公开(公告)号：CN101010582A

公开(公告)日：2007-08-01

申请号：CN200580029790.5

申请日：2005-08-22

Applicant: 株式会社村田制作所

Inventor： 木村哲也 ,  藤本耕治 ,  冈口健二朗 ,  山本信也 ,  森本亮一 ,  家边彻

IPC: G01N29/02

CPC classification number: G01N29/036 ,  G01N29/022 ,  G01N29/222 ,  G01N2291/022 ,  G01N2291/0256 ,  G01N2291/0423 ,  G01N2291/0425

Abstract: 本发明提供能够以高精度测定少量液体中的检测对象物质的、使用弹性表面波元件的液体中物质检测传感器及使用该液体中物质检测传感器的液体中物质检测装置。液体中物质检测传感器1具备：具有开口部2a及2b、而且在一面上设置电极连接盘的衬底基板2；以及在一面上设置具有至少一个IDT电极的检测部的SAW元件6及7，通过倒装芯片键合法使用凸点电极安装SAW元件6及7，使得SAW元件6及7的检测部面对衬底基板2的开口部2a及2b，利用与检测对象物质结合的反应膜13覆盖至少一个检测部。

公开(公告)号：CN100595581C

公开(公告)日：2010-03-24

申请号：CN200580029790.5

申请日：2005-08-22

Applicant: 株式会社村田制作所

Inventor： 木村哲也 ,  藤本耕治 ,  冈口健二朗 ,  山本信也 ,  森本亮一 ,  家边彻

IPC: G01N29/02

CPC classification number: G01N29/036 ,  G01N29/022 ,  G01N29/222 ,  G01N2291/022 ,  G01N2291/0256 ,  G01N2291/0423 ,  G01N2291/0425

Abstract: 本发明提供能够以高精度测定少量液体中的检测对象物质的、使用弹性表面波元件的液体中物质检测传感器及使用该液体中物质检测传感器的液体中物质检测装置。液体中物质检测传感器1具备：具有开口部2a及2b、而且在一面上设置电极连接盘的衬底基板2；以及在一面上设置具有至少一个IDT电极的检测部的SAW元件6及7，通过倒装芯片键合法使用凸点电极安装SAW元件6及7，使得SAW元件6及7的检测部面对衬底基板2的开口部2a及2b，利用与检测对象物质结合的反应膜13覆盖至少一个检测部。