一种基于压电传感的微振动检测器

    公开(公告)号:CN108507666B

    公开(公告)日:2019-10-25

    申请号:CN201810274614.7

    申请日:2018-03-30

    Abstract: 本发明属于振动检测领域,并公开了一种基于压电传感的微振动检测器。其包括外壳、质量块、导电环、压电传感器以及缓冲单元,质量块设置在外壳的中心,导电环套在质量块的对称两侧,外壳内壁上均匀设置有多个缓冲单元和压电传感器,支撑块用于连接质量块和导电环,压电传感器用于将力信号转化为电信号,导电环内壁设置有电极,电极与压电传感器上均设置有导线,用于引出电信号;外壳受到振动向质量块靠近,使得压电传感器与导电环接触,并与外接电路形成闭合回路,由不同位置处的压电传感器反馈的电信号判断振动力的大小和位置,以此确定振动的来源和振幅。通过本发明,实现微弱地震波信号和建筑物微小振动的检测,结构简单,成本低廉。

    一种柔性压电应力传感器的制备方法及其产品

    公开(公告)号:CN110132459A

    公开(公告)日:2019-08-16

    申请号:CN201910341785.1

    申请日:2019-04-26

    Abstract: 本发明属于柔性压电应力传感器相关技术领域,并公开了一种柔性压电应力传感器的制备方法,包括:在基体上蒸镀银电极制备得到底电极;压电层是溶液旋涂方法得到的二甲基硅氧烷包覆10~30wt.%压电纳米片,压电纳米片由化学合成方法制备钇掺杂的氧化锌构成;在压电层表面蒸镀形成顶电极,同时形成三明治构造体;将三明治构造体从玻璃基体上剥离下来,用微米级的铜线将上下电极引出,最后通过PET薄膜将电极封装得到柔性压电薄膜传感器。本发明还公开了相应的产品。通过本发明,提供了一种新型的制备路线,同时具有柔性好、结构简单、稳定性好、灵敏度高等优点,因而尤其适用于人体健康监测、仿生机器人等领域。

    一种高灵敏度压电式气压传感器及其制备方法

    公开(公告)号:CN110686823A

    公开(公告)日:2020-01-14

    申请号:CN201911003618.2

    申请日:2019-10-22

    Abstract: 本发明属于压电传感器领域,并公开了一种高灵敏度压电式气压传感器及其制备方法。该气压传感器自上而下包括阻隔层、功能层和腔体层,其中,阻隔层为弹性薄膜,用于保护功能层不受外界的侵蚀;功能层包括云母薄膜、压电薄膜和电极,云母薄膜作为压电薄膜的载体,压电薄膜附着在云母薄膜上,电极设置在压电薄膜上;腔体层设置在功能层的下方,该腔体层的基底和功能层形成密封的空腔;当外界的气压与空腔内的气压形成气压差时,压电薄膜发生形变并将该形变转变为电信号,电极将该电信号传递给检测装置,以此实现气压的检测。本发明还公开了上述气压传感器的制备方法。通过本发明,制备的气压传感器的柔性好,灵敏度高。

    一种基于压电传感的微振动检测器

    公开(公告)号:CN108507666A

    公开(公告)日:2018-09-07

    申请号:CN201810274614.7

    申请日:2018-03-30

    Abstract: 本发明属于振动检测领域,并公开了一种基于压电传感的微振动检测器。其包括外壳、质量块、导电环、压电传感器以及缓冲单元,质量块设置在外壳的中心,导电环套在质量块的对称两侧,外壳内壁上均匀设置有多个缓冲单元和压电传感器,支撑块用于连接质量块和导电环,压电传感器用于将力信号转化为电信号,导电环内壁设置有电极,电极与压电传感器上均设置有导线,用于引出电信号;外壳受到振动向质量块靠近,使得压电传感器与导电环接触,并与外接电路形成闭合回路,由不同位置处的压电传感器反馈的电信号判断振动力的大小和位置,以此确定振动的来源和振幅。通过本发明,实现微弱地震波信号和建筑物微小振动的检测,结构简单,成本低廉。

    一种真空环境更换样品装置

    公开(公告)号:CN109883919B

    公开(公告)日:2020-09-18

    申请号:CN201910147919.6

    申请日:2019-02-28

    Abstract: 本发明属于真空分析设备领域,并公开了一种真空环境更换样品装置,该装置包括换样台、阀座和密封单元,其中换样台用于放置和更换样品;阀座中第一反应室设有通孔用于与第一腔室连通,并通过第一阀芯的移动实现第一通道的打开和闭合,样品室用于放置换样台,第二反应室设有通孔用于与第二腔室连通,并通过第二阀芯的移动实现第二通道的打开和闭合;密封单元用于与阀座相互配合隔绝外界空气。本发明通过第一阀芯和第二阀芯可以在不影响第一腔室和第二腔室真空环境的条件下,实现样品的更换,并且更换样品后打开第一通道和第二通道即可使样品处于工作环境中,节约了重新获得工作环境的时间。

    一种真空环境更换样品装置

    公开(公告)号:CN109883919A

    公开(公告)日:2019-06-14

    申请号:CN201910147919.6

    申请日:2019-02-28

    Abstract: 本发明属于真空分析设备领域,并公开了一种真空环境更换样品装置,该装置包括换样台、阀座和密封单元,其中换样台用于放置和更换样品;阀座中第一反应室设有通孔用于与第一腔室连通,并通过第一阀芯的移动实现第一通道的打开和闭合,样品室用于放置换样台,第二反应室设有通孔用于与第二腔室连通,并通过第二阀芯的移动实现第二通道的打开和闭合;密封单元用于与阀座相互配合隔绝外界空气。本发明通过第一阀芯和第二阀芯可以在不影响第一腔室和第二腔室真空环境的条件下,实现样品的更换,并且更换样品后打开第一通道和第二通道即可使样品处于工作环境中,节约了重新获得工作环境的时间。

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