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公开(公告)号：CN116936768A
公开(公告)日：2023-10-24
申请号：CN202311018492.2
申请日：2023-08-14
Applicant: 华中科技大学 , 华中科技大学无锡研究院
IPC: H01M4/36 , H01M4/62 , H01M4/13 , H01M10/0525
Abstract: 本发明涉及一种复合正极材料及其制备方法与应用。该复合正极材料的制备方法中，分别采用前驱体A和含硼前驱体B在正极活性材料的同一表面交替进行原子层沉积，制备复合正极材料；所述原子层沉积的温度为30℃～500℃，压力为0.1Pa～1000Pa；所述前驱体A为氧单质、含氧无机物及金属有机化合物中的至少一种；所述含硼前驱体B为硼酸酯。
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公开(公告)号：CN109576673B
公开(公告)日：2020-02-14
申请号：CN201811502555.0
申请日：2018-12-10
Applicant: 华中科技大学
IPC: C23C16/455 , B82Y40/00
Abstract: 本发明属于真空镀膜相关技术领域，并公开了一种用于微纳米颗粒充分分散包覆的超声流化原子层沉积装置，其包括载气及反应前驱体供给组件、反应腔体和超声振动组件，其中载气及反应前驱体供给组件为原子层沉积反应提供全区体反应物、载气和吹扫过程中需要的惰性气体；反应腔体作为原子层沉积反应的发生区域，前驱体进入反应腔体部分在基底表面沉积成膜；超声振动组件用于产生超声振动并传递给反应腔体部分，破解微纳米颗粒之间的软团聚，使颗粒在原子层沉积反应过程中处于分散状态，实现薄膜在单个颗粒表面的生长。通过本发明，能够克服大批量粉体颗粒仅在气流作用下无法完全流化分散的缺点，使纳米颗粒在气流和超声振动作用下获得更充分的分散。
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公开(公告)号：CN108715998B
公开(公告)日：2019-08-13
申请号：CN201810614134.0
申请日：2018-06-14
Applicant: 华中科技大学
IPC: C23C16/455
Abstract: 本发明属于原子层沉积制备仪器相关领域，并公开了一种用于大批量微纳米颗粒包裹的原子层沉积装置，该装置包括颗粒容器和反应腔体，其中反应腔体的下端设置有进源口，进源口中密封设置有用于输入前驱体和载气的进气管；反应腔体的上端开设有腔门，颗粒容器可以自由放置于反应腔体中，或从中取出；颗粒容器下端设有进气孔，进气管通过进气孔进入颗粒容器的内腔。通过本发明，能够有效将气流内循环与外循环的方法相结合，显著增大颗粒间的碰撞及与气体分子的接触概率，提升反应速率和前驱体利用率，实现大批量微纳米颗粒的高质高效包覆。
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公开(公告)号：CN108220917A
公开(公告)日：2018-06-29
申请号：CN201810073257.8
申请日：2018-01-25
Applicant: 华中科技大学
IPC: C23C16/44
Abstract: 本发明属于原子层沉积设备领域，并具体公开了一种用于纳米颗粒表面包覆的连续原子层沉积设备，包括进料仓、第一反应室、第二反应室和出料仓，进料仓用于控制纳米颗粒进入第一反应室，纳米颗粒在第一反应室中利用超声振动网打散，与第一前驱体反应物发生反应；反应后的纳米颗粒经第一旋转给料装置进入第一清洗室，并通过气体吹扫清洗掉反应副产物；经过清洗后的纳米颗粒送入第二反应室中，并在第二反应室内部利用超声振动网打散，且与第二前驱体反应物发生反应；反应后的纳米颗粒经第二旋转给料装置进入第二清洗室，并通过气体吹扫清洗掉反应副产物，最后送入出料仓中。本发明可实现纳米颗粒表面薄膜的连续均匀沉积，且无团聚现象。
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公开(公告)号：CN114075659B
公开(公告)日：2022-12-20
申请号：CN202111163408.7
申请日：2021-09-30
Applicant: 华中科技大学
IPC: C23C16/442 , C23C16/455 , H01M4/36
Abstract: 本发明提供了一种粉体包覆反应器、超声流化原子层沉积包覆装置及其应用。该粉体包覆反应器包括反应筒和多个传振片；反应筒的两端具有开口，反应筒的侧壁上开设有多个第一通孔；多个传振片依次间隔设置于反应筒内，每个传振片的边缘密封连接于反应筒的内壁，多个传振片将反应筒的内腔分隔为沿一端开口至另一端开口方向上依次分布的多个子腔体，传振片上设置有用于供粉体在该传振片相邻的两个子腔体之间通过的第二通孔。上述粉体包覆反应器能够有效保持纳米颗粒的分散状态，实现大批量粉末的均匀包覆。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN108359960B
公开(公告)日：2020-02-14
申请号：CN201810274604.3
申请日：2018-03-30
Applicant: 华中科技大学
IPC: C23C16/455 , B82Y40/00 , B82Y30/00
