-
公开(公告)号：CN113790818A
公开(公告)日：2021-12-14
申请号：CN202110913427.0
申请日：2021-08-10
Applicant: 中国电子科技集团公司第十三研究所
Abstract: 本发明适用于微电子测温技术领域，提供了一种可见光热反射测温方法及测温设备，上述方法包括：控制待测件的温度稳定在第一预设温度，并采集待测件的反射率，作为第一反射率；控制待测件的温度升高并稳定在第二预设温度，并采集待测件的反射率，作为第二反射率；控制待测件的温度降低并稳定在第一预设温度，将待测件通电，待待测件的温度稳定后，采集通电待测件的反射率，作为第三反射率；根据第一反射率对第三反射率进行校正，得到校正后的第三反射率；根据第一反射率、第二反射率及校正后的第三反射率确定待测件的温度变化量。本发明采用不通电时的第一反射率对通电后的第三反射率进行校正，可以有效消除随机干扰，提高了测量精度。
-
公开(公告)号：CN110310245B
公开(公告)日：2021-10-15
申请号：CN201910596737.7
申请日：2019-07-02
Applicant: 中国电子科技集团公司第十三研究所
Abstract: 本发明适用于显微热成像技术领域，提供了一种图像照明分布的修正方法、修正装置、终端及计算机可读存储介质。其中，所述修正方法包括：获取被测目标的待修正图像；获取参考图像，其中，所述参考图像为在与所述待修正图像相同的光照度分布条件下得到的参考目标的图像；基于所述参考图像对所述待修正图像进行照明分布的修正。本发明能够对图像可能存在的照明分布不均匀的问题进行修正，可以用于对显微热成像获得的显微热图像进行修正处理，有利于降低显微热图像由于照明分布不均匀引起的测量误差，提高通过显微热成像进行温度测量的准确性。
-
公开(公告)号：CN110322487A
公开(公告)日：2019-10-11
申请号：CN201910615311.1
申请日：2019-07-09
Applicant: 中国电子科技集团公司第十三研究所
Abstract: 本发明适用于图像处理技术领域，提供了一种图像配准方法、图像配准装置及终端，所述图像配准方法包括：获取平移图样，根据平移图样的每个平移点对目标图像进行平移配准，得到多个候选图像，计算各个候选图像与指定基准图像的互相关度，将与基准图像的互相关度最大的候选图像确定为选中图像，若选中图像与基准图像的互相关度符合预设条件，将选中图像确定为目标图像的配准图像；否则，将选中图像对应的平移点作为新的零平移点，对本次平移配准各非零平移点进行平移和预设比例系数的缩小更新，获得下一次平移图样，基于下一次平移图样进行平移配准，直到选中图像与基准图像的互相关度符合预设条件。本发明能够提高显微热成像测量温度的准确性。
-
公开(公告)号：CN110310309A
公开(公告)日：2019-10-08
申请号：CN201910616002.6
申请日：2019-07-09
Applicant: 中国电子科技集团公司第十三研究所
IPC: G06T7/30
Abstract: 本发明适用于图像处理技术领域，提供了一种图像配准方法、图像配准装置及终端，所述图像配准方法包括：获取平移图样，根据平移图样上的每个平移点对目标图像进行平移配准，得到多个候选图像，计算各个候选图像与指定的基准图像的互相关度，将与基准图像的互相关度最大的候选图像确定为选中图像，若选中图像与基准图像的互相关度符合预设条件，将选中图像确定为目标图像的配准图像；否则，将选中图像对应的平移点作为新的零平移点，对本次平移配准各非零平移点进行平移和预设角度的旋转更新，获得下一次平移图样，基于下一次平移图样进行平移配准，直到选中图像与基准图像的互相关度符合预设条件。本发明能够提高显微热成像测量温度的准确性。
-
公开(公告)号：CN110207842A
公开(公告)日：2019-09-06
申请号：CN201910584992.X
申请日：2019-07-01
Applicant: 中国电子科技集团公司第十三研究所
IPC: G01K11/00
Abstract: 本发明适用于微电子器件温度检测技术领域，提供了一种亚像素级边缘效应的修正方法及终端设备，该方法包括：通过获取不同材料构成的被测件的多张图像，当不同图像上预设线段上相同位置的像素点读数不同时，控制热反射成像测温装置上的纳米位移台向像素点移动方向的反方向以预设距离移动，直到不同图像上预设线段上相同位置的像素点读数误差值小于或等于预设误差阈值时，确定完成亚像素级边缘效应的修正，从而可以通过图像处理的方式使得X、Y两个方向的亚像素级位置变化引起的边缘效应得到修正，从而使被测件位置变化造成高温误差和低温误差得到了修正，可以提高的热反射测温准确度。
-
Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN109813435A
