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公开(公告)号：CN111362226A
公开(公告)日：2020-07-03
申请号：CN202010171515.3
申请日：2020-03-12
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
Abstract: 本发明涉及微纳传感器技术领域，特别涉及一种谐振式微悬臂梁芯片及其制备方法，包括：固支部和微悬臂梁部，所述微悬臂梁部包括高温区和低温区，所述低温区的一端与所述高温区连接，所述低温区的另一端与所述固支部连接；所述高温区上设有加热线圈；所述低温区上设有检测元件；所述高温区和所述低温区之间设有至少一个阻热孔，所述阻热孔贯穿所述微悬臂梁设置。通过在微悬臂梁中部附近区域设计有镂空的阻热孔，将微悬臂梁分为靠近自由端的高温区和靠近固支部的低温区两部分。在高温区设计有加热线圈，可以对微悬臂梁加热；加热线圈可以将梁上高温区加热，而低温区可以保持在低温状态，确保检测元件可以正常工作。
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公开(公告)号：CN107045073B
公开(公告)日：2019-07-09
申请号：CN201710067201.7
申请日：2017-02-07
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
IPC: G01P15/125 , G01P15/08
Abstract: 本发明提供一种单硅片双面对称折叠梁结构微加速度传感器及其制作方法，其中，制作方法至少包括如下步骤：提供一上硅片、一下硅片，分别制作上电极盖板和下电极盖板；提供一中间硅片，于所述中间硅片的上表面和下表面预先形成未释放的折叠梁‑质量块结构，然后释放所述折叠梁‑质量块结构，从而形成中间电极；将所述上电极盖板和所述下电极盖板分别与所述中间电极对准并键合在一起；于所述上电极盖板上形成中间电极引线溅射槽；于所述上电极盖板上表面的选定区域、所述中间电极引线溅射槽内及所述下电极盖板下表面的选定区域形成焊盘。本发明利用单层硅片实现了双面对称的折叠弹性梁‑质量块结构的设计及制作，制作工艺简单可控。
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公开(公告)号：CN109682711A
公开(公告)日：2019-04-26
申请号：CN201910067922.7
申请日：2019-01-24
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
CPC classification number: G01N5/00 , G01N1/28 , G01N23/04 , H01J37/261
Abstract: 本发明提供一种用于TEM构效关联直接原位表征的芯片及其制作方法，芯片包括主芯片及辅芯片，其中，主芯片包括：具有观测孔的悬臂梁、主芯片凹槽、主芯片窗口及气孔；辅芯片包括：辅芯片窗口；通过悬臂梁的谐振用以检测位于悬臂梁上的待测样品的质量变化；通过将主芯片及辅芯片相对设置，并分别固定于TEM样品杆上，以在主芯片、辅芯片及TEM样品杆之间形成闭合空间，并通过辅芯片窗口、观测孔及主芯片窗口观测位于悬臂梁上的待测样品的形貌变化。本发明可以在TEM内实现对同一待测样品的形貌变化观测及质量变化检测，以进行直接、原位、实时表征，可广泛应用于纳米材料在气固反应过程中的TEM原位表征。
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公开(公告)号：CN106033153B
公开(公告)日：2019-02-01
申请号：CN201510116915.3
申请日：2015-03-17
Applicant: 复旦大学 , 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
IPC: G02F1/01
Abstract: 本发明提供一种基于石墨烯的可调光致透明波导结构，至少包括：石墨烯波导、第一石墨烯带及第二石墨烯带；第一石墨烯带及第二石墨烯带位于石墨烯波导的同一侧，且均平行于石墨烯波导；第一石墨烯带与石墨烯波导具有第一预设间距，第二石墨烯带与石墨烯波导具有第二预设间距。本发明通过采用了石墨烯波导结构，并在所述石墨烯波导同一侧设置具有预设间距的第一石墨烯带及第二石墨烯带，相对于金属结构，其能够通过调整所述第一石墨烯带及所述第二石墨烯带的费米能级动态调制光致透明的频率范围；相对于其他类型的平面结构，本发明的波导结构尺寸更小，更易于制作和集成；同时在本发明的结构中，能够同时实现对称和非对称的光致透明窗口。
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公开(公告)号：CN106698331B
公开(公告)日：2018-11-02
申请号：CN201710031365.4
申请日：2017-01-17
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
Abstract: 本发明提供一种包含梁膜结构的单晶硅红外热堆结构及其制作方法，所述热堆结构主要包括红外吸收膜、多根单晶硅梁、以及形成于所述单晶硅梁上方的热电材料层等，单晶硅梁和热电材料层形成热偶对。其中，红外吸收膜悬浮于结构中央，热偶对环绕在红外吸收膜四周，热偶对一端与红外吸收膜相连、另一端与支撑膜相连，并通过支撑膜连接到衬底。本发明热堆结构采用单晶硅作为热偶材料，单晶硅具有塞贝克系数高、电阻率低的优点，可实现较高的灵敏度；另外，本发明利用单晶硅梁支撑悬浮的红外吸收膜，既满足了热堆的绝热性要求，同时也具有较高的结构强度；再者，本发明的热堆结构采用单硅片单面加工的方法制作而成，尺寸小，成本低，适合大批量生产。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN108227075A
