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公开(公告)号:CN208189562U
公开(公告)日:2018-12-04
申请号:CN201820872341.1
申请日:2018-06-06
Applicant: 广东工业大学
IPC: H01L21/68
Abstract: 本实用新型公开一种校正晶圆盘的校准系统,包括上端支撑盘,设置于上端支撑盘上、用于获取待校正晶圆盘位置信息的传感器,用于固定待校正晶圆盘的校准平台,用于调整待校正晶圆盘位置的滑动支撑平台,且校准平台位于滑动支撑平台的滑槽内。本实用新型所提供的校准系统通过将待校准晶圆盘顶起离开校准平台,通过电机带动滑动支撑平台移动待校准晶圆盘,直到传感器接收不到反馈信号为止,实现检测并调整晶圆盘与校准平台之间误差的功能,与现有技术当中通过手移动待校准晶圆盘的方式相比,避免了出现静电的情况,自动化程度高,有效地提高校准精度。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利
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公开(公告)号:CN207192782U
公开(公告)日:2018-04-06
申请号:CN201721147293.1
申请日:2017-09-07
Applicant: 广东工业大学
Abstract: 本实用新型公开了一种三维异形微通道加工装置,包括利用贵金属粒子加工三维异形微通道的反应组件、用于带动反应组件改变位姿的驱动组件、用于检测反应组件位置信息的检测组件、以及用于根据检测组件检测到的位置信息控制驱动组件调整反应组件的位姿的控制器,反应组件和检测组件均安装在驱动组件上,控制器与驱动组件以及检测组件均连接。本实用新型所提供的加工装置,利用控制器对驱动组件的控制,改变反应组件的位置,实现贵金属粒子在反应组件内移动轨迹的改变,完成三维异形微通道加工,结构简单、制作成本低,可大批量生产,有较大的推广空间,可以实现同形状的三维异形微通道的重复刻蚀,提高了被加工件的生产效率。
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公开(公告)号:CN208384143U
公开(公告)日:2019-01-15
申请号:CN201820676040.1
申请日:2018-05-07
Applicant: 广东工业大学
Abstract: 本实用新型公开了一种设备之间配合误差的辅助标记装置,包括支撑连杆、标记连杆、激光测距传感器以及计算机。其中,支撑连杆和标记连杆设置于工作台且水平方向上相互垂直,激光测距传感器安装在机械手上,在测量过程中,标记连杆处于激光测距传感器的扫描范围内,计算机与激光测距传感器连接,用于接收激光测距传感器返回的测试数据以确定机械手与工作台之间的配合误差。可见,本装置结构简单,能够标记机械手与工作台之间的配合误差,可广泛应用。另外,由于采用了激光测距传感器,相对于其它测距传感器来说,其具有固定的扫描范围的特性,如果被扫描物体与激光传感器的距离过大或者过小,激光测距传感器不能扫描到物体,从而提高了测量的精度。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利
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公开(公告)号:CN207925451U
公开(公告)日:2018-09-28
申请号:CN201721819607.8
申请日:2017-12-20
Applicant: 广东工业大学
IPC: H01L23/467
Abstract: 本实用新型提供一种散热器及散热系统,该散热器包括:壳体和置于所述壳体内将所述壳体分隔为第一腔体、第二腔体的压电风扇;所述压电风扇,包括:压电振动源和首端固定于所述压电振动源的风扇叶片;所述压电振动源固定于所述壳体,所述风扇叶片的振动方向朝向所述第一腔体、所述第二腔体;所述风扇叶片的末端两侧,设有分别位于所述第一腔体、所述第二腔体的第一出气孔、第二出气孔;所述风扇叶片的首端两侧,设有分别位于所述第一腔体、所述第二腔体的第一进气孔、第二进气孔。本实用新型提供的散热器,利用压电风扇和外壳,在压电风扇的两侧形成两个腔体,风扇驱动气体穿过腔体,从而达到散热的目的,该散热器,体积小,结构可靠,寿命长。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利
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公开(公告)号:CN207217495U
公开(公告)日:2018-04-10
申请号:CN201720918760.X
申请日:2017-07-26
Applicant: 广东工业大学
IPC: H01L21/68 , H01L21/673
Abstract: 本实用新型公开一种晶圆料盒定位装置,定位底座用于承托载料盒,板面上的按载料盒的尺寸、在不同位置贯通设置连接孔;限位块通过连接孔可拆卸固定于定位底座的上表面,载料盒的每个边缘至少对应设置一个限位块,通过改变限位块的固定位置,可以与不同尺寸的载料盒相互匹配,从而使限位块能够紧紧地与载料盒的边缘紧贴固定,通过多个限位块的相互配合将载料盒卡接定位。因本实用新型中的限位块的位置可改变,并且定位底座上的连接孔根据载料盒的尺寸相应设定,从而使限位块的相对间距可以与不同的载料盒相匹配,因而能够对应匹配不同规格尺寸的载料盒,仅需一个定位装置即可定位多种载料盒,不需要更换载料盒,节省了更换的时间,提高生产效率。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利