公开(公告)日：2019-05-28
申请号：CN201811633816.2
申请日：2018-12-29
Applicant: 中国电子科技集团公司第十三研究所
IPC: G01J5/00
Abstract: 本发明提供了一种静态光反射显微热成像方法、装置及终端设备，同时获取被光源区域A的图像和被测目标区域B的图像，通过光源区域A的像素读数，获取被测目标区域B的漂移修正系数；在M个不同温度下获取每个温度下被测目标区域B的N帧图像，计算被测目标区域B中任一像素bk的读数均值 获得bk所对应的M个数据对；进行线性拟合得到斜率β并根据β计算bk所对应的光热反射系数CTR(bk)；分别计算参考温度T0下bk的读数均值 和待测温度Tx下bk的读数均值 根据T0、CTR(bk)、和 计算bk的待测温度Tx(bk)。解决了基于相机的热成像技术需要对被测目标的温度进行调制的问题。
-
公开(公告)号：CN106098582B
公开(公告)日：2019-04-09
申请号：CN201610628267.4
申请日：2016-08-03
Applicant: 中国电子科技集团公司第十三研究所
Abstract: 本发明公开了一种校准用在片电容标准件及其制备方法，涉及测试用计量装置技术领域。所述标准件包括绝缘衬底，所述绝缘衬底的上表面设有若干个电容值不同的标准电容和一个标准开路器。本发明所述在片电容标准件，可以实现对整体校准MEMS晶圆片测量系统在片电容参数的整体计量校准，实现量值溯源，确保MEMS生产过程中的晶圆片级测量结果准确、一致。该标准件能够提供具有溯源性的电容值（1pF～100pF，测试频率1kHz～100kHz），可以根据需要在上述量值范围内进行设计。
-
公开(公告)号：CN104713651B
公开(公告)日：2017-08-15
申请号：CN201510100045.0
申请日：2015-03-06
Applicant: 中国电子科技集团公司第十三研究所
IPC: G01J5/00
Abstract: 本发明公开了一种高空间分辨力及高时间分辨力的红外热成像测温方法，涉及半导体器件温度测试领域；（a）通过调整瞬态红外设备的聚焦区域，用瞬态红外设备测量被测件两个温度明显不同区域的温度，得到两条温度随时间变化的曲线；（b）分析两条温度变化曲线，判断被测件进入准稳态的时间点；（c）用瞬态红外设备测量目标区域的温度，得到目标区域的温度变化曲线；（d）用显微红外热像仪测量目标区域的温度，得到目标区域的温度分布图像；（e）得到目标区域任意时刻，任意位置的准确温度值。（f）得到任意时间点整个区域的温度分布图像，也可以得到任意位置整个时间区域内的温度变化曲线。本发明能满足高时间分辨力和高空间分辨力的温度检测。
-
公开(公告)号：CN106198615A
公开(公告)日：2016-12-07
申请号：CN201610485401.X
申请日：2016-06-28
Applicant: 中国电子科技集团公司第十三研究所
IPC: G01N25/20
CPC classification number: G01N25/20
Abstract: 本发明公开了一种氮化镓功率器件管壳接触热阻测量方法，涉及功率器件热阻检测技术领域。本发明包括以下步骤：用瞬态红外测温设备测量器件两种接触热阻条件下的降温曲线；用结构函数法得到两条降温曲线的两条积分结构函数曲线；利用积分结构函数曲线得到结壳热阻的值，即接触热阻的起点；平移低热阻曲线得到高热阻条件下的接触热阻，平移高热阻曲线得到低热阻条件下的接触热阻。本发明利用瞬态红外测温设备测量器件在两种不同热阻抗条件下的降温曲线，用结构函数法分析两条降温曲线，得到积分结构函数曲线，经过两次曲线对比确定接触热阻，实现对氮化镓功率器件管壳与载体接触热阻的测量，准确性高。
-
公开(公告)号：CN103675019B
公开(公告)日：2015-08-19
申请号：CN201310669324.X
申请日：2013-12-11
Applicant: 中国电子科技集团公司第十三研究所
IPC: G01N25/20
Abstract: 本发明公开了一种红外热像仪快速测量材料表面发射率的方法，涉及红外热成像温度测量技术领域，包括红外热像仪、黑盒及加热平台，其测试步骤如下：1）获取红外热像仪对环境温度下黑盒的响应；在保持环境温度不变的情况下，该过程只进行一次就足够，其数据将存入计算机以备调用。2）将被测物加热到一个比较高的温度一般大于等于70℃，获取红外热像仪对于被测物的响应；3）依据公式进行运算既可以得到准确的发射率测量结果。该测量方法对于红外热像仪，仅需对红外热像仪增加一个辅助装置，能够快速测量复杂材料表面的发射率，提高红外热像仪发射率检测速度及检测效率，同时保证检测结果的准确可靠，扩大红外热像仪的使用范围。
-
-
-
-
-
-
-
-
-
Search Results
91
records
(took 0.052 seconds)
