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公开(公告)号：CN111362226A
公开(公告)日：2020-07-03
申请号：CN202010171515.3
申请日：2020-03-12
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
Abstract: 本发明涉及微纳传感器技术领域，特别涉及一种谐振式微悬臂梁芯片及其制备方法，包括：固支部和微悬臂梁部，所述微悬臂梁部包括高温区和低温区，所述低温区的一端与所述高温区连接，所述低温区的另一端与所述固支部连接；所述高温区上设有加热线圈；所述低温区上设有检测元件；所述高温区和所述低温区之间设有至少一个阻热孔，所述阻热孔贯穿所述微悬臂梁设置。通过在微悬臂梁中部附近区域设计有镂空的阻热孔，将微悬臂梁分为靠近自由端的高温区和靠近固支部的低温区两部分。在高温区设计有加热线圈，可以对微悬臂梁加热；加热线圈可以将梁上高温区加热，而低温区可以保持在低温状态，确保检测元件可以正常工作。
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公开(公告)号：CN114216921A
公开(公告)日：2022-03-22
申请号：CN202110501613.3
申请日：2021-05-08
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
IPC: G01N25/00
Abstract: 本发明提供催化剂活化能的测试方法，其中，依托集成式自加热谐振悬臂梁获得谐振频率变化量随时间的变化曲线，并转化为谐振频率随温度变化的曲线，以及转换为覆盖度随温度的变化曲线，并在进行一阶微分后，提取极小值时对应的相关参数，而后代入计算公式，即可得到催化剂脱附速率常数及催化剂脱附活化能，从而本发明只需一次程序升温过程就可进行催化剂活化能的测试，且测试结果准确、快速便捷、催化剂样品消耗量少、价格低廉。
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公开(公告)号：CN113884183A
公开(公告)日：2022-01-04
申请号：CN202111240609.2
申请日：2021-10-25
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
IPC: G01J1/42
Abstract: 本发明提供一种用于透射电镜‑热重关联表征的原位芯片及其制作方法，在主芯片上制作集成加热电阻、增热阻槽和压阻的称重悬臂梁，用以称量悬臂梁上的待测样品的质量变化；在主芯片上制作带有观测孔、主芯片窗口、加热电阻、增热阻槽和压阻的观测悬臂梁以及通过在辅芯片上制作辅芯片窗口，用以观测悬臂梁上的待测样品的形貌变化；通过TEM样品杆、密封圈、主芯片、辅芯片及气孔的设置，形成密封气体通道，从而本发明可对待测样品同步进行透射电镜‑热重的关联表征，且通过设置的加热电阻可提升对待测样品的加热温度范围，以扩大应用，设置的增热阻槽还可阻断热量向压阻的传递，以在确保对材料加热的同时，降低对压阻的影响。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN115552216A
公开(公告)日：2022-12-30
申请号：CN202180035092.5
申请日：2021-03-26
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
IPC: G01N5/04
Abstract: 一种原位实时程序升温分析方法，包括：将待测样品滴加在至少一个测试传感器(1)的样品涂覆区；将测试传感器(1)在第一预设温度范围内进行程序升温以获得基线；基线为通过记录测试传感器(1)在程序升温过程中的谐振频率变化数据得到；将测试传感器(1)在第二预设温度范围内进行程序升温以获得测量曲线；测量曲线为通过记录测试传感器(1)在程序升温过程中的谐振频率变化数据得到；根据基线和测量曲线得到程序升温分析曲线。采用自身集成有加热和数据采集功能的测试传感器(1)对待测样品进行程序升温分析，减少了检测结果的滞后性，且精确度高、反应灵敏，简化了程序升温分析方法，实现对样品的精确定量化分析。
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公开(公告)号：CN114216921B
公开(公告)日：2023-11-03
申请号：CN202110501613.3
申请日：2021-05-08
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
IPC: G01N25/00
Abstract: 本发明提供催化剂活化能的测试方法，其中，依托集成式自加热谐振悬臂梁获得谐振频率变化量随时间的变化曲线，并转化为谐振频率随温度变化的曲线，以及转换为覆盖度随温度的变化曲线，并在进行一阶微分后，提取极小值时对应的相关参数，而后代入计算公式，即可得到催化剂脱附速率常数及催化剂脱附活化能，从而本发明只需一次程序升温过程就可进行催化剂活化能的测试，且测试结果准确、快速便捷、催化剂样品消耗量少、价格低廉。
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公开(公告)号：CN111362226B
公开(公告)日：2023-04-28
申请号：CN202010171515.3
申请日：2020-03-12
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
Abstract: 本发明涉及微纳传感器技术领域，特别涉及一种谐振式微悬臂梁芯片及其制备方法，包括：固支部和微悬臂梁部，所述微悬臂梁部包括高温区和低温区，所述低温区的一端与所述高温区连接，所述低温区的另一端与所述固支部连接；所述高温区上设有加热线圈；所述低温区上设有检测元件；所述高温区和所述低温区之间设有至少一个阻热孔，所述阻热孔贯穿所述微悬臂梁设置。通过在微悬臂梁中部附近区域设计有镂空的阻热孔，将微悬臂梁分为靠近自由端的高温区和靠近固支部的低温区两部分。在高温区设计有加热线圈，可以对微悬臂梁加热；加热线圈可以将梁上高温区加热，而低温区可以保持在低温状态，确保检测元件可以正常工作。
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公开(公告)号：CN113979485A
公开(公告)日：2022-01-28
申请号：CN202111242255.5
申请日：2021-10-25
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
IPC: C01G53/00
Abstract: 本发明提供一种透射电镜‑热重关联表征金属氢氧化物的方法，通过TEM‑TG联用芯片中的称重悬臂梁用以称量金属氢氧化物样品在升温过程中的质量变化，同时通过TEM‑TG联用芯片中的观测悬臂梁用以观察金属氢氧化物样品在升温过程中的形貌变化；从而本发明可对金属氢氧化物样品同步进行透射电镜‑热重的关联表征，实现在金属氢氧化物样品热重分析过程的同时表征金属氢氧化物样品的形貌/结构的演变，提高金属氢氧化物样品质量分辨率，使得测试结果更精准。
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公开(公告)号：CN111351733A
公开(公告)日：2020-06-30
申请号：CN202010171514.9
申请日：2020-03-12
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
IPC: G01N5/04
Abstract: 本发明涉及测量仪器领域，本发明公开了一种高精度热重分析仪，其包括集成式谐振悬臂梁、样品测试腔、气体仓和数据采集系统；该集成式谐振悬臂梁设于该样品测试腔内，该集成式谐振悬臂梁与该样品测试腔的内壁、该数据采集系统连接，该集成式谐振悬臂梁用于对待测样品称重和加热；该集成式谐振悬臂梁包括谐振悬臂梁和加热元件；该谐振悬臂梁包括第一端；该第一端设有该加热元件，该加热元件用于加热该待测样品；该气体仓位于该样品测试腔的外部，该气体仓用于给该样品测试腔提供气体氛围。本发明提供的高精度热重分析仪具有结构简单和测量精度高的特点。
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