公开(公告)日：2018-06-29
申请号：CN201810218999.5
申请日：2018-03-16
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
Abstract: 本发明提供一种弯曲波导结构、制备方法及基于所述弯曲波导结构的偏振分束旋转器，弯曲波导结构包括：衬底；第一波导，弯曲设置于衬底上，包括第一耦合区；第二波导，弯曲设置于衬底上，第二波导包括与第一耦合区耦合的第二耦合区，第二波导与第一波导之间具有预设间距，第二耦合区包括下部波导及位于下部波导上方的上部波导，下部波导与上部波导的截面宽度不同。通过上述方案，本发明提供的弯曲波导结构，通过改进外部波导的结构，在整体波导结构中引入了非对称结构的设计，使得外部波导的耦合区的两端以及上下均具有不同的尺寸，该非对称性设计具有增大带宽的作用，解决了现有波导结构的对波长敏感问题，进一步拓宽了弯曲波导结构的实际应用。
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公开(公告)号：CN107453052A
公开(公告)日：2017-12-08
申请号：CN201710685056.9
申请日：2017-08-11
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
Abstract: 本发明提供一种电磁吸收超材料，其上表面处于工作环境中，包括周期性谐振单元阵列，所述电磁吸收超材料所述电磁吸收超材料上表面设有一层电介质复合薄膜，该薄膜为固态电介质层按不同厚度比例的叠加所述电介质复合薄膜的材料选自氧化硅、氮化硅、氧化铝、氟化镁或硅中的至少两种。本发明的电磁吸收超材料通过选取不同种类的介质薄膜，并把他们按照一定比例叠加，可以获得折射率在选取介质中最大与最小折射率之间的介质薄膜，从而实现表面晶格共振的更加灵活和可控的调制；电介质复合薄膜为固态电介质层按不同厚度比例的叠加，所以几乎可以在任意工作环境下工作，甚至是液态或运动的环境。
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公开(公告)号：CN107045073A
公开(公告)日：2017-08-15
申请号：CN201710067201.7
申请日：2017-02-07
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
IPC: G01P15/125 , G01P15/08
CPC classification number: G01P15/125 , G01P15/08 , G01P2015/0862
Abstract: 本发明提供一种单硅片双面对称折叠梁结构微加速度传感器及其制作方法，其中，制作方法至少包括如下步骤：提供一上硅片、一下硅片，分别制作上电极盖板和下电极盖板；提供一中间硅片，于所述中间硅片的上表面和下表面预先形成未释放的折叠梁‑质量块结构，然后释放所述折叠梁‑质量块结构，从而形成中间电极；将所述上电极盖板和所述下电极盖板分别与所述中间电极对准并键合在一起；于所述上电极盖板上形成中间电极引线溅射槽；于所述上电极盖板上表面的选定区域、所述中间电极引线溅射槽内及所述下电极盖板下表面的选定区域形成焊盘。本发明利用单层硅片实现了双面对称的折叠弹性梁‑质量块结构的设计及制作，制作工艺简单可控。
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公开(公告)号：CN105071698B
公开(公告)日：2017-05-31
申请号：CN201510430440.5
申请日：2015-07-21
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
IPC: H02N3/00
Abstract: 本发明提供一种基于液滴冷凝的热电转换能量采集装置及制备方法，所述热电转换能量采集装置包括散热端、上极板、下极板、传热板和超疏水壁面。所述传热板是具有超强导热能力的金属极板，其下表面与外界废热源相连，用于将外部热能传递到传热板上表面的液态水上。能量采集装置的侧壁和顶层内表面均采用超疏水材料，避免传热板上面蒸发的水蒸汽在内壁上冷凝，使水蒸汽集中冷凝在置于顶层内表面的上极板上，上极板与下极板的电介质层上下相对放置。当冷凝在上极板的液滴滴落在电介质层表面时，液滴与电介质层接触界面的电荷会重新分布，并在内外电极两端产生一个瞬时电势差，此电势差实现液滴碰撞发电，可以将外部热能转化为电能。
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公开(公告)号：CN106145021A
公开(公告)日：2016-11-23
申请号：CN201510137590.7
申请日：2015-03-26
Applicant: 江苏尚飞光电科技有限公司 , 中科院南通光电工程中心 , 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
Abstract: 本发明提供一种光学微纳谐振腔结构及其制作方法，所述光学微纳谐振腔结构包括两个对工作电磁波具有全反射功能的单排粒子链，所述单排粒子链由多个间隔排列的粒子组成，所述两个单排粒子链之间的间隔距离使得所述光学微纳谐振腔结构的共振波长为工作电磁波的波长。本发明利用了单排粒子链对于特定偏振光的全反射特性，通过优化单排粒子链的结构以及两个单排粒子链之间的距离，获得了一种新型的高品质因子光学微纳谐振腔。本发明利用两个单排粒子链的全反射所设计的谐振腔，具有低损耗、高品质因子和小尺寸的特点，在集成光学领域具有很好的应用前景。
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