MEMS开关
    61.
    发明公开

    公开(公告)号:CN101000842A

    公开(公告)日:2007-07-18

    申请号:CN200610137596.5

    申请日:2006-10-26

    CPC classification number: B41J2/04581 B41J2/04541

    Abstract: 本发明公开了一种微电子机械系统(MEMS)开关,包括:基底;固定信号线,形成在基底上;可动信号线,与所述固定信号线的上表面和下表面中的一个表面分开;至少一个压电致动器,连接到所述可动信号线的第一端上,以使所述可动信号线与所述固定信号线接触或分开。所述至少一个压电致动器包括:第一电极;压电层,形成在所述第一电极上;第二电极,形成在所述压电层上;连接层,形成在所述第二电极上并与所述可动信号线连接。

    具有多层膜结构的DNA芯片
    64.
    发明公开

    公开(公告)号:CN1538163A

    公开(公告)日:2004-10-20

    申请号:CN200410034658.0

    申请日:2004-04-16

    CPC classification number: C12Q1/6837

    Abstract: 本发明提供了一种具有多层薄膜结构的DNA芯片。所述DNA芯片包括:载体;高反射区,其具有比载体高的折射率,并包括依次堆积在载体的预定区域之上的具有相对低折射率的薄膜以及具有相对高折射率的薄膜;低反射区,具有比载体低的反射率,并包括具有相对低的折射率薄膜,其堆积在载体高反射区的周围;至少固定在高反射区的DNA探针。DNA探针和用荧光染料标记的靶DNA之间的杂交反应发生在高反射区。DNA芯片杂交信号的检测灵敏度的增加为杂交信号提供了正确检测。

    包括隔离层的半导体器件及制造其的方法

    公开(公告)号:CN110071174B

    公开(公告)日:2024-01-09

    申请号:CN201811207725.2

    申请日:2018-10-17

    Abstract: 本发明构思涉及一种半导体器件及制造其的方法,该半导体器件包括:成对的配线图案,其被构造为在第一方向上延伸并形成在衬底上以在第二方向上彼此间隔开,该成对的配线图案在第二方向上最靠近彼此地设置;栅电极,其被构造为在衬底上沿第二方向延伸,栅电极被构造为围绕配线图案;以及第一隔离层,其被构造为沿第一方向在衬底与栅电极之间延伸,并且被形成为在第二方向上彼此间隔开,第一隔离层在垂直于第一方向和第二个方向的第三方向上重叠该成对的配线图案。

    半导体封装
    70.
    发明公开
    半导体封装 审中-实审

    公开(公告)号:CN115775773A

    公开(公告)日:2023-03-10

    申请号:CN202210926111.X

    申请日:2022-08-03

    Abstract: 一种半导体封装包括第一半导体芯片,第一半导体芯片包括第一半导体基板和穿透第一半导体基板的至少一部分的多个第一贯通电极。多个第二半导体包括第二半导体基板,所述多个第二半导体芯片堆叠在第一半导体芯片上。多个接合焊盘布置在第一半导体芯片和所述多个第二半导体芯片之间。芯片接合绝缘层布置在第一半导体芯片和所述多个第二半导体芯片之间。至少一个支撑虚设基板堆叠在所述多个第二半导体芯片上并具有布置在其下表面上的支撑接合绝缘层。

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