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公开(公告)号:CN116936768A
公开(公告)日:2023-10-24
申请号:CN202311018492.2
申请日:2023-08-14
Applicant: 华中科技大学 , 华中科技大学无锡研究院
IPC: H01M4/36 , H01M4/62 , H01M4/13 , H01M10/0525
Abstract: 本发明涉及一种复合正极材料及其制备方法与应用。该复合正极材料的制备方法中,分别采用前驱体A和含硼前驱体B在正极活性材料的同一表面交替进行原子层沉积,制备复合正极材料;所述原子层沉积的温度为30℃~500℃,压力为0.1Pa~1000Pa;所述前驱体A为氧单质、含氧无机物及金属有机化合物中的至少一种;所述含硼前驱体B为硼酸酯。
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公开(公告)号:CN116850893A
公开(公告)日:2023-10-10
申请号:CN202311027972.5
申请日:2023-08-15
Applicant: 华中科技大学 , 华中科技大学无锡研究院
Abstract: 本申请涉及一种粉体包覆设备。粉体包覆设备包括流化机构、气体分布机构、进气管道与出料装置,流化机构设有流化腔。气体分布机构设有气体分布腔,气体分布机构设于流化机构内。气体分布机构与流化机构之间形成气室。气体分布机构上设有通风孔,通风孔连通气室与气体分布腔。进气管道与气室连通。出料装置与流化机构连接,出料装置上设有与气体分布腔连通的出料口。本申请中气体分布机构设于流化机构内部,出料装置设于流化机构的一端,使得流化后的粉末可以从出料装置流出。与出料装置与气体分布机构共用同一区域的方案相比,将出料装置与气体分布机构分离,可使气体分布机构上的通风孔不会限制出料的面积,从而以提高出料装置的出料效率。
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公开(公告)号:CN111304634B
公开(公告)日:2022-05-13
申请号:CN202010231957.2
申请日:2020-03-27
Applicant: 华中科技大学无锡研究院
IPC: C23C16/455 , C23C16/40 , A61K41/00 , A61K9/50 , A61K47/36 , A61K47/02 , B82Y25/00 , B82Y30/00 , B82Y40/00
Abstract: 本发明属于纳米淀粉微球改性技术领域,具体涉及一种利用原子层沉积包覆纳米淀粉微球的方法。本发明通过将纳米淀粉微球置于超声垂直流化原子层沉积设备中,开启超声振动,在适当的反应温度和压力下,选择合适活性与蒸汽压的前驱体交替通入,在纳米淀粉微球表面通过活性官能团的交换形成单层化学吸附并完成自限制化学半反应,生成致密的薄膜,对表面的各个部位进行厚度均匀一致的薄膜包覆。本发明采用原子层沉积技术生成的纳米薄膜包覆均匀性较高,尤其对于颗粒较小的纳米淀粉微球可实现其均匀包覆,形成的纳米薄膜结构致密,具有均匀的厚度、优异的一致性,由于其反应机理的特点,可实现对不同粒径纳米淀粉微球的包覆。
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公开(公告)号:CN111364023A
公开(公告)日:2020-07-03
申请号:CN202010231952.X
申请日:2020-03-27
Applicant: 华中科技大学无锡研究院
IPC: C23C16/455 , B22F1/02 , C23C16/40
Abstract: 本发明属于原子层沉积技术领域,具体涉及一种基于原子层沉积的光伏正面导电银浆银粉的表面改性方法。本发明通过将银粉置于离心流化微纳米颗粒原子层沉积设备中,在适当的反应温度、压力及转速条件下,通过原子层沉积反应在银粉表面进行厚度均匀一致的纳米级致密氧化物薄膜包覆。本发明利用原子层沉积技术在光伏正面导电银浆银粉表面包覆纳米级厚度可控致密氧化物薄膜,对银粉进行表面改性改善其表面粗糙度,制备表面光滑的球形银粉,提升其在导电银浆中的分散稳定性,从而减少了银粉颗粒表面的孔隙,提升银粉在有机溶剂中的浸润性,进而提升由其制备的导电银浆的印刷性能,获得更高的光电转换效率。
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公开(公告)号:CN111304634A
公开(公告)日:2020-06-19
申请号:CN202010231957.2
申请日:2020-03-27
Applicant: 华中科技大学无锡研究院
IPC: C23C16/455 , C23C16/40 , A61K41/00 , A61K9/50 , A61K47/36 , A61K47/02 , B82Y25/00 , B82Y30/00 , B82Y40/00
Abstract: 本发明属于纳米淀粉微球改性技术领域,具体涉及一种利用原子层沉积包覆纳米淀粉微球的方法。本发明通过将纳米淀粉微球置于超声垂直流化原子层沉积设备中,开启超声振动,在适当的反应温度和压力下,选择合适活性与蒸汽压的前驱体交替通入,在纳米淀粉微球表面通过活性官能团的交换形成单层化学吸附并完成自限制化学半反应,生成致密的薄膜,对表面的各个部位进行厚度均匀一致的薄膜包覆。本发明采用原子层沉积技术生成的纳米薄膜包覆均匀性较高,尤其对于颗粒较小的纳米淀粉微球可实现其均匀包覆,形成的纳米薄膜结构致密,具有均匀的厚度、优异的一致性,由于其反应机理的特点,可实现对不同粒径纳米淀粉微球的包覆。
