相同，频率温度系数的绝对值小于压电体(10)。IDT电极(30)的电极指(31a)、(31b)具有第1电极层(21)和第2电极层(22)。第1电极层(21)位于沟槽(10a)内部；第2电极层(22)位于沟槽(10a)上端面的上侧。第1电极层21的(ρ3×C44)1/2大于第2电极层(22)的(ρ3×C44)1/2。

    声表面波装置
    79.
    发明公开
    声表面波装置 有权

    公开(公告)号：CN101911484A

    公开(公告)日：2010-12-08

    申请号：CN200880124806.4

    申请日：2008-12-22

    Applicant: 株式会社村田制作所

    Inventor： 门田道雄 ,  木村哲也

    IPC: H03H9/145 ,  H01L41/09 ,  H01L41/18 ,  H03H9/25

    CPC classification number: H03H9/02559 ,  H03H9/14538

    Abstract: 本发明提供一种声表面波装置，是使用LiNbO3基板的声表面波装置，不仅IDT的反射系数大，而且电机械耦合系数k2大，且可以扩大实现该电机械耦合系数k2大的范围的LiNbO3基板的欧拉角范围。该声表面波装置(1)在LiNbO3基板(2)的上表面(2a)形成有多条槽(2b)，且设有具有在向多条槽(2b)填充的金属材料所形成的多根电极指的IDT(3)，该金属材料由Pt或W或者以这些金属至少一种为主体的合金形成。

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