制造金刚石的方法、金刚石、金刚石复合基板、金刚石接合基板和工具

    公开(公告)号:CN114655953A

    公开(公告)日:2022-06-24

    申请号:CN202210130434.8

    申请日:2015-08-07

    Abstract: 本发明提供:一种制造金刚石的方法,所述方法能够在短时间内将所述金刚石与基板分离并且使得所述基板和所述金刚石各自的分离表面平坦;一种通过所述制造金刚石的方法获得的金刚石;和使用所述金刚石的金刚石复合基板、金刚石接合基板和工具。本发明的通过气相合成法制造金刚石的方法包括如下步骤:准备包含金刚石籽晶的基板;通过气相合成法在所述基板的主表面上形成光吸收层;通过气相合成法在所述光吸收层的主表面上生长金刚石层;和通过从所述金刚石层和所述基板中的至少一者的主表面施加光以使所述光吸收层吸收光并造成所述光吸收层破碎,从而将所述金刚石层与所述基板分离。

    单晶金刚石及其制造方法
    57.
    发明公开

    公开(公告)号:CN111133134A

    公开(公告)日:2020-05-08

    申请号:CN201880060767.X

    申请日:2018-09-14

    Abstract: 本发明涉及一种单晶金刚石,所述单晶金刚石包含:在观察表面中观察到的杂质总浓度不同的n种类型的区域,所述观察表面与(110)面平行并且具有不大于5μm的表面粗糙度Ra,所述观察表面是通过对所述单晶金刚石的表面进行研磨而得到的,其中n为2或3。所述n种类型的区域各自具有不小于0.1μm2的面积。在所述观察表面上的第一条线、第二条线和第三条线中的至少一条与所述n种类型的区域之间的边界交叉至少四次。所述第一条线、所述第二条线和所述第三条线是与 方向平行并且具有1mm长度的线段。所述第一条线的中点对应于所述观察表面的重心。所述第二条线的中点对应于在 方向上距所述重心300μm的点。所述第三条线的中点对应于在 方向上距所述重心300μm的点。

    含有固体碳的材料的加工体、其制造方法和其制造装置

    公开(公告)号:CN111032932A

    公开(公告)日:2020-04-17

    申请号:CN201880052808.0

    申请日:2018-08-13

    Abstract: 一种含有固体碳的材料的加工体的制造方法,所述方法包括:准备所述含有固体碳的材料的步骤,所述含有固体碳的材料由至少具有含有固体碳的表面的材料构成;形成气相流体的步骤,所述气相流体含有对所述固体碳具有活性的活性气体或活性等离子体中的至少一种;和通过将所述气相流体喷射到所述含有固体碳的材料的表面的至少一部分上来加工所述含有固体碳的材料的步骤。

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