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公开(公告)号：CN100546064C
公开(公告)日：2009-09-30
申请号：CN200610098456.1
申请日：2006-07-07
Applicant: 精工爱普生株式会社
Abstract: 本发明提供了一种具有压电体层的致动器装置、液体喷射头以及液体喷射装置，其中该压电体层由抑制了极化方向的变动的、无变形状态的结晶构成。本发明的致动器装置具有：设置在单晶硅基板上的二氧化硅；设置在二氧化硅上的至少一层缓冲层；以及设置在该缓冲层上，由面取向(100)的镍酸镧构成的基底层；并且还具有压电元件，其包括：设置在该基底层上，由面取向(100)的铂构成的下电极；由面取向为(100)取向的铁电体构成的压电体层，其通过外延生长而形成在该下电极上，具有从由正方晶系、单斜晶系、以及菱形晶系构成的组中选出的至少一种晶系相对于其他晶系占主导地位的晶系；以及设置在该压电体层上的上电极。
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公开(公告)号：CN101274517A
公开(公告)日：2008-10-01
申请号：CN200810088065.0
申请日：2008-03-27
Applicant: 精工爱普生株式会社
CPC classification number: B41J2/161 , B41J2/1623 , B41J2/1628 , B41J2/1629 , B41J2/1632 , B41J2002/14241 , B41J2002/14419 , H01L41/0973 , H01L41/25 , Y10T29/42
Abstract: 本发明提供一种能够切实抑制压电元件的位移量的变化、具有稳定的油墨喷出特性的液体喷射头及其制造方法。该液体喷射头具备：流道形成基板，其形成有与喷射液体的喷嘴开口相连通的压力发生室；压电元件，其由设置于该流道形成基板的一个表面侧的下电极、压电体层及上电极构成，上述压电体层由锆钛酸铅构成，是在(100)面上优先取向的菱形晶系构造或者单斜晶系构造，且饱和极化Pm以及剩余极化Pr满足33％≤2Pr/2Pm≤46％。
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公开(公告)号：CN1840244A
公开(公告)日：2006-10-04
申请号：CN200610066947.8
申请日：2006-03-30
Applicant: 精工爱普生株式会社
Abstract: 本发明提供一种能够较容易地控制结晶状态并可始终获得稳定特性的电介质膜的制造方法，以及可提高压电元件特性的压电元件的制造方法。该方法包括：涂布含有金属有机化合物的胶体溶液来形成介电前驱体膜的涂布工序，金属有机化合物含有构成电介质膜的金属，电介质膜至少含有铅成分；对介电前驱体膜进行干燥的干燥工序；对介电前驱体膜进行脱脂的脱脂工序；煅烧介电前驱体膜以形成电介质膜的煅烧工序；干燥工序具有：将介电前驱体膜加热到低于材料主溶媒的溶剂沸点的温度并保持一定时间以使其干燥的第一干燥工序；在140℃～170℃的范围内干燥介电前驱体膜的第二干燥工序；脱脂工序使脱脂的温度为350℃～450℃，使升温率为15[℃/sec]以上，煅烧工序使升温率为100[℃/sec]～150[℃/sec]。
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公开(公告)号：CN119175945A
公开(公告)日：2024-12-24
申请号：CN202410791931.1
申请日：2024-06-19
Applicant: 精工爱普生株式会社
Abstract: 本发明提供一种液体喷出头以及液体喷出装置，所述液体喷出头能够对压力室的附近的吸收室的压力进行检测。液体喷出头具有：喷嘴基板，其设置有喷出液体的喷嘴；压力室基板，其具有压力室和吸收室，所述压力室向液体给予用于从所述喷嘴喷出液体的压力，所述吸收室与所述压力室的第二方向邻接，并对在向所述压力室内的液体给予压力之际所发生的液体的振动进行吸收；第一振动板，其与所述压力室被对应地设置，并为了向液体给予压力而进行振动；第二振动板，其与所述吸收室被对应地设置，并为了对液体的压力进行吸收而进行振动；第二配线部，其被设置在与所述吸收室相对应的位置处；压力取得部，其基于所述第二配线部的电阻值而取得所述吸收室的压力。
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公开(公告)号：CN119175944A
公开(公告)日：2024-12-24
申请号：CN202410791926.0
申请日：2024-06-19
Applicant: 精工爱普生株式会社