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公开(公告)号:CN206992061U
公开(公告)日:2018-02-09
申请号:CN201720883975.2
申请日:2017-07-19
Applicant: 广东工业大学
Abstract: 本实用新型公开一种陶瓷基板定位校准装置,定位安装板呈水平设置,底面用于定位固定,其顶面设置导向斜块,每个陶瓷基板的侧边处至少对应设置一个导向斜块;导向斜块上设置呈纵向倾斜的导向面,导向面朝向陶瓷基板,每两个相对设置的导向面之间的距离从上到下的方向渐缩,当陶瓷基板由机械臂抓取并从上向下放置时,上方尺寸较大,可以容许较大的误差,当机械臂松开后,陶瓷基板在重力的作用下向下滑动,因导向面相对倾斜设置,最终落到最底部,底部间距最小处与陶瓷基板的尺寸相同,所以陶瓷基板在定位安装板上的位置就被唯一确定,此时机械手抓取陶瓷基板的精确度得以提高,与直接抓取陶瓷基板的抓取方式相比,可以大大降低机械臂抓取的误差。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利
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公开(公告)号:CN208622696U
公开(公告)日:2019-03-19
申请号:CN201821429011.1
申请日:2018-08-31
Applicant: 广东工业大学
IPC: H01L21/687 , H01L21/66
Abstract: 本实用新型涉及LED半导体封装技术领域,尤其涉及一种角度调节装置。本实用新型公开了一种角度调节装置,包括:固定组件、底座、转动件和两个固定板;固定组件用于固定LED支架;两个固定板分别竖直固定在底座上;固定组件设置在固定板之间;固定组件两端均通过转动件与固定板可转动连接,且转动至预设角度后通过转动件与固定板相对固定,实现了LED支架任意角度的调节与固定,从而获得精确的参数,且操作十分方便,解决了现有的LED支架进行焊线推拉力测试时,观察固定在工作台上的LED支架时,可调节的角度有限,无法获得较精确的参数,且测试人员观察位置也随着显微镜的位置一同改变,操作十分不便的技术问题。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利
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公开(公告)号:CN208275420U
公开(公告)日:2018-12-25
申请号:CN201820074924.X
申请日:2018-01-16
Applicant: 广东工业大学
IPC: B01L3/00
Abstract: 本申请提供了一种基于感光干膜的微流控芯片,微流控芯片包括依次接触的聚合物基板、曝光的感光干膜和玻璃盖板;所述聚合物基板和曝光的感光干膜上设置有微流道。该微流控芯片通过感光干膜将聚合物基板和玻璃盖板键合在一起,芯片加工过程无需使用掩模版、光刻机和热压键合机,且键合强度较高;微流控芯片通过感光干膜将聚合物基板和玻璃盖板键合在一起,无需热压过程,不会产生微流道的形变。实验结果表明:键合面积为30毫米×30毫米的微流控芯片键合强度达到3000~3500毫焦/平方厘米。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利
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公开(公告)号:CN207198086U
公开(公告)日:2018-04-06
申请号:CN201720938709.5
申请日:2017-07-28
Applicant: 广东工业大学
IPC: G01N27/416
Abstract: 本申请公开了一种微量元素检测装置,包括:对被测样品试剂利用电位溶出分析原理进行检测得到随时间变化的电压信号的三电极传感器;与三电极传感器相连,对电压信号执行信号调理操作得到调理信号的信号调理电路;与信号调理电路相连,根据LabVIEW编译的程序对采集到的调理信号进行分析,并发送分析结果的嵌入式开发平台NI MyRIO;与嵌入式开发平台NI MyRIO相连,下发程序并接收分析结果的LabVIEW开发平台。该微量元素检测装置组成结构清楚、步骤操作简单清晰、数据采集更快以及种类和含量检测更加精确,显著提高了检测效率。
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公开(公告)号:CN208629309U
公开(公告)日:2019-03-22
申请号:CN201821422441.0
申请日:2018-08-31
Applicant: 广东工业大学
IPC: B25B11/00
Abstract: 本实用新型涉及夹具技术领域,尤其涉及一种LED支架定位夹紧装置。本实用新型公开了一种LED支架定位夹紧装置,包括:铁磁性板、至少两个夹块和磁铁;所述夹块下表面设置有凹槽,所述磁铁设置在所述凹槽内;所述夹块和所述铁磁性板通过所述磁铁夹紧所述夹块和所述铁磁性板之间的LED支架。铁磁性板与磁铁间的磁力作用,使得LED支架夹紧于夹块和铁磁性板之间,由于磁铁的磁性,磁铁可以在铁磁性板上任意移动,也可以离开铁磁性板,因而可以实现LED支架精准定位,另外,通过调整磁铁的位置,还可以固定不同尺寸、不同结构的LED支架,解决了现有的LED支架夹紧装置定位精度低的技术问题。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利
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