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公开(公告)号：CN115453746A
公开(公告)日：2022-12-09
申请号：CN202211248795.9
申请日：2022-10-12
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
IPC: G02B26/08
Abstract: 本发明提供一种无轴间耦合的双轴静电驱动微反射镜及阵列式器件，无轴间耦合的双轴静电驱动微反射镜包括：衬底；绕着外轴扭转的外框架，及将其固定在衬底上的外轴扭转梁和锚点；布置在外轴两侧的外轴驱动单元，每个外轴驱动单元包括两个高低插指分布的梳齿集；绕着内轴扭转的反射镜体、及将其与外框架连接的内轴扭转梁；布置在反射镜体上表面的反射膜；布置在内轴两侧的内轴驱动单元，每个内轴驱动单元包括两个高低插指交错分布的梳齿集；导线及绝缘介质。本发明将反射镜体、内轴扭转梁和内轴驱动单元均作为外框架的随动结构，实现了内轴驱动和外轴驱动的物理隔离，消除了轴间耦合干扰。
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公开(公告)号：CN109292728A
公开(公告)日：2019-02-01
申请号：CN201811497519.X
申请日：2018-12-07
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 , 中国科学院大学
Abstract: 本发明提供一种可拆卸封装结构及其制备方法，可拆卸封装结构包括：基板，所述基板的上表面形成有凹槽；可拆卸盖板，所述可拆卸盖板卡置于所述凹槽的内部，以在所述可拆卸盖板与所述凹槽底部之间形成密封空腔；MEMS器件结构，密封于所述密封空腔内。本发明提供的可拆卸封装结构在对MEMS器件结构提供足够的保护的前提下，结构紧凑，大大减小整体封装结构的尺寸，整个封装结构灵活多变，其可拆卸功能大大增加其封装保护范围；可拆卸封盖结构的制备方法中利用湿法腐蚀形成，且其加工尺寸具有很高的鲁棒性，工艺简单，易于实现，可以实现与IC芯片的系统级封装，可通过倒装工艺减少系统级封装的整体尺寸。
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公开(公告)号：CN102200667B
公开(公告)日：2013-08-21
申请号：CN201110120151.7
申请日：2011-05-06
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
IPC: G02F1/21
Abstract: 一种体硅可调谐光学滤波器由体硅调谐腔，高掺杂的体硅电阻加热器，下悬臂梁、上悬臂梁，表面高掺杂的左悬臂梁、表面高掺杂的右悬臂梁，金属导线、应力平衡金属导线、左引线区域，右引线区域和支撑SOI硅基底11构成。其采用高电阻率的SOI硅片并利用体硅加工工艺制作获得。包括：(a)SOI硅片器件层表面制作高掺杂区域；(b)硅片器件层表面溅射金属并制作金属结构；(c)硅片器件层表面制作体硅调谐腔和各悬臂梁结构；(d)从硅片下表面衬底层释放体硅调谐腔及悬臂梁结构；(e)在体硅调谐腔上下表面制作高反射膜，形成光学F-P干涉腔体。所制作的该滤波器具有很好的光学性能，且工艺制作简单，结构可靠性高。
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公开(公告)号：CN101408645B
公开(公告)日：2012-07-18
申请号：CN200810203286.8
申请日：2008-11-25
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
Abstract: 本发明涉及一种椭圆光斑的光纤准直器(collimator)。其特征在于：(1)光纤准直器的出射光斑为椭圆形光斑，即在两个垂直方向上的光斑半径不相等；(2)光纤准直器的准直透镜包含柱面，将圆形光斑变成椭圆光斑；(3)准直透镜表面镀增透膜以增加回波损耗；(4)输入光纤可以为单光纤，也可以为双光纤，分别构成单光纤椭圆光斑锁定准直器和双光纤椭圆光斑准直器。利用此种准直器构成的MEMS光衰减器、光开关以及椭圆光斑的2×2开关，使微镜的移动行程大大缩短，适应MEMS光器件的要求，同时该准直器还可以应用于MEMS光纤传感器。
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公开(公告)号：CN102225739A
公开(公告)日：2011-10-26
申请号：CN201110095547.0
申请日：2011-04-15
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
Abstract: 本发明涉及一种基于MEMS技术的可调FP光学滤波器的制作方法，其特征在于：采用两次光刻制作出所有图形的刻蚀窗口；采用一次等离子体硅刻蚀完成中间FP空气腔体及可动硅反射镜面结构的制作；采用一次硅-硅键合、等离子体干法刻蚀、HF酸腐蚀二氧化硅层释放工艺制造硅膜可动反射镜；采用硬模板选择蒸镀的方法制作FP腔内两反射镜的高反膜及增透膜；采用一次硅-玻璃键合形成最终的FP腔滤波器。极大地简化了工艺流程，保证了FP腔镜面光洁度和平行度，提高了所制造的FP滤波器的光学技术指标和芯片成品率。与现有的同类产品制作工艺相比具有更好的工艺兼容性及可操作性，驱动电压更低，具有较好的光学调谐重复性和稳定性。可广泛应用于光通信WDM系统。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN101408647A
