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公开(公告)号：CN107209359A
公开(公告)日：2017-09-26
申请号：CN201680006332.8
申请日：2016-01-12
Applicant: 浜松光子学株式会社
Abstract: 一种图像取得装置，具备：空间光调制器，调制照射光；控制部，以在观察对象物形成第1聚光点以及第2聚光点的方式控制调制图案；聚光光学系统，对上述照射光进行聚光；扫描部，在与上述聚光光学系统的光轴相交叉的扫描方向上扫描上述第1以及第2聚光点的位置；光检测器，检测从上述第1聚光点产生的第1观察光以及从上述第2聚光点产生的第2观察光；上述光检测器具有用于检测上述第1观察光的第1检测区域、用于检测上述第2观察光的第2检测区域，上述光轴的方向上的上述第1聚光点以及第2聚光点的位置互相不同。
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公开(公告)号：CN103917914B
公开(公告)日：2016-11-30
申请号：CN201280053084.4
申请日：2012-10-23
Applicant: 浜松光子学株式会社
IPC: G02F1/01 , B23K26/064
Abstract: 在使用了空间光调制器的激光的聚光照射的控制中，取得激光的波长数、各个波长的值以及激光的入射条件(步骤S101)，设定聚光点数、以及各个聚光点上的聚光位置、波长、聚光强度(S104)，对于各个聚光点，导出由包含空间光调制器的光学系统赋予激光的失真相位图案(S107)。然后，考虑失真相位图案来设计呈现于空间光调制器的调制图案(S108)。另外，在调制图案的设计中，使用着眼于一个像素中的相位值的影响的设计法并且在评价聚光点上的聚光状态的时候使用加上了失真相位图案的传播函数。由此，实现了能够适当地实现激光的聚光控制的光调制控制方法、程序、装置以及激光照射装置。
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公开(公告)号：CN104162740B
公开(公告)日：2016-08-17
申请号：CN201410428261.3
申请日：2009-10-09
Applicant: 浜松光子学株式会社
CPC classification number: H01S3/0085 , B23K26/06 , B23K26/352 , G02B3/08 , G02B5/32 , G02B13/22 , G03H1/0005 , G03H1/08 , G03H1/0808 , G03H1/2294 , G03H2001/0094 , G03H2225/32
Abstract: 本发明提供激光加工装置和激光加工方法。激光加工装置(1)具备激光光源(10)、相位调制型的空间光调制器(20)、驱动部(21)、控制部(22)以及成像光学系统(30)。成像光学系统(30)可以是远心光学系统。包含于驱动部(21)中的存储部(21A)存储分别对应于多个基本加工图案的多个基本全息图，并且存储相当于菲涅耳透镜图案的聚光用全息图。控制部(22)并列配置选自由存储部(21A)存储的多个基本全息图中的2个以上的基本全息图，并将聚光用全息图重叠于该并列配置的各个基本全息图上，从而构成整体全息图，将该构成的整体全息图显示于空间光调制器(20)。
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公开(公告)号：CN103392147B
公开(公告)日：2016-05-18
申请号：CN201280009021.9
申请日：2012-02-10
Applicant: 浜松光子学株式会社
CPC classification number: G02F1/13306 , G09G3/3611 , G09G2320/0285 , G09G2320/041 , G09G2360/145
Abstract: 空间光调制装置（1A）具备：液晶层（12），对应于施加电场的大小而调制入射光的相位；温度传感器（17），生成作为对应于液晶层（12）的温度的信号的温度信号（Stemp）；多个像素电极（13a），设置于多个像素的每个像素并将产生施加电场的电压施加于液晶层（12）；驱动装置（20A），将电压提供给多个像素电极（13a）。驱动装置（20A）具有预先存储包含于表示相对于液晶层（12）的基准温度（T0）的温度变化量与液晶层（12）中的相位调制量的变动量的相关的函数中的系数（α）的非挥发性存储元件（23），使用温度信号（Stemp）所表示的温度和系数（α），进行用于修正电压的大小的运算。由此，实现了能够减小必要的存储容量、制作容易而且能够提高相对于所期望的相位调制量的施加电压值的精度的空间光调制装置以及空间光调制方法。
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公开(公告)号：CN102265207B
公开(公告)日：2014-03-26
申请号：CN200980152729.8
申请日：2009-12-24
Applicant: 浜松光子学株式会社
CPC classification number: G02B26/0808 , G02B21/086 , G02B26/06 , G02B27/4205 , G03H1/0841 , G03H2001/085 , G03H2225/32 , G03H2240/61
Abstract: 本发明涉及光控制装置以及光控制方法。光控制装置(1)具备光源(10)、棱镜(20)、空间光调制器(30)、驱动部(31)、控制部(32)、透镜(41)、缝隙(42)以及透镜(43)。空间光调制器(30)是相位调制型的空间光调制器，具有二维排列的多个像素，能够在4π的范围内进行这些多个像素的各个中的相位调制，显示在多个像素的各个中对光的相位进行调制的相位图案。该相位图案由重叠相位调制范围为2π以下的用于光衍射的炫耀光栅图案和相位调制范围为2π以下的具有规定的相位调制分布的相位图案而成。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN101861228B
公开(公告)日：2013-09-11
申请号：CN200880116064.0
