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公开(公告)号：CN102893521B
公开(公告)日：2015-08-12
申请号：CN201180023971.2
申请日：2011-04-28
Applicant: 株式会社村田制作所
IPC: H03H9/145
CPC classification number: H01L41/107 , H03H9/14541
Abstract: 本发明提供一种声表面波装置。在压电基板上具有以覆盖IDT电极的方式形成的电介质膜的声表面波装置中，实现谐振特性、过滤器特性等的频率特性的改善。本发明涉及的声表面波装置(1)，具有：表面形成有槽(10a)的压电基板(10)、IDT电极(11)、以及电介质膜(12)。IDT电极(11)，具有位于槽(10a)内的第一电极层(11a)、和位于槽(10a)外的第二电极层(11b)。电介质膜(12)，以覆盖IDT电极(11)的方式而被形成在所述压电基板(10)上。第二电极层(11b)向着与压电基板(10)相反的一侧顶端越来越细。
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公开(公告)号：CN110771038A
公开(公告)日：2020-02-07
申请号：CN201880040875.0
申请日：2018-06-20
Applicant: 株式会社村田制作所
IPC: H03H9/25
Abstract: 弹性波装置(1)具备：元件基板(10)，具有压电性；功能电极(21)，设置在元件基板(10)中的第一主面(10a)；引出布线(221a、222a)，与功能电极(21)电连接，设置为从元件基板(10)中的第一主面(10a)起到达侧面(10c)；外部端子(51、52)，与引出布线(221a、222a)电连接，设置在元件基板(10)中的第二主面(10b)上；第一树脂部(31)，设置为对弹性波装置(1)进行密封；以及第二树脂部(32)，至少设置在设置于侧面(10c)的引出布线(221a、222a)与第一树脂部(31)之间。第二树脂部(32)的杨氏模量比第一树脂部(31)小。
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公开(公告)号：CN110771037A
公开(公告)日：2020-02-07
申请号：CN201880040873.1
申请日：2018-06-20
Applicant: 株式会社村田制作所
IPC: H03H9/25
Abstract: 弹性波装置(1)具备：功能电极(21)，设置在元件基板(10)的第一主面(10a)上；引出布线(221b、222b)，与功能电极(21)电连接，在与第一主面(10a)背对的第二主面(10b)上相互相邻；外部端子(51、52)，与引出布线(221b、222b)各自连接，设置在第二主面(10b)上；第一树脂部(31)，对弹性波装置(1)进行密封；以及第二树脂部(32)，设置在元件基板(10)与第一树脂部(31)之间，且设置在第二主面(10b)上。第二树脂部(32)的杨氏模量比第一树脂部(31)小，第一树脂部(31)与第二树脂部(32)相接，第一树脂部(31)与第二树脂部(32)相接的界面(f1)位于比引出布线(221b、222b)靠安装基板(60)侧。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN102893521A
公开(公告)日：2013-01-23
申请号：CN201180023971.2
申请日：2011-04-28
Applicant: 株式会社村田制作所
IPC: H03H9/145
CPC classification number: H01L41/107 , H03H9/14541
Abstract: 本发明提供一种声表面波装置。在压电基板上具有以覆盖IDT电极的方式形成的电介质膜的声表面波装置中，实现谐振特性、过滤器特性等的频率特性的改善。本发明涉及的声表面波装置(1)，具有：表面形成有槽(10a)的压电基板(10)、IDT电极(11)、以及电介质膜(12)。IDT电极(11)，具有位于槽(10a)内的第一电极层(11a)、和位于槽(10a)外的第二电极层(11b)。电介质膜(12)，以覆盖IDT电极(11)的方式而被形成在所述压电基板(10)上。第二电极层(11b)向着与压电基板(10)相反的一侧顶端越来越细。
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公开(公告)号：CN110771038B
公开(公告)日：2023-09-19
申请号：CN201880040875.0
申请日：2018-06-20
Applicant: 株式会社村田制作所
IPC: H03H9/25
Abstract: 弹性波装置(1)具备：元件基板(10)，具有压电性；功能电极(21)，设置在元件基板(10)中的第一主面(10a)；引出布线(221a、222a)，与功能电极(21)电连接，设置为从元件基板(10)中的第一主面(10a)起到达侧面(10c)；外部端子(51、52)，与引出布线(221a、222a)电连接，设置在元件基板(10)中的第二主面(10b)上；第一树脂部(31)，设置为对弹性波装置(1)进行密封；以及第二树脂部(32)，至少设置在设置于侧面(10c)的引出布线(221a、222a)与第一树脂部(31)之间。第二树脂部(32)的杨氏模量比第一树脂部(31)小。
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公开(公告)号：CN110771037B
公开(公告)日：2023-09-12
申请号：CN201880040873.1
申请日：2018-06-20
Applicant: 株式会社村田制作所
IPC: H03H9/25
Abstract: 弹性波装置(1)具备：功能电极(21)，设置在元件基板(10)的第一主面(10a)上；引出布线(221b、222b)，与功能电极(21)电连接，在与第一主面(10a)背对的第二主面(10b)上相互相邻；外部端子(51、52)，与引出布线(221b、222b)各自连接，设置在第二主面(10b)上；第一树脂部(31)，对弹性波装置(1)进行密封；以及第二树脂部(32)，设置在元件基板(10)与第一树脂部(31)之间，且设置在第二主面(10b)上。第二树脂部(32)的杨氏模量比第一树脂部(31)小，第一树脂部(31)与第二树脂部(32)相接，第一树脂部(31)与第二树脂部(32)相接的界面(f1)位于比引出布线(221b、222b)靠安装基板(60)侧。
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公开(公告)号：CN106716827B
公开(公告)日：2020-06-19
申请号：CN201580052453.1
申请日：2015-10-22
Applicant: 株式会社村田制作所
Abstract: 压电模块(10)具备压电薄膜(20)、固定层(30)以及支承基板(40)。压电薄膜(20)通过固定层(30)支承在支承基板(40)。在压电薄膜(20)的表面形成有功能导体(211、212)。在固定层(30)形成有空隙(300)，使得包括与功能导体(211、212)重叠的区域。在支承基板(40)的固定层(30)侧的面，在空隙(300)的区域内形成有构成电路元件的导体图案(50)。
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公开(公告)号：CN106716827A
公开(公告)日：2017-05-24
申请号：CN201580052453.1
申请日：2015-10-22
Applicant: 株式会社村田制作所
Abstract: 压电模块(10)具备压电薄膜(20)、固定层(30)以及支承基板(40)。压电薄膜(20)通过固定层(30)支承在支承基板(40)。在压电薄膜(20)的表面形成有功能导体(211、212)。在固定层(30)形成有空隙(300)，使得包括与功能导体(211、212)重叠的区域。在支承基板(40)的固定层(30)侧的面，在空隙(300)的区域内形成有构成电路元件的导体图案(50)。
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