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公开(公告)号：CN102859734B
公开(公告)日：2014-12-10
申请号：CN201180019897.7
申请日：2011-04-06
Applicant: 株式会社村田制作所
IPC: H01L41/09 , H01L41/187 , H01L41/39 , H03K17/96
CPC classification number: H01L41/094 , H01L41/1873 , H01L41/316 , H01L41/331 , Y10T29/42
Abstract: 本发明提供一种压电致动器以及压电致动器的制造方法。在基底基板(11)形成有固定电极(12)。在基底基板(11)的表面形成有电介质层(13)。在电介质层(13)的表面形成有至少一部分为与基底基板(11)分离的形状的下部电极(14)。在下部电极(14)的表面形成有压电体层(15)。在压电体层(15)的表面侧形成有上部电极(16)。由于因压电驱动电压的施加所引起的压电体层(15)的形变，使得上部电极(16)或者下部电极(14)的至少一部分成为可动的可动电极。从而实现与以往相比能以简单的构成以及简单的制造流程形成的压电致动器。
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公开(公告)号：CN103392213B
公开(公告)日：2016-07-06
申请号：CN201280010379.3
申请日：2012-02-14
Applicant: 株式会社村田制作所
CPC classification number: H01G7/06 , H03H9/542 , H03H9/64 , H03H9/6403 , H03H2003/0464
Abstract: 本发明提供一种使用介电常数因施加电压而变化的电介质层、且可实现压电谐振部件、可调谐滤波器等的压电基板的小型化的可变电容元件。可变电容元件(1)具备：压电基板(2)；缓冲层(3)，其形成在所述压电基板(2)上，具有取向性；电介质层(4)，其形成在所述缓冲层(3)上，介电常数因施加电压而变化；和第1电极以及第2电极，被设置成可对所述电介质层(4)施加电场。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN103392213A
公开(公告)日：2013-11-13
申请号：CN201280010379.3
申请日：2012-02-14
Applicant: 株式会社村田制作所
CPC classification number: H01G7/06 , H03H9/542 , H03H9/64 , H03H9/6403 , H03H2003/0464
Abstract: 本发明提供一种使用介电常数因施加电压而变化的电介质层、且可实现压电谐振部件、可调谐滤波器等的压电基板的小型化的可变电容元件。可变电容元件(1)具备:压电基板(2);缓冲层(3)，其形成在所述压电基板(2)上，具有取向性;电介质层(4)，其形成在所述缓冲层(3)上，介电常数因施加电压而变化;和第1电极以及第2电极，被设置成可对所述电介质层(4)施加电场。
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公开(公告)号：CN107077967A
公开(公告)日：2017-08-18
申请号：CN201480081450.6
申请日：2014-08-26
Applicant: 株式会社村田制作所 , 德累斯顿莱布尼兹固态和材料研究所
CPC classification number: H01G4/32 , H01G4/015 , H01G4/1218 , H01G4/1227 , H01G4/1236 , H01G4/1245
Abstract: 本发明提供一种卷起型电容器，包括防扩散层、下电极层、电介质层和上电极层，其中，依次层叠有防扩散层、下电极层、电介质层和上电极层的叠层卷起，使得上电极层在内侧，并且防扩散层通过原子层沉积法形成。
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公开(公告)号：CN102858691B
公开(公告)日：2015-09-23
申请号：CN201180020850.2
申请日：2011-04-28
Applicant: 株式会社村田制作所
IPC: C01G23/00 , H01L21/316 , H01L21/822 , H01L27/04
CPC classification number: H01G4/085 , C01G23/006 , C01P2002/34 , C01P2002/52 , C01P2002/54 , C01P2006/40 , C23C14/34 , H01B3/10 , H01G4/008 , H01G4/10 , H01G4/33 , H01G7/06 , H01L21/02197 , H01L21/02266 , H01L28/56
Abstract: 一种结晶态的钙钛矿晶体复合顺电材料包含：分散在结晶态氧化物钙钛矿材料的纳米晶粒尺寸的基体中的富含N3-阴离子的纳米区域，其中(ABO3-δ)α-(ABO3-δ-γNγ)1-α。A表示二价元素，B表示四价元素，y满足0.005＜γ≤1.0，1-α满足0.05＜1-α＜0.9，且1-α是所述富含N3-阴离子的区域和其余的氧化物钙钛矿材料基体之间的面积比。
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公开(公告)号：CN102859734A
公开(公告)日：2013-01-02
申请号：CN201180019897.7
申请日：2011-04-06
Applicant: 株式会社村田制作所
IPC: H01L41/09 , H01L41/187 , H01L41/39 , H03K17/96
CPC classification number: H01L41/094 , H01L41/1873 , H01L41/316 , H01L41/331 , Y10T29/42
Abstract: 本发明提供一种压电致动器以及压电致动器的制造方法。在基底基板(11)形成有固定电极(12)。在基底基板(11)的表面形成有电介质层(13)。在电介质层(13)的表面形成有至少一部分为与基底基板(11)分离的形状的下部电极(14)。在下部电极(14)的表面形成有压电体层(15)。在压电体层(15)的表面侧形成有上部电极(16)。由于因压电驱动电压的施加所引起的压电体层(15)的形变，使得上部电极(16)或者下部电极(14)的至少一部分成为可动的可动电极。从而实现与以往相比能以简单的构成以及简单的制造流程形成的压电致动器。
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公开(公告)号：CN102858691A
公开(公告)日：2013-01-02
申请号：CN201180020850.2
申请日：2011-04-28
Applicant: 株式会社村田制作所
IPC: C01G23/00 , H01L21/316 , H01L21/822 , H01L27/04
CPC classification number: H01G4/085 , C01G23/006 , C01P2002/34 , C01P2002/52 , C01P2002/54 , C01P2006/40 , C23C14/34 , H01B3/10 , H01G4/008 , H01G4/10 , H01G4/33 , H01G7/06 , H01L21/02197 , H01L21/02266 , H01L28/56
Abstract: 一种结晶态的钙钛矿晶体复合顺电材料包含：分散在结晶态氧化物钙钛矿材料的纳米晶粒尺寸的基体中的富含N3-阴离子的纳米区域，其中(ABO3-δ)α-(ABO3-δ-γNγ)1-α。A表示二价元素，B表示四价元素，y满足0.005＜γ≤1.0，1-α满足0.05＜1-α＜0.9，且1-α是所述富含N3-阴离子的区域和其余的氧化物钙钛矿材料基体之间的面积比。
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