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公开(公告)号：CN109624322B
公开(公告)日：2020-01-03
申请号：CN201811363585.8
申请日：2018-11-16
Applicant: 华中科技大学
IPC: B29C64/245 , B29C64/118 , B33Y30/00
Abstract: 本发明属于3D打印机相关技术领域，其公开了一种成型平台及具有该成型平台的极坐标3D打印机，该平台包括支撑机构、固定平板、弹簧、支撑平板、传动平板及成型基板，该成型基板连接于该传动平板，该传动平板滑动地连接于该支撑平板；该传动平板的表面连接于连接杆的一端，该连接杆的另一端穿过该支撑平板后伸入该支撑机构；该固定平板套设在该支撑机构上；该弹簧的两端分别连接于该固定平板及该支撑平板；通过该弹簧调节该固定平板相对于该支撑机构的安装位置，使该支撑平板的旋转中心轴线与喷头的中心轴平行，进而通过调整双头螺栓使该成型基板的表面与喷头运动平面平行。本发明提高了喷头与成型基板的接触配合度及成型效率，结构简单。
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公开(公告)号：CN107815666B
公开(公告)日：2019-11-22
申请号：CN201711043635.X
申请日：2017-10-31
Applicant: 华中科技大学
IPC: C23C16/40 , C23C16/455 , C23C16/50
Abstract: 本发明属于薄膜掺杂相关技术领域，并公开了一种基于等离子体增强原子层沉积的薄膜掺杂改性方法，该方法用于在目标基底的表面上沉积多层氮掺杂氧化铝薄膜，并包括下列步骤：对基底的清洁和抽真空等预处理；加热至预设温度，并执行清洗处理；在保持含氮元素气体的持续载入的条件下，通入多种前驱体来执行多次氮掺杂氧化铝薄膜的沉积反应，直至达到所需的厚度。通过本发明，能够在更为简捷易行、便于控制的掺杂环境及工艺条件下，高效率、高质量地执行整个氧化铝薄膜掺杂改性过程，因而尤其适用于其封装应用之类的场合。
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公开(公告)号：CN108507666B
公开(公告)日：2019-10-25
申请号：CN201810274614.7
申请日：2018-03-30
Applicant: 华中科技大学
IPC: G01H11/08
Abstract: 本发明属于振动检测领域，并公开了一种基于压电传感的微振动检测器。其包括外壳、质量块、导电环、压电传感器以及缓冲单元，质量块设置在外壳的中心，导电环套在质量块的对称两侧，外壳内壁上均匀设置有多个缓冲单元和压电传感器，支撑块用于连接质量块和导电环，压电传感器用于将力信号转化为电信号，导电环内壁设置有电极，电极与压电传感器上均设置有导线，用于引出电信号；外壳受到振动向质量块靠近，使得压电传感器与导电环接触，并与外接电路形成闭合回路，由不同位置处的压电传感器反馈的电信号判断振动力的大小和位置，以此确定振动的来源和振幅。通过本发明，实现微弱地震波信号和建筑物微小振动的检测，结构简单，成本低廉。
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公开(公告)号：CN110212108A
公开(公告)日：2019-09-06
申请号：CN201910416227.7
申请日：2019-05-17
Applicant: 华中科技大学
Abstract: 本发明属于薄膜封装技术领域，并公开了一种柔性显示器的封装方法及产品。所述封装方法包括：S1将置于柔性基底上的器件置于等离子体增强原子层沉积设备的腔体中对器件的表面进行等离子活化处理；S2向所述腔体中交替循环通入多种前驱体,生成底层薄膜；S3在所述底层薄膜上溅射一层金属膜；S4将所述器件转移至等离子体增强原子层沉积设备的腔体中，重复步骤S2，以生成顶层无机薄膜；S5重复步骤S2，以生成多个呈阵列排布的柱状原子层沉积薄膜阵列，完成所述器件的致密包覆和封装。本发明还公开了相应的封装结构。本发明能够对柔性器件表面进行有效的薄膜封装，既能防止柔性聚合物基底在高温下分解，又能最大程度防止水汽和氧气的侵蚀。
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公开(公告)号：CN110132459A
公开(公告)日：2019-08-16
申请号：CN201910341785.1
申请日：2019-04-26
Applicant: 华中科技大学
Abstract: 本发明属于柔性压电应力传感器相关技术领域，并公开了一种柔性压电应力传感器的制备方法，包括：在基体上蒸镀银电极制备得到底电极；压电层是溶液旋涂方法得到的二甲基硅氧烷包覆10～30wt.％压电纳米片，压电纳米片由化学合成方法制备钇掺杂的氧化锌构成；在压电层表面蒸镀形成顶电极，同时形成三明治构造体；将三明治构造体从玻璃基体上剥离下来，用微米级的铜线将上下电极引出，最后通过PET薄膜将电极封装得到柔性压电薄膜传感器。本发明还公开了相应的产品。通过本发明，提供了一种新型的制备路线，同时具有柔性好、结构简单、稳定性好、灵敏度高等优点，因而尤其适用于人体健康监测、仿生机器人等领域。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN109920920A