公开(公告)日：2009-04-15
申请号：CN200810203285.3
申请日：2008-11-25
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
Abstract: 本发明涉及一种基于双光纤椭圆光斑准直器的2×2MEMS光开关。其特征在于：(1)光开关采用一对双光纤椭圆光斑准直器和MEMS微镜耦合而成；(2)双光纤椭圆光斑准直器的出射光束束腰光斑为椭圆形光斑，即在两个互相垂直方向上的光斑半径不相等；(3)双光纤椭圆光斑准直器的准直透镜包含柱面，将圆形光斑变成椭圆光斑；(4)准直透镜表面镀增透膜以增加回波损耗；(5)椭圆光斑准直器为双光纤准直器，输入光纤为双光纤；(6)MEMS微镜为MEMS梳齿驱动平动微镜；(7)MEMS微镜放置在椭圆光斑准直器出射光束的束腰位置，驱动方向与光斑短轴方向一致。本发明可以大大减小2×2光开关对MEMS微镜驱动行程的要求，几十微米的行程即可获得足够低的光信号串扰。
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公开(公告)号：CN1295528C
公开(公告)日：2007-01-17
申请号：CN200410067932.4
申请日：2004-11-05
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
Abstract: 本发明涉及一种采用一次离子交换工艺在玻璃基片上制作平面集成Bragg波导光栅的方法。其特征在于所述的方法采用微细加工工艺在玻璃基片表面制作出周期性条形扩散窗口，而后将玻璃基片放入含有高极化率掺杂离子的熔盐中进行离子交换，离子交换过程中通过相毗邻的离子交换窗口扩散形成的条形光波导相互交迭，形成折射率分布带有周期性“褶皱”的“平板光波导”。这种“平板光波导”可以实现对入射光的调制，基于这种光栅的衍射原理，可以制成集成光路中的分插复用器或滤波器。本发明所述方法进一步简化了平面Bragg光栅器件的制作工艺，降低了其制作成本。
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公开(公告)号：CN1278920C
公开(公告)日：2006-10-11
申请号：CN200410053563.3
申请日：2004-08-06
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
Abstract: 本发明涉及一种微机电系统扭转镜面驱动器、制作方法及应用。其特征在于所述的扭转微镜面位于上电极和下电极构成的隔离空间内，其扭转的角度随驱动器的上电极和下电极施加的电压调节。其制作方法是首先在硅片背面上制作出扭转镜面的上电极与下电极隔离空间，构成扭转镜面的扭转空间，然后在玻璃上制作铝的下电极，接着把硅片背面和玻璃套准后键合在一起，把键合好的硅玻璃键合片进行硅片减薄，最后在减薄的硅片层上制作出扭转镜面的两端固定的细梁、驱动器的上电极和扭转微镜面，对硅片进行划片后，得到单个的静电镜面驱动的驱动器；具有体积小、工艺简单、驱动电压低、可靠性高，响应速度快和利于集成的优点。
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公开(公告)号：CN1271436C
公开(公告)日：2006-08-23
申请号：CN200410015742.8
申请日：2004-01-09
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
Abstract: 一种反射式阵列波导调制型光开关，由输入/输出波导阵列、平板波导区、调制波导阵列、调制器阵列、反射镜阵列、可调光衰减器阵列等基本单元构成。输入/输出波导阵列，平板波导区，调制波导阵列依次以锥形波导直接耦合连接，可调光衰减器阵列制作在输入/输出波导阵列上，调制器阵列制作在调制波导阵列上，反射镜阵列制作在调制波导阵列的末端。输入光信号由平板波导区耦合进调制波导阵列，并经反射镜阵列的反射，在调制波导阵列中实现两次调相，从而使不同调制波导中的光信号产生相位调制。不同相位的光信号在平板波导区实现多光束干涉，控制光束输出到指定的输出波导，实现1×N光开关功能。且可构成N×1光开关或N×N光开关陈列。
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公开(公告)号：CN119291917A
公开(公告)日：2025-01-10
申请号：CN202411257226.X
申请日：2024-09-09
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
Abstract: 本发明提供一种高速MEMS光学移相器及其阵列、封装结构和光学设备，移相器中：第二平面区域的驱动定梳齿与第一平面区域的驱动动梳齿构成静电梳齿驱动器；衬底层的平板驱动电极与第一平面区域的垂直运动微镜构成静电平板驱动器；位移传感器传感垂直运动微镜位移量并闭环反馈控制驱动状态。本发明中梳齿和平板的双驱动结构分别对垂直运动微镜沿两相反方向驱动，简单结构实现高速光学移相；同时闭环反馈控制与双驱动结构提高移相量控制精度；另外MEMS移相器高速移相满足低成本、低功耗、小体积的高速移相应用需求；最后MEMS片内集成位移传感器，指示MEMS光学移相器的移相量并闭环反馈调整静电梳齿驱动器和静电平板驱动器的驱动状态，提高高速移相设备性能。
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