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公开(公告)号:CN109355641A
公开(公告)日:2019-02-19
申请号:CN201811313431.8
申请日:2018-11-06
Applicant: 华中科技大学无锡研究院
IPC: C23C16/455 , C23C16/44
Abstract: 本发明涉及一种无机颜料表面改性的方法,属于工业无机颜料改性技术领域。其通过对无机颜料进行球磨粉碎后将其置于粉末原子层沉积设备中,在适当的反应温度和压力下,选择合适活性与蒸汽压的前驱体交替通入,在无机颜料表面通过活性官能团的交换形成单层化学吸附并完成自限制化学半反应,生成致密的薄膜,对表面的各个部位进行厚度均匀一致的薄膜包覆。本发明采用的原子层沉积生成的纳米薄膜包覆均匀性较高,尤其对于颗粒较小的无机颜料可实现其均匀包覆。本发明通过原子层沉积生成的纳米薄膜结构致密,具有均匀的厚度、优异的一致性,由于其反应机理的特点,可实现对不同粒径的无机颜料的包覆。
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公开(公告)号:CN109355641B
公开(公告)日:2020-12-04
申请号:CN201811313431.8
申请日:2018-11-06
Applicant: 华中科技大学无锡研究院
IPC: C23C16/455 , C23C16/44
Abstract: 本发明涉及一种无机颜料表面改性的方法,属于工业无机颜料改性技术领域。其通过对无机颜料进行球磨粉碎后将其置于粉末原子层沉积设备中,在适当的反应温度和压力下,选择合适活性与蒸汽压的前驱体交替通入,在无机颜料表面通过活性官能团的交换形成单层化学吸附并完成自限制化学半反应,生成致密的薄膜,对表面的各个部位进行厚度均匀一致的薄膜包覆。本发明采用的原子层沉积生成的纳米薄膜包覆均匀性较高,尤其对于颗粒较小的无机颜料可实现其均匀包覆。本发明通过原子层沉积生成的纳米薄膜结构致密,具有均匀的厚度、优异的一致性,由于其反应机理的特点,可实现对不同粒径的无机颜料的包覆。
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公开(公告)号:CN118858810A
公开(公告)日:2024-10-29
申请号:CN202410951710.6
申请日:2024-07-16
Applicant: 华中科技大学
IPC: G01R31/00 , C23C16/455 , G01R13/00 , G01R19/00 , G01L11/00
Abstract: 本申请涉及一种前驱体脉冲时间测量系统及其测量方法、测量装置和原子层沉积系统。该测量系统应用于原子层沉积系统,原子层沉积系统包括依次连通的储气罐、电磁阀和自动泄漏减压阀,测量系统包括:压力传感器和示波器;其中,压力传感器用于检测电磁阀的压力;示波器的输入端与压力传感器的输出端连接,用于输出表征电磁阀的压力的电压波形;其中,前驱体脉冲时间为两个相邻的第一时间节点和第二时间节点之间的差值,第一时间节点为电压波形的幅值上升至第一预设阈值时对应的时间数据;第二时间节点为电压波形的幅值下降至第二预设阈值时对应的时间数据,第一预设阈值大于第二预设阈值。采用该测量系统能够准确测量前驱体脉冲时间。
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公开(公告)号:CN114075659B
公开(公告)日:2022-12-20
申请号:CN202111163408.7
申请日:2021-09-30
Applicant: 华中科技大学
IPC: C23C16/442 , C23C16/455 , H01M4/36
Abstract: 本发明提供了一种粉体包覆反应器、超声流化原子层沉积包覆装置及其应用。该粉体包覆反应器包括反应筒和多个传振片;反应筒的两端具有开口,反应筒的侧壁上开设有多个第一通孔;多个传振片依次间隔设置于反应筒内,每个传振片的边缘密封连接于反应筒的内壁,多个传振片将反应筒的内腔分隔为沿一端开口至另一端开口方向上依次分布的多个子腔体,传振片上设置有用于供粉体在该传振片相邻的两个子腔体之间通过的第二通孔。上述粉体包覆反应器能够有效保持纳米颗粒的分散状态,实现大批量粉末的均匀包覆。
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公开(公告)号:CN108359960B
公开(公告)日:2020-02-14
申请号:CN201810274604.3
申请日:2018-03-30
Applicant: 华中科技大学
IPC: C23C16/455 , B82Y40/00 , B82Y30/00
Abstract: 本发明属于原子层沉积反应领域,并公开了一种微纳米颗粒的快速原子层沉积设备。设备包括进料装置、料槽、起振装置和反应装置,料槽一端的上方设置有进料装置,另外一端的上方设置有反应装置,起振装置与料槽相连,使得从进料装置进入料槽中的微纳米颗粒做向前的抛掷运动直至到达反应装置的下方;反应装置包括有多个并行排列的反应喷头和设置在喷头侧面的加热片,在多个反应喷头中通入反应气体,采用惰性气体隔开,用于通入反应气体使得料槽中的微纳米颗粒发生沉积反应,微纳米颗粒到达反应装置下方后与从反应喷头中喷入的气体发生反应,以此完成沉积过程。通过本发明,缩短反应时间,提高反应效率,本设备结构简单,便于使用和维护。
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