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公开(公告)号：CN111095585A
公开(公告)日：2020-05-01
申请号：CN201880059615.8
申请日：2018-11-16
Applicant: 株式会社村田制作所
IPC: H01L41/053 , H01L41/09 , H03H3/02 , H03H9/17
Abstract: 压电器件具备：至少一部分能够弯曲振动且极化状态相同的压电单晶体(10)、配置在压电单晶体(10)的上表面上的上部电极(22)、配置在压电单晶体(10)的下表面上的下部电极(21)、和配置在压电单晶体(10)的下方的支承基板(40)，设置有从支承基板(40)的下表面朝向压电单晶体(10)的下表面上的凹部(141)。
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公开(公告)号：CN110024286A
公开(公告)日：2019-07-16
申请号：CN201780071709.2
申请日：2017-09-28
Applicant: 株式会社村田制作所
Abstract: 弹性波装置(1)具备：压电基板(11)；以及IDT电极(5)，设置在压电基板(11)。IDT电极(5)具有：汇流条电极(7a、7c(或7b、7d))，在弹性波传播方向(D1)上延伸；以及多个电极指(8a(或8b))，与汇流条电极(7a、7c(或7b、7d))连接，并在弹性波传播方向(D1)的正交方向(D2)上延伸。压电基板(11)具有沿着弹性波传播方向(D1)形成的槽(10C、10D)，在正交方向(D2)上从汇流条电极(7a、7c(或7b、7d))观察，槽(10C(或10D))设置在与形成有多个电极指(8a(或8b))侧相反侧。
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公开(公告)号：CN108028637A
公开(公告)日：2018-05-11
申请号：CN201680055793.4
申请日：2016-07-25
Applicant: 株式会社村田制作所
IPC: H03H9/145
CPC classification number: H03H9/02929 , H01L41/0477 , H01L41/29 , H01L41/312 , H03H3/02 , H03H3/08 , H03H9/02228 , H03H9/02559 , H03H9/02637 , H03H9/0561 , H03H9/058 , H03H9/145 , H03H9/175 , H03H9/25 , H03H2003/025
Abstract: 本发明提供一种具备声音反射层的弹性波装置，其中，能够降低特性劣化的可能性。弹性波装置(1)具备：支承基板(2)；设置在支承基板(2)上的声音多层膜(3)；设置在声音多层膜(3)上的压电基板(4)；以及设置在压电基板(4)上的IDT电极(5)，声音多层膜(3)具有至少4层声阻抗层，该至少4层声阻抗层包含至少一层低声阻抗层(3a、3c、3e、3g)和声阻抗比低声阻抗层(3a、3c、3e、3g)高的至少一层高声阻抗层(3b、3d、3f)，还具备接合层(9)，该接合层(9)设置在从由压电基板(4)侧朝向支承基板(2)侧的第四层声阻抗层(3d)中起直到声音多层膜(3)与支承基板(2)的界面为止的任一位置。
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公开(公告)号：CN108028636A
公开(公告)日：2018-05-11
申请号：CN201680055300.7
申请日：2016-07-25
Applicant: 株式会社村田制作所
IPC: H03H9/145
CPC classification number: H03H9/02897 , H01L41/0477 , H01L41/0533 , H01L41/1871 , H01L41/1873 , H03H3/02 , H03H9/02133 , H03H9/02228 , H03H9/02559 , H03H9/0585 , H03H9/14538 , H03H9/175 , H03H9/6406 , H03H2003/025
Abstract: 提供一种难以产生压电基板的翘曲、且难以产生特性的劣化的弹性波装置。弹性波装置(1)具备支撑基板(2)、被设置于支撑基板(2)上的声多层膜(3)、被设置于声多层膜(3)上的压电基板(4)、和被设置于压电基板(4)上的IDT电极(5)，压电基板(4)的热膨胀系数的绝对值大于支撑基板(2)的热膨胀系数的绝对值，声多层膜(3)具有至少4层的声阻抗层，还具备接合层，该接合层被设置在从压电基板(4)侧向支撑基板(2)侧的第1层的声阻抗层(3g)中至第3层的声阻抗层(3e)与第4层的声阻抗层(3d)的界面为止的任意的位置。
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公开(公告)号：CN107925396A
公开(公告)日：2018-04-17
申请号：CN201680048608.9
申请日：2016-06-22
Applicant: 株式会社村田制作所
CPC classification number: H03H9/145 , H03H3/02 , H03H9/02228 , H03H9/02574 , H03H9/05 , H03H9/173 , H03H9/175 , H03H9/25 , H03H2003/025
Abstract: 本发明提供一种利用了板波的S0模式的弹性波装置，其中，即使电极膜厚变化，也不易产生声速、频率特性的偏差。在压电薄膜(5)的第一主面(5a)上设置有具有多根电极指的IDT电极(6)。在压电薄膜(5)的第二主面(5b)上设置有导电层(8)。在弹性波装置(1)中，在压电薄膜(5)中传播的弹性波为板波的S0模式，处于所述IDT电极(6)的电极指间下方的区域的压电薄膜(5)部分比电极指以及处于电极指下方的区域的压电薄膜(5)部分变化得大。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN102893521A