申请日：2008-08-26
Applicant: 浜松光子学株式会社
IPC: B23K26/067 , B23K26/06
CPC classification number: B23K26/00 , B23K26/06 , B23K26/0624 , B23K26/064 , B23K26/0661 , B23K26/067 , B23K26/355 , G03H1/2294 , G03H2001/0094 , G03H2225/32
Abstract: 本发明涉及一种激光加工装置(1)，其具备激光光源(10)、空间光调制器(20)、控制部(22)、聚光光学系统(30)以及遮挡部件(40)。相位调制型的空间光调制器(20)输入从激光光源(10)输出的激光，呈现用于在二维排列的多个像素的每一个上调制激光的相位的全息图，并输出该相位调制后的激光。控制部(22)依次在空间光调制器(20)中呈现多个全息图，利用聚光光学系统(30)使从空间光调制器(20)输出的激光聚光于一定个数M个的聚光位置，并选择性地将该M个聚光位置中的N个聚光位置配置于加工区域(91)，从而对加工对象物(90)进行加工。
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公开(公告)号：CN102265207A
公开(公告)日：2011-11-30
申请号：CN200980152729.8
申请日：2009-12-24
Applicant: 浜松光子学株式会社
CPC classification number: G02B26/0808 , G02B21/086 , G02B26/06 , G02B27/4205 , G03H1/0841 , G03H2001/085 , G03H2225/32 , G03H2240/61
Abstract: 本发明涉及光控制装置以及光控制方法。光控制装置(1)具备光源(10)、棱镜(20)、空间光调制器(30)、驱动部(31)、控制部(32)、透镜(41)、缝隙(42)以及透镜(43)。空间光调制器(30)是相位调制型的空间光调制器，具有二维排列的多个像素，能够在4π的范围内进行这些多个像素的各个中的相位调制，显示在多个像素的各个中对光的相位进行调制的相位图案。该相位图案由重叠相位调制范围为2π以下的用于光衍射的炫耀光栅图案和相位调制范围为2π以下的具有规定的相位调制分布的相位图案而成。
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公开(公告)号：CN102138097A
公开(公告)日：2011-07-27
申请号：CN200980134183.3
申请日：2009-08-27
Applicant: 浜松光子学株式会社
IPC: G02F1/01 , B23K26/06 , B23K26/073 , H01S3/10
CPC classification number: G02B27/0025 , B23K26/00 , B23K26/03 , B23K26/032 , B23K26/06 , B23K26/064 , B23K26/36 , B23K26/364 , B23K26/38 , B23K26/40 , B23K26/53 , B23K26/57 , B23K2101/40 , B23K2103/50 , G02B5/1876 , G02B5/32 , G02B21/0032 , G02B21/02 , G02B21/06 , G02B21/361 , G02B27/0068 , G02F1/01 , G02F2203/18
Abstract: 本发明涉及像差修正方法、使用其的激光加工方法、激光照射方法、像差修正装置和像差修正程序。本发明的一个实施方式所涉及的像差修正方法中，在将激光聚光于具有光透过性的介质(60)内部的激光照射装置(1)的像差修正方法中，以使激光的聚光点位于在所述介质内部所产生的像差范围之间的方式，修正激光的像差。若将介质(60)的折射率设为n，将自介质(60)的入射面至透镜(50)的焦点为止的深度设为d，将通过介质(60)而产生的像差设为Δs，则该像差范围为自介质(60)的入射面起n×d以上且n×d+Δs以下。
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公开(公告)号：CN107209360B
公开(公告)日：2021-01-29
申请号：CN201680006352.5
申请日：2016-01-12
Applicant: 浜松光子学株式会社
Inventor： 松本直也
Abstract: 一种图像取得装置，具备：空间光调制器，调制照射光；控制部，以在观察对象物中形成多个聚光点的方式控制调制图案；聚光光学系统，对被调制了的所述照射光进行聚光；扫描部，在与所述聚光光学系统的光轴相交叉的扫描方向上扫描所述观察对象物中的所述多个聚光点的位置；光检测器，检测从所述多个聚光点分别产生的多个观察光；所述控制部根据所述光轴的方向上的所述多个聚光点的位置而设定相邻的所述聚光点的中心间隔。
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公开(公告)号：CN109073873A
公开(公告)日：2018-12-21
申请号：CN201780020100.2
申请日：2017-03-08
Applicant: 国立大学法人浜松医科大学 , 浜松光子学株式会社
Abstract: 图像取得装置(1)具备空间光调制器(11)、光扫描仪(14)、检测部(32)以及控制部(70)等。空间光调制器(11)将调制后的激发光聚光照射于观察对象物(S)的表面或者内部的多个照射区域。检测部(32)在受光面上具有相对于观察对象物上的多个照射区域处于利用成像光学系统的成像关系的多个成像区域，多个成像区域分别对应于1个或者2个以上像素，与多个成像区域的任一个均不对应的像素存在于各个成像区域的旁边。控制部(70)根据处于该成像区域的旁边并且与多个成像区域的任一个均不对应的像素的检测信号修正对应于各个成像区域的像素的检测信号，根据该修正后的检测信号制作观察对象物的图像。由此，实现了能够容易地改善由多点扫描生成的观察对象物的图像的SN比的图像取得装置以及图像取得方法。
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