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公开(公告)号：CN103708447B
公开(公告)日：2015-11-18
申请号：CN201310740378.0
申请日：2013-12-27
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
Abstract: 本发明提供一种氧化石墨烯量子点的提纯方法，所述氧化石墨烯量子点的提纯方法至少包括：提供氧化石墨烯量子点水溶液；在所述氧化石墨烯量子点水溶液中混入表面活性剂以形成混合溶液；向所述混合溶液中加入非极性溶剂，以将所述氧化石墨烯量子点萃取到所述非极性溶剂中，得到氧化石墨烯量子点非极性溶液；干燥所述氧化石墨烯量子点非极性溶液，以得到氧化石墨烯量子点粉体。本发明提供的上述氧化石墨烯量子点的提纯方法可得到高纯度氧化石墨烯量子点粉体。
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公开(公告)号：CN104992905A
公开(公告)日：2015-10-21
申请号：CN201510307155.4
申请日：2015-06-05
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
IPC: H01L21/306
CPC classification number: H01L21/30612
Abstract: 本发明提供一种氮化硼衬底表面台阶刻蚀方法，包括如下步骤：S1：提供一六角氮化硼衬底；S2：在所述六角氮化硼衬底表面形成掩膜层，并在所述掩膜层中形成暴露出所述六角氮化硼衬底表面的预设刻蚀图形；S3：在所述掩膜层表面及所述预设刻蚀图形内沉积金属层；S4：剥离所述掩膜层及其表面的金属层；S5：对所述六角氮化硼衬底进行退火，然后去除所述预设刻蚀图形内的金属层，在所述六角氮化硼衬底表面得到单层氮化硼原子厚度的台阶。本发明不仅可以控制六角氮化硼图形化的形状，大小，还可以选择刻蚀区域，同时可以通过反复刻蚀，控制刻蚀台阶的高度，解决了基于六角氮化硼薄膜器件的图形化加工难题。
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公开(公告)号：CN104950275A
公开(公告)日：2015-09-30
申请号：CN201410125669.3
申请日：2014-03-31
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
IPC: G01R35/00
Abstract: 本发明提供一种超导量子干涉器磁传感器的性能测试装置及方法，其中，超导量子干涉器磁传感器包括：SQUID和与SQUID相连并向该SQUID反馈磁通的磁通锁定环路。该性能测试装置包括：外部磁通加载单元，用于向超导量子干涉器磁传感器提供包含频率变化的外部磁通和用于抵消所述超导量子干涉器件所处环境磁通的抵消磁通，其中，外部磁通的幅度小于预设值；与磁通锁定环路相连的磁通偏差获取单元，用于获取外部磁通和反馈磁通之间的磁通偏差；与磁通偏差获取单元和外部磁通加载单元相连的测试单元，用于根据所获取的磁通偏差及所对应的频率来计算超导量子干涉器磁传感器不失锁时最大可测磁通-频率变化的特性。本发明能够持续的测试SQUID磁传感器的性能。
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公开(公告)号：CN104928649A
公开(公告)日：2015-09-23
申请号：CN201510189745.1
申请日：2015-04-20
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
CPC classification number: C30B25/186 , C01B32/186 , C22F1/08 , C23C14/165 , C23C14/35 , C23C14/5806 , C23C16/0227 , C23C16/0281 , C23C16/26 , C23C16/455 , C23F17/00 , C25D3/12 , C25D5/34 , C25D5/50 , C25D7/0614 , C25F3/22 , C30B25/12 , C30B25/165 , C30B29/02
Abstract: 本发明提供一种局域供碳装置及局域供碳制备晶圆级石墨烯单晶的方法，方法包括：提供局域供碳装置；制备镍铜合金衬底，将镍铜合金衬底置于局域供碳装置内；将放置有镍铜合金衬底的局域供碳装置置于化学气相沉积系统的腔室中，在局域供碳装置中通入气态碳源，从而在镍铜合金衬底上生长石墨烯单晶。本发明制备得到的石墨烯晶畴结晶性好，制备条件简单、成本低，生长所需条件参数的窗口较宽、重复性好，为晶圆级石墨烯单晶在石墨烯器件等领域的广泛应用打下了基础。所以，本发明有效克服了现有技术中的种种缺点而具高度产业利用价值。
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公开(公告)号：CN101999895B
公开(公告)日：2015-09-16
申请号：CN201010544329.6
申请日：2010-11-15
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
IPC: A61B5/04