公开(公告)日：2019-06-21
申请号：CN201910147910.5
申请日：2019-02-28
Applicant: 华中科技大学
Abstract: 本发明属于光学材料制备领域，并公开了一种基于原子层沉积的量子点光电探测器及其制备方法。该制备方法包括将量子点溶液旋涂在洁净基底上制备第一量子点薄膜，然后将有机物配体溶液滴覆在第一量子点薄膜上并静置一段时间，待配体交换完成后用溶剂进行清洗，从而完成配体交换层薄膜的制备；将量子点溶液旋涂在配体交换层薄膜上制备单层量子点薄膜，在惰性气氛下进行原子层沉积使该单层量子点薄膜充分钝化，重复上述步骤数次从而获得钝化层薄膜，最后在钝化层薄膜上蒸镀电极制成量子点光电探测器。本发明采用原子层沉积技术钝化量子点薄膜表面，能够提高器件的光暗电流比，优化探测器的器件性能，并且形成PN结双层结构，能够有效提高响应速度。
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公开(公告)号：CN109881180A
公开(公告)日：2019-06-14
申请号：CN201910095421.X
申请日：2019-01-31
Applicant: 华中科技大学
IPC: C23C16/455 , C23C16/52
Abstract: 本发明属于镀膜设备制造领域，并公开了一种用于微纳米颗粒的快速循环原子层沉积设备，该设备由两个直线运动装置和两个回转运动装置首尾相连，组成一个封闭的椭圆形，其中直线运动装置包括沿竖直方向从下到上依次连接的直线振动电机、第一水冷却板、第一支撑板、第一加热片和料槽，料槽的一端为原子层沉积反应区域，并且该区域上方安装有前驱体喷头；回转运动装置包括沿竖直方向从下到上依次连接的回转振动电机、第二水冷却板、第二支撑板、第二加热片和回转运动料槽。本发明能够实现颗粒以稳定的运动速度在料槽中循环运动，并通过控制微纳米颗粒经过原子层沉积反应区域的次数，实现对微纳米颗粒表面薄膜的厚度的控制。
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公开(公告)号：CN107099784B
公开(公告)日：2019-05-07
申请号：CN201710336412.6
申请日：2017-05-13
Applicant: 华中科技大学
IPC: C23C16/455
Abstract: 本发明公开了一种用于空间隔离原子层沉积的模块化喷头及装置。模块化喷头包括：前驱体通道组件、密封组件；前驱体通道组件包括板状基体、前驱体通道、气体管路；前驱体通道布置于板状基体正面，自上而下延伸，前驱体通道的顶端连通气体管路；密封组件设于板状基体正面，用于对前驱体通道进行密封，防止前驱体泄露。本发明的模块化喷头，由多个部件构成整体模块，并且通过前躯体通道对喷入的气体进行分流和缓冲，实现沉积均匀，且可以根据实际需求选取任意数量进行组合。本发明的装置包括多个模块化喷头，以一定的间隔排列，分别通入氧化物前驱体源和金属前驱体源，使得基底在前驱体单元下运动一个来回沉积多层薄膜，大大提高了薄膜沉积效率。
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公开(公告)号：CN109355641A
公开(公告)日：2019-02-19
申请号：CN201811313431.8
申请日：2018-11-06
Applicant: 华中科技大学无锡研究院
IPC: C23C16/455 , C23C16/44
Abstract: 本发明涉及一种无机颜料表面改性的方法，属于工业无机颜料改性技术领域。其通过对无机颜料进行球磨粉碎后将其置于粉末原子层沉积设备中，在适当的反应温度和压力下，选择合适活性与蒸汽压的前驱体交替通入，在无机颜料表面通过活性官能团的交换形成单层化学吸附并完成自限制化学半反应，生成致密的薄膜，对表面的各个部位进行厚度均匀一致的薄膜包覆。本发明采用的原子层沉积生成的纳米薄膜包覆均匀性较高，尤其对于颗粒较小的无机颜料可实现其均匀包覆。本发明通过原子层沉积生成的纳米薄膜结构致密，具有均匀的厚度、优异的一致性，由于其反应机理的特点，可实现对不同粒径的无机颜料的包覆。
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公开(公告)号：CN106917074B
公开(公告)日：2019-02-19
申请号：CN201710193000.1
申请日：2017-03-28
Applicant: 华中科技大学
IPC: C23C16/455 , C23C16/458 , C23C16/46 , C23C16/54
Abstract: 本发明公开了一种循环卷绕式原子层沉积设备，包括：沿待沉积样品的闭环运行路径布置的反应装置、动力装置、导向装置、纠偏装置；反应装置包括分布在待沉积样品上下两侧的加热板和反应喷头；动力装置包括伺服电机和驱动辊筒，伺服电机的输出轴连接驱动辊筒的驱动轴；导向装置包括若干个无动力辊筒；驱动辊筒与无动力辊筒共同构成待沉积样品的闭环运行路径，用于使待沉积样品循环运动；纠偏装置位于两个相邻的无动力辊筒之间，且纠偏装置与两个相邻的无动力辊筒分别位于待沉积样品两侧。本设备结构简单，便于使用和维护；待沉积样品能够循环运动，能够连续反应，不需要反复收放卷，不用频换启动与停止，提高反应效率。
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