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公开(公告)号：CN119291917A
公开(公告)日：2025-01-10
申请号：CN202411257226.X
申请日：2024-09-09
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
Abstract: 本发明提供一种高速MEMS光学移相器及其阵列、封装结构和光学设备，移相器中：第二平面区域的驱动定梳齿与第一平面区域的驱动动梳齿构成静电梳齿驱动器；衬底层的平板驱动电极与第一平面区域的垂直运动微镜构成静电平板驱动器；位移传感器传感垂直运动微镜位移量并闭环反馈控制驱动状态。本发明中梳齿和平板的双驱动结构分别对垂直运动微镜沿两相反方向驱动，简单结构实现高速光学移相；同时闭环反馈控制与双驱动结构提高移相量控制精度；另外MEMS移相器高速移相满足低成本、低功耗、小体积的高速移相应用需求；最后MEMS片内集成位移传感器，指示MEMS光学移相器的移相量并闭环反馈调整静电梳齿驱动器和静电平板驱动器的驱动状态，提高高速移相设备性能。
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