公开(公告)日：2013-01-23
申请号：CN201180023971.2
申请日：2011-04-28
Applicant: 株式会社村田制作所
IPC: H03H9/145
CPC classification number: H01L41/107 , H03H9/14541
Abstract: 本发明提供一种声表面波装置。在压电基板上具有以覆盖IDT电极的方式形成的电介质膜的声表面波装置中，实现谐振特性、过滤器特性等的频率特性的改善。本发明涉及的声表面波装置(1)，具有：表面形成有槽(10a)的压电基板(10)、IDT电极(11)、以及电介质膜(12)。IDT电极(11)，具有位于槽(10a)内的第一电极层(11a)、和位于槽(10a)外的第二电极层(11b)。电介质膜(12)，以覆盖IDT电极(11)的方式而被形成在所述压电基板(10)上。第二电极层(11b)向着与压电基板(10)相反的一侧顶端越来越细。
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公开(公告)号：CN101485086B
公开(公告)日：2012-06-13
申请号：CN200780025519.3
申请日：2007-06-11
Applicant: 株式会社村田制作所
CPC classification number: H03H3/08 , H03H9/02559
Abstract: 本发明提供一种声表面波装置，通过形成SiO2膜，能够谋求改善频率温度特性，并且不易产生插入损耗的增大，电极的反射系数能够得到足够的大小，而且能够抑制不希望的上述乱真信号，由此，能够获得更加良好的谐振特性、滤波器特性。在声表面波装置(11)中，LiNbO3基板(1)的上表面形成了多个沟槽(1b)，通过在沟槽(1b)中填充金属形成了IDT电极(3)，按照覆盖LiNbO3基板(1)的上表面(1a)和IDT电极(3)的方式形成了SiO2层(4)，SiO2层(4)的表面被平坦化，利用了基于瑞利波的响应，并LiNbO3基板的欧拉角在(0°±5°，180°～247°，0°±5°)的范围。
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公开(公告)号：CN101911483A
公开(公告)日：2010-12-08
申请号：CN200880124800.7
申请日：2008-12-22
Applicant: 株式会社村田制作所
CPC classification number: H03H9/02559 , H03H9/14538
Abstract: 本发明提供一种声表面波装置，其是使用LiNbO3基板的声表面波装置，不仅IDT的反射系数大，而且电机械耦合系数k2大，且可以增大实现该电机械耦合系数k2大的范围的LiNbO3基板的欧拉角范围。该声表面波装置(1)在LiNbO3基板(2)的上表面(2a)形成有多条槽(2b)，且设有具有由在多条槽(2b)中填充的金属材料形成的多根电极指的IDT(3)，该金属材料由Ag、Ni及Cr或者以这些金属至少一种为主体的合金形成。
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公开(公告)号：CN101523720A
公开(公告)日：2009-09-02
申请号：CN200780038043.7
申请日：2007-09-10
Applicant: 株式会社村田制作所
CPC classification number: H03H9/0222 , H03H3/08 , H03H9/02559 , H03H9/02661 , H03H9/02834
Abstract: 本发明提供利用在LiNbO3或LiTaO3和电介体层的界面传输的弹性边界波，无论电极膜变薄与否，均利用SH型弹性边界波，形成为低损失的弹性边界波装置。弹性边界波装置1在LiNbO3基板1的上表面形成有多条槽1b，在这些槽1b中填充金属材料，形成包含IDT电极的电极膜3，SiO2膜之类的电介体层4以覆盖LiNbO3基板1的槽1b及电极膜3的方式形成，电介体层4的表面被平坦化，电极膜3的厚度、LiNbO3基板的欧拉角(0°，θ，－45°～+45°)的θ及电介体层4的厚度在下述表1所示的范围的任一个范围。
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公开(公告)号：CN101010582A
公开(公告)日：2007-08-01
申请号：CN200580029790.5
申请日：2005-08-22
Applicant: 株式会社村田制作所
IPC: G01N29/02
CPC classification number: G01N29/036 , G01N29/022 , G01N29/222 , G01N2291/022 , G01N2291/0256 , G01N2291/0423 , G01N2291/0425
Abstract: 本发明提供能够以高精度测定少量液体中的检测对象物质的、使用弹性表面波元件的液体中物质检测传感器及使用该液体中物质检测传感器的液体中物质检测装置。液体中物质检测传感器1具备：具有开口部2a及2b、而且在一面上设置电极连接盘的衬底基板2；以及在一面上设置具有至少一个IDT电极的检测部的SAW元件6及7，通过倒装芯片键合法使用凸点电极安装SAW元件6及7，使得SAW元件6及7的检测部面对衬底基板2的开口部2a及2b，利用与检测对象物质结合的反应膜13覆盖至少一个检测部。
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