Abstract: 本发明提供一种液体喷出头以及液体喷出装置，所述液体喷出头能够对压力室的附近的吸收室的压力进行检测。液体喷出头具有：喷嘴基板，其设置有喷出液体的喷嘴；压力室基板，其具有压力室和吸收室，所述压力室向液体给予用于从所述喷嘴喷出液体的压力，所述吸收室与所述压力室邻接并对在向所述压力室内的液体给予了压力之际所发生的液体的振动进行吸收；第一压电体，其与所述压力室被对应地设置，并通过被施加电压从而向所述压力室给予压力；第二压电体，其与所述吸收室被对应地设置；压力取得部，其基于所述第二压电体两端的电压而取得所述吸收室的压力。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN118056680A
公开(公告)日：2024-05-21
申请号：CN202311526017.6
申请日：2023-11-15
Applicant: 精工爱普生株式会社
Abstract: 本发明提供一种液体喷出头以及液体喷出装置，在液体喷出头中能够通过驱动元件和温度检测部被连接在一个配线基板上的简洁的结构来适当地对湿度对于驱动元件或其周围的部件的影响进行管理。液体喷出头具备：配线基板；多个压力室，其对液体进行收纳，并与喷嘴连通；驱动元件，其与配线基板电连接，并使压力室的内部的压力变化；湿度检测部，其与配线基板电连接，并用于对湿度进行检测。
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公开(公告)号：CN116981337A
公开(公告)日：2023-10-31
申请号：CN202310466116.3
申请日：2023-04-26
Applicant: 精工爱普生株式会社
Abstract: 本申请提供压电致动器及其制造方法、液滴喷出头、超声波器件，压电致动器具备具有良好的结晶性的压电体。该压电致动器具备基板以及形成在基板上的第一压电元件和第二压电元件。第一压电元件具有第一下部电极、第一压电体以及第一上部电极。第二压电元件具有第二下部电极、第二压电体以及第二上部电极。第一下部电极的侧面未被第一压电体覆盖，第二下部电极的侧面未被第二压电体覆盖。压电致动器具有：共用电极，形成在基板上，并与第一上部电极及第二上部电极连接；以及绝缘层，位于共用电极和第一下部电极之间及共用电极与第二下部电极之间。
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公开(公告)号：CN116552124A
公开(公告)日：2023-08-08
申请号：CN202310119893.0
申请日：2023-02-02
Applicant: 精工爱普生株式会社
IPC: B41J2/14
Abstract: 本发明提供液体喷出装置。液体喷出装置具备：压力室基板，层叠在振动板的第一面且具有划分与喷出液体的喷嘴连通的压力室的隔壁；压电元件，层叠在振动板的第二面且具有在沿振动板的厚度方向观察时与压力室的中心重叠的第一能动部和在比第一能动部接近压力室的外边缘的位置与压力室重叠的第二能动部；驱动信号生成部，生成驱动第一能动部的第一驱动信号和驱动第二能动部的第二驱动信号，第一驱动信号在每个周期性的单位期间包括使压力室的容积收缩的第一收缩要素，第二驱动信号在每个单位期间包括使压力室的容积收缩的第二收缩要素，执行将第一收缩要素向第一能动部供给的第一期间和将第二收缩要素向第二能动部供给的第二期间互相重叠的收缩工序。
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公开(公告)号：CN113442586B
公开(公告)日：2023-06-27
申请号：CN202110301259.X
申请日：2021-03-22
Applicant: 精工爱普生株式会社
Inventor： 高部本规
IPC: B41J2/14
Abstract: 本发明提供一种抑制振动板和压电元件的裂纹的液体喷出头、液体喷出装置及致动器。该液体喷出头具有压电元件、划分与压电元件对应的压力室的压力室基板、设在压电元件与压力室基板间的振动板。在将多个压力室排列方向设为第一方向，多个压力室各自延伸方向设为第二方向，第二方向的压力室内的特定位置设为第一位置，第二方向的压力室内的特定位置且在第二方向上比第一位置更靠近压力室的端部位置设为第二位置时，振动板在第一及第二位置处具有第一部分和第一方向上比第一部分离压力室的端部更远且具有与第一部分不同厚度的第二部分。第一位置处第二部分的第一方向的宽度为第一宽度，第二位置处第二部分的第一方向的宽度为小于第一宽度的第二宽度。
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公开(公告)号：CN107539944B
公开(公告)日：2023-03-21
申请号：CN201710485605.8
申请日：2017-06-23
Applicant: 精工爱普生株式会社
Abstract: 本发明提供一种能够抑制埋入配线中的碟形凹陷的MEMS器件及其制造方法、液体喷射头以及液体喷射装置。所述MEMS器件的特征在于，具备：配线(46)，其通过在于基板(33)的第一面开口的凹部(47)中埋入导电部(48)而形成；和凸块电极(42)，其与配线电连接，在第一面上的与配线所延伸的第一方向交叉的第二方向上，配线与凸块电极被连接的连接区域内的凹部的开口的总宽度窄于连接区域以外的区域内的凹部的开口宽度。
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