Abstract: 本发明公开了一种用于心磁图仪的多点扫描定位系统和方法。所述的系统包括：(1)可调定位杆，其末端装有反光探头，可映射出无磁床在水平方向的移动；(2)反射式红外检测模块，与定位杆反光探头联系，利用反射机理来检测探头是否位于模块正上方；(3)扫描点阵基板，按特定分布排列固定红外发射接收模块；(4)微处理器模块(MCU)，检测红外发射接收模块上接收管状态，识别并发送电平信号给心磁处理软件。定位方法是首先调节无磁床与定位杆，根据已知基准点来基准心脏位置，然后利用红外发射接收对管和利用单片机，移动无磁床，定位若干阵点，完全对应上述需要测试的心脏上方的位置点，通过磁传感器来采集这些位置点的信号，从而得到完整心磁信号。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN104880679A
公开(公告)日：2015-09-02
申请号：CN201410072398.X
申请日：2014-02-28
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
IPC: G01R33/035
Abstract: 本发明提供一种超导量子干涉器磁传感器。所述磁传感器包括：第一超导量子干涉器件；欠反馈电路，用于将第一超导量子干涉器件所输出的电信号按预设比例放大后负反馈至第一超导量子干涉器件，使得反馈后的第一超导量子干涉器输出的电信号以周期单值特性输出并且反馈后的电信号在外部磁通所包含的各磁通量子变化周期结束时刻所输出的电信号由峰值跳变至磁通量子变化周期初始时的工作零点；信号处理单元，用于根据所接收的电信号中各跳变沿的方向来确定各磁通量子变化周期的数字波形信号的幅值并生成数字波形信号，并将所接收的电信号与所生成的数字波形进行叠加。本发明能够在多个磁通量子变化周期的跨度范围内进行测量，有效增加了测量时间和量程。
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公开(公告)号：CN104457793A
公开(公告)日：2015-03-25
申请号：CN201410742699.9
申请日：2014-12-08
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
IPC: G01C25/00
CPC classification number: G01C25/00 , G01C25/005
Abstract: 本发明涉及一种超导全张量磁梯度测控装置的同步精度的平行标定方法，其特征在于首先采用数字锁相环对GPS组合惯导秒脉冲信号PPS倍频产生重采样的时钟，然后利用计数器获得ADC采样时钟与重采样时钟的相位关系从而完成对原始信号的重采样；随后在接收到PPS信号时由串口读取此时GPS的精确授时时间，最后再与GPS组合惯导中存储的带有时间戳的位置和姿态信息融合后来实现同步。本发明提供十微秒级的同步测量精度，所述方法具有实现简单可操作性强，对成功研制超导全张量磁梯度测控装置意义重大。
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公开(公告)号：CN102931057B
公开(公告)日：2015-03-25
申请号：CN201210461745.9
申请日：2012-11-16
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
Abstract: 本发明提供一种基于栅介质结构的石墨烯场效应器件及其制备方法，该石墨烯场效应器件包括：具有栅电极沟槽的衬底；形成于所述栅电极沟槽中的栅电极；Al2O3介电薄膜层，位于所述栅电极沟槽中的栅电极表面，且Al2O3介电薄膜层表面与衬底表面齐平；覆盖于所述Al2O3介电薄膜层和衬底表面的BN薄膜层；形成于所述BN薄膜层上方的石墨烯；设置在所述石墨烯上方的源电极和漏电极，所述源电极和漏电极分别与石墨烯电性连接。本发明制备的BN薄膜层与Al2O3介电薄膜层共同构成新型的栅介质结构，有效保持了石墨烯中固有载流子的高迁移率，增强栅极的场效应作用，适用于石墨烯基高射频器件及碳基大规模集成电路制造领域。
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公开(公告)号：CN104345286A
公开(公告)日：2015-02-11
申请号：CN201310340677.5
申请日：2013-08-06
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
IPC: G01R33/035
Abstract: 本发明提供一种积分电路及所适用的超导量子干涉传感器。根据本发明所述的传感器，在所述积分电路中配置受外部控制信号的选通器，并根据所述控制信号改变所述积分电路，使得所述积分电路能够进行正极性积分、负极性积分、复位和调试中的一种。由此使超导量子干涉器件能够获得最佳工作参数，并灵活选定工作点，简化了现有超导量子干涉传感器读出电路中的积分电路。
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公开(公告)号：CN104297703A
公开(公告)日：2015-01-21
申请号：CN201310306933.9
申请日：2013-07-19
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
IPC: G01R33/035
Abstract: 本发明提供一种超导量子干涉传感器及所适用的磁探测器。根据本发明所述的磁探测器，由偏置电路向所述超导量子干涉传感器中的放大器提供偏置电压，所述放大器经分压电阻分压，将分压后的偏置电压提供给超导量子干涉传感器中的超导量子干涉器件，同时，利用所述偏置电压将所述超导量子干涉器件输出的电信号予以放大并输出，其中，所述超导量子干涉传感器还被浸放在使超导量子干涉器件处于超导状态的容器中。本发明所述的磁探测器由放大器向超导量子干涉器件提供偏置电压能够有效解决现有的放大器和超导量子干涉器件分用偏置电路而使所述干涉器件的集成度低、电路结构复杂等问题。
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