Abstract: 本发明属于原子层沉积反应领域，并公开了一种微纳米颗粒的快速原子层沉积设备。设备包括进料装置、料槽、起振装置和反应装置，料槽一端的上方设置有进料装置，另外一端的上方设置有反应装置，起振装置与料槽相连，使得从进料装置进入料槽中的微纳米颗粒做向前的抛掷运动直至到达反应装置的下方；反应装置包括有多个并行排列的反应喷头和设置在喷头侧面的加热片，在多个反应喷头中通入反应气体，采用惰性气体隔开，用于通入反应气体使得料槽中的微纳米颗粒发生沉积反应，微纳米颗粒到达反应装置下方后与从反应喷头中喷入的气体发生反应，以此完成沉积过程。通过本发明，缩短反应时间，提高反应效率，本设备结构简单，便于使用和维护。
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公开(公告)号：CN113564564B
公开(公告)日：2022-10-21
申请号：CN202110753358.1
申请日：2021-07-02
Applicant: 华中科技大学
IPC: C23C16/455 , C23C16/458 , C23C16/44
Abstract: 本发明涉及一种原子层沉积装置，反应室包括反应室主体与腔门，反应室主体的内部形成反应腔体，反应室主体上设有进气口与抽气口，腔门与反应室主体可拆卸连接；安装架与腔门固定连接，腔门与反应室主体连接时，安装架位于反应腔体的内部；第一承载件用于承载块状待包覆物，第一承载件与安装架可拆卸连接；第二承载件用于承载粉状待包覆物，第二承载件与安装架可拆卸连接；第一使用状态下，第一承载件与安装架固定连接；第二使用状态下，第二承载件与安装架连接，且驱动件与第二承载件连接，驱动件用于驱动第二承载件相对于安装架转动。该原子层沉积装置可以对不同类型的待包覆物进行沉积，适用范围更广。
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公开(公告)号：CN110931713B
公开(公告)日：2020-12-29
申请号：CN201911292224.3
申请日：2019-12-13
Applicant: 华中科技大学
IPC: H01M4/1391 , H01M4/04 , H01M4/131
Abstract: 本发明属于锂离子电池领域，并具体公开了一种锂离子电池正极及其制备方法，包括如下步骤：S1将待修饰粉体装入反应腔体内，并使反应腔体处于真空状态，然后转动反应腔体并对其进行加热，使待修饰粉体均匀分布在反应腔体内；S2向反应腔体内交替通入前驱体和吹扫气体，前驱体与待修饰粉体反应，使待修饰粉体表面形成一层氧化物薄膜；S3重复S2若干次，使待修饰粉体表面形成若干层氧化物薄膜，完成粉体修饰；S4将修饰后的粉体调配成浆料涂覆在金属片上，并真空干燥，完成锂离子电池正极制备。本发明通过在锂离子电池正极材料粉末表面沉积氧化物膜，提高锂离子电池正极在充电和放电过程中的稳定性，增加锂离子电池的使用寿命。
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公开(公告)号：CN109183004B
公开(公告)日：2020-02-14
申请号：CN201810727091.7
申请日：2018-07-05
Applicant: 华中科技大学
IPC: C23C16/54 , C23C16/455 , C23C16/46 , C23C16/40 , H01M4/04 , H01M2/14 , H01M10/058
Abstract: 本发明属于新能源材料领域，并公开了采用循环卷绕式原子层沉积设备提高电池稳定性的方法，循环卷绕式原子层沉积设备包括包括加热板、反应喷头组、驱动辊筒和伺服电机，该方法包括以下步骤：(1)将待沉积薄片绕过各驱动辊筒，再用胶布使该待沉积薄片首尾相连形成封闭的环；(2)将待沉积薄片加热到原子层沉积反应所需的温度；(3)反应喷头组对待沉积薄片上被加热的部分进行吹气和喷反应前驱体，在待沉积薄片表面沉积氧化物薄膜。本发明采用原子层沉积技术包覆锂离子电池中的正极、负极和隔膜，解决了锂离子电池正极和负极在充放电过程中的稳定性问题，提高了隔膜的结构强度，防止隔膜破裂导致的电池短路危险，沉积工艺简单，效率高，成本低。
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公开(公告)号：CN108220917B
公开(公告)日：2020-01-21
申请号：CN201810073257.8
申请日：2018-01-25
Applicant: 华中科技大学
IPC: C23C16/44
Abstract: 本发明属于原子层沉积设备领域，并具体公开了一种用于纳米颗粒表面包覆的连续原子层沉积设备，包括进料仓、第一反应室、第二反应室和出料仓，进料仓用于控制纳米颗粒进入第一反应室，纳米颗粒在第一反应室中利用超声振动网打散，与第一前驱体反应物发生反应；反应后的纳米颗粒经第一旋转给料装置进入第一清洗室，并通过气体吹扫清洗掉反应副产物；经过清洗后的纳米颗粒送入第二反应室中，并在第二反应室内部利用超声振动网打散，且与第二前驱体反应物发生反应；反应后的纳米颗粒经第二旋转给料装置进入第二清洗室，并通过气体吹扫清洗掉反应副产物，最后送入出料仓中。本发明可实现纳米颗粒表面薄膜的连续均匀沉积，且无团聚现象。
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