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公开(公告)号：CN101485086B
公开(公告)日：2012-06-13
申请号：CN200780025519.3
申请日：2007-06-11
Applicant: 株式会社村田制作所
CPC classification number: H03H3/08 , H03H9/02559
Abstract: 本发明提供一种声表面波装置，通过形成SiO2膜，能够谋求改善频率温度特性，并且不易产生插入损耗的增大，电极的反射系数能够得到足够的大小，而且能够抑制不希望的上述乱真信号，由此，能够获得更加良好的谐振特性、滤波器特性。在声表面波装置(11)中，LiNbO3基板(1)的上表面形成了多个沟槽(1b)，通过在沟槽(1b)中填充金属形成了IDT电极(3)，按照覆盖LiNbO3基板(1)的上表面(1a)和IDT电极(3)的方式形成了SiO2层(4)，SiO2层(4)的表面被平坦化，利用了基于瑞利波的响应，并LiNbO3基板的欧拉角在(0°±5°，180°～247°，0°±5°)的范围。
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公开(公告)号：CN101904095A
公开(公告)日：2010-12-01
申请号：CN200880121753.0
申请日：2008-10-17
Applicant: 株式会社村田制作所
CPC classification number: H03H9/02559 , H03H9/14538
Abstract: 本发明提供一种弹性表面波装置，其通过形成SiO2膜，能够实现频率温度特性的改善，且不容易产生插入损耗的增大，不仅能够使得电极的反射系数充分大，也能抑制不希望的所述寄生现象，由此能够得到更良好的谐振特性或滤波特性。在LiNbO3基板(1)的上表面(1a)形成有多条槽(1b)，在槽(1b)内形成有以Pt为主体的IDT电极(3)，覆盖LiNbO3基板(1)的上表面(1a)及IDT电极(3)而形成有SiO2层(4)，并且SiO2层(4)的表面被平坦化，利用基于瑞利波的响应，且LiNbO3基板的欧拉角处于(0°±5°，208°～228°，0°±5°)的范围内。
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公开(公告)号：CN101904095B
公开(公告)日：2013-05-08
申请号：CN200880121753.0
申请日：2008-10-17
Applicant: 株式会社村田制作所
CPC classification number: H03H9/02559 , H03H9/14538
Abstract: 本发明提供一种弹性表面波装置，其通过形成SiO2膜，能够实现频率温度特性的改善，且不容易产生插入损耗的增大，不仅能够使得电极的反射系数充分大，也能抑制不希望的所述寄生现象，由此能够得到更良好的谐振特性或滤波特性。在LiNbO3基板(1)的上表面(1a)形成有多条槽(1b)，在槽(1b)内形成有以Pt为主体的IDT电极(3)，覆盖LiNbO3基板(1)的上表面(1a)及IDT电极(3)而形成有SiO2层(4)，并且SiO2层(4)的表面被平坦化，利用基于瑞利波的响应，且LiNbO3基板的欧拉角处于(0°±5°，208°～228°，0°±5°)的范围内。
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公开(公告)号：CN101485086A
公开(公告)日：2009-07-15
申请号：CN200780025519.3
申请日：2007-06-11
Applicant: 株式会社村田制作所
CPC classification number: H03H3/08 , H03H9/02559
Abstract: 本发明提供一种声表面波装置，通过形成SiO2膜，能够谋求改善频率温度特性，并且不易产生插入损耗的增大，电极的反射系数能够得到足够的大小，而且能够抑制不希望的上述乱真信号，由此，能够获得更加良好的谐振特性、滤波器特性。在声表面波装置(11)中，LiNbO3基板(1)的上表面形成了多个沟槽(1b)，通过在沟槽(1b)中填充金属形成了IDT电极(3)，按照覆盖LiNbO3基板(1)的上表面(1a)和IDT电极(3)的方式形成了SiO2层(4)，SiO2层(4)的表面被平坦化，利用了基于瑞利波的响应，并LiNbO3基板的欧拉角在(0°±5°，180°～ 247°，0°±5°)的范围。
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