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公开(公告)号:CN108474136A
公开(公告)日:2018-08-31
申请号:CN201780007532.X
申请日:2017-01-18
申请人: 住友电气工业株式会社 , 住友电工硬质合金株式会社
IPC分类号: C30B29/04 , A44C27/00 , C01B32/26 , C23C16/01 , C23C16/27 , C30B25/08 , C30B25/20 , H01L21/205
CPC分类号: A44C27/00 , C01B32/26 , C23C16/01 , C23C16/27 , C30B25/08 , C30B25/20 , C30B29/04 , H01L21/205
摘要: 本发明提供一种制造单晶金刚石的方法、所述方法包括如下步骤:在辅助板的至少一部分表面上形成保护膜的步骤;准备金刚石籽晶衬底的步骤;将具有保护膜的辅助板和金刚石籽晶衬底布置在腔室内的步骤,在所述具有保护膜的辅助板中所述保护膜形成在所述辅助板上;以及在将含碳气体引入所述腔室内的同时通过化学气相沉积法在所述金刚石籽晶衬底的主面上生长单晶金刚石的步骤。
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公开(公告)号:CN107923067A
公开(公告)日:2018-04-17
申请号:CN201680046754.8
申请日:2016-10-14
申请人: 住友电气工业株式会社 , 住友电工硬质合金株式会社
CPC分类号: B21C3/025 , B21C3/02 , B23B27/14 , B23B27/20 , C23C16/27 , C23C16/56 , C30B25/02 , C30B29/04
摘要: 本发明提供了一种单晶金刚石,其包括一组彼此相对的主表面,其中,在主表面中,杂质浓度沿着第一方向变化。
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公开(公告)号:CN111133134B
公开(公告)日:2022-06-14
申请号:CN201880060767.X
申请日:2018-09-14
申请人: 住友电气工业株式会社 , 住友电工硬质合金株式会社
摘要: 本发明涉及一种单晶金刚石,所述单晶金刚石包含:在观察表面中观察到的杂质总浓度不同的n种类型的区域,所述观察表面与(110)面平行并且具有不大于5μm的表面粗糙度Ra,所述观察表面是通过对所述单晶金刚石的表面进行研磨而得到的,其中n为2或3。所述n种类型的区域各自具有不小于0.1μm2的面积。在所述观察表面上的第一条线、第二条线和第三条线中的至少一条与所述n种类型的区域之间的边界交叉至少四次。所述第一条线、所述第二条线和所述第三条线是与 方向平行并且具有1mm长度的线段。所述第一条线的中点对应于所述观察表面的重心。所述第二条线的中点对应于在 方向上距所述重心300μm的点。所述第三条线的中点对应于在 方向上距所述重心300μm的点。
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公开(公告)号:CN108474136B
公开(公告)日:2021-05-28
申请号:CN201780007532.X
申请日:2017-01-18
申请人: 住友电气工业株式会社 , 住友电工硬质合金株式会社
IPC分类号: C30B29/04 , A44C27/00 , C01B32/26 , C23C16/01 , C23C16/27 , C30B25/08 , C30B25/20 , H01L21/205
摘要: 本发明提供一种制造单晶金刚石的方法、所述方法包括如下步骤:在辅助板的至少一部分表面上形成保护膜的步骤;准备金刚石籽晶衬底的步骤;将具有保护膜的辅助板和金刚石籽晶衬底布置在腔室内的步骤,在所述具有保护膜的辅助板中所述保护膜形成在所述辅助板上;以及在将含碳气体引入所述腔室内的同时通过化学气相沉积法在所述金刚石籽晶衬底的主面上生长单晶金刚石的步骤。
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公开(公告)号:CN111133134A
公开(公告)日:2020-05-08
申请号:CN201880060767.X
申请日:2018-09-14
申请人: 住友电气工业株式会社 , 住友电工硬质合金株式会社
摘要: 本发明涉及一种单晶金刚石,所述单晶金刚石包含:在观察表面中观察到的杂质总浓度不同的n种类型的区域,所述观察表面与(110)面平行并且具有不大于5μm的表面粗糙度Ra,所述观察表面是通过对所述单晶金刚石的表面进行研磨而得到的,其中n为2或3。所述n种类型的区域各自具有不小于0.1μm2的面积。在所述观察表面上的第一条线、第二条线和第三条线中的至少一条与所述n种类型的区域之间的边界交叉至少四次。所述第一条线、所述第二条线和所述第三条线是与 方向平行并且具有1mm长度的线段。所述第一条线的中点对应于所述观察表面的重心。所述第二条线的中点对应于在 方向上距所述重心300μm的点。所述第三条线的中点对应于在 方向上距所述重心300μm的点。
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公开(公告)号:CN112351843B
公开(公告)日:2024-05-14
申请号:CN201980042095.4
申请日:2019-06-25
申请人: 住友电工硬质合金株式会社 , 住友电气工业株式会社
摘要: 具有贯通孔的工具设置有基材和由基材保持的金刚石部件,其中,如果金刚石部件的沿贯通孔的中心线的长度为L1,并且与以所述中心线为其法线的截面的由外缘包围的区域面积相等的圆的直径的最大值为M1,那么L1和M1之间的比值L1/M1至少等于0.8。
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公开(公告)号:CN112351843A
公开(公告)日:2021-02-09
申请号:CN201980042095.4
申请日:2019-06-25
申请人: 住友电工硬质合金株式会社 , 住友电气工业株式会社
摘要: 具有贯通孔的工具设置有基材和由基材保持的金刚石部件,其中,如果金刚石部件的沿贯通孔的中心线的长度为L1,并且与以所述中心线为其法线的截面的由外缘包围的区域面积相等的圆的直径的最大值为M1,那么L1和M1之间的比值L1/M1至少等于0.8。
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公开(公告)号:CN112533713A
公开(公告)日:2021-03-19
申请号:CN201980051496.6
申请日:2019-08-02
申请人: 住友电工硬质合金株式会社
摘要: 一种用于车削的车削工具,其具有刀杆部以及固定至刀杆部的切削刃部。切削刃部由合成单晶金刚石构成。切削刃部包括前刀面、后刀面和配置在前刀面和后刀面相交处的相交部分的切削刃,并且具有刀尖弯曲部,其曲率半径为0.1mm至1.2mm。刀尖弯曲部满足以下条件,即:将刀尖弯曲部的顶角二等分的截面和前刀面之间的交线方向相对于合成单晶金刚石的 方向在±10°以内的条件和/或相对于合成单晶金刚石的 方向在±10°以内的条件。
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