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公开(公告)号：CN101070603A
公开(公告)日：2007-11-14
申请号：CN200710071907.7
申请日：2007-03-20
Applicant: 哈尔滨理工大学
Abstract: 电化学定向生长Al2O3超薄膜基板的制造方法，本发明涉及Al2O3膜基板的制造方法。它解决了采取陶瓷工艺制作的Al2O3基板无法满足超薄要求的问题。它通过下述步骤实现：取铝箔进行表面清洗，用丙酮或氢氧化钠来去油，然后用水煮，接着用硝酸抛光，然后用超声清洗，最后烘干；把铝箔置于电解槽中，电解液的温度控制在30～90℃，同时对电解液进行机械搅拌，分别给两个铝箔夹上相反极性的电极，两个铝箔一个为生长极，一个为牺牲极，二者之间施加直流电压，每隔20～30分钟短时间交换电压方向后返回，在生长极的表面上生成Al2O3膜；把作为生长极的铝箔浸入氯化铜溶液，剥离Al2O3膜；对Al2O3膜进行超声清洗和热处理。
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公开(公告)号：CN113030248B
公开(公告)日：2024-02-09
申请号：CN202110251272.9
申请日：2021-03-08
Applicant: 哈尔滨理工大学
Abstract: 块的超声波驱动模块。主要用于氢气的测量。基于超声波双频相位差的氢气测量系统及方法，属于声学气体检测技术领域。为了解决基于超声波相位差法存在氢气浓度检测范围小的问题。本发明所述系统包括：用于测量当前环境下的气体浓度的超声波测量模块，用于将超声波测量模块输出的电信号转换为幅值的方波信号的信号处理模块，用于将所述方波信号转换为相位差信号的检相模块；产生用于驱动超声波换能器的频率信号；以及根据检相模块传递的相位差信号进行双频相位差法数据处理，根据相位差信
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公开(公告)号：CN113189171B
公开(公告)日：2023-09-08
申请号：CN202110410826.5
申请日：2021-04-16
Applicant: 哈尔滨理工大学
IPC: G01N27/30
Abstract: 本发明属于气体敏感型传感器领域，具体是涉及一种有机无机杂化复合材料的气体传感器制备方法。本发明主要是为了解决无机气敏材料的半导体气体传感器选择性差、工作温度高，而有机气敏材料的半导体气体传感器灵敏度低，响应慢的问题，提出了一种有机无机杂化复合材料的气体传感器制备方法，包括：一、无机气敏材料二氧化锡的制备；二、有机气敏材料聚合物聚苯胺的制备；三、MEMS气体传感器器件制备；四、气敏材料滴涂与器件烧结；本发明制备的气敏材料比无机气敏材料选择性好、工作温度低，比有机气敏材料灵敏度高，制备的微型器件温度分布均匀、功耗低，可用于气体传感器的加热装置。
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公开(公告)号：CN116626125A
公开(公告)日：2023-08-22
申请号：CN202310523621.7
申请日：2023-05-11
Applicant: 哈尔滨理工大学
IPC: G01N27/30 , G01N27/327 , C01G3/02 , B82Y40/00 , B82Y15/00 , C25B1/135 , B41M3/00 , B05D1/26 , B05D3/02 , B05D3/04
Abstract: 本发明公开了一种尿液白蛋白检测的柔性电化学传感器及其制备方法，它属于柔性电化学传感器领域。本发明是为了解决现有的尿液白蛋白检测的电化学传感器装置体积大，所需试剂用量较多的问题。本发明所述的一种尿液白蛋白快速检测的柔性电化学传感器，包括从下至上依次层叠设置的柔性基底、加热电极层、一号绝缘层、测温电极层、二号绝缘层、三电极层，并且在三电极层工作电极上修饰有纳米氧化铜/电化学还原氧化石墨烯/壳聚糖(CuO/ERGO/CS)复合材料。制备方法：一、纳米CuO的制备；二、ERGO的制备；三、加热电极的制备；四、测温电极的制备；五、三电极的制备；六、工作电极的修饰。本发明所制备的传感器可用于尿液白蛋白浓度的微量、快速、准确检测。
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公开(公告)号：CN113109308B
公开(公告)日：2022-09-30
申请号：CN202110392178.5
申请日：2021-04-13
Applicant: 哈尔滨理工大学
IPC: G01N21/64
Abstract: 本发明公开了一种VOCs气体传感器阵列的制备及检测方法，属于VOCs气体传感器研究领域。通过在不同MEMS芯片上涂覆不同敏感材料制备传感器阵列，传感器阵列与VOCs气体反应后，在LED紫外灯激发下，传感器阵列上的敏感材料产生荧光颜色的变化，通过微型摄像头模组采集反应前后的图像，利用图像处理技术提取各传感器单元对应位置上RGB的变化值，判断VOCs气体的种类；同时，MEMS芯片叉指电极两端产生电信号的变化，利用此变化获得气体的响应曲线，判断出VOCs气体的浓度值；结合在同一传感阵列上检测到的两类变化，实现VOCs气体的定性和定量测量。本发明所制备的气体传感器阵列尺寸微小、制造成本低、易于集成，检测方法简单高效，检测范围广，具有广阔的应用前景。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN111678953A
公开(公告)日：2020-09-18
申请号：CN202010496940.X
申请日：2020-06-03
Applicant: 哈尔滨理工大学
IPC: G01N27/12
Abstract: 一种基于黑磷量子点的电阻型气敏传感器的制备方法，它属于气体敏感型传感器领域。它要解决现有含磷有机毒气的检测存在自动化程度低、成本高、设备体积大的问题。方法：一、黑磷量子点的制备；二、传感器中底板的制备；三、传感器中铜加热电极的制备；四、传感器中绝缘导热膜的制备；五、传感器中银叉指电极的制备；六、将黑磷量子点溶液滴涂在银叉指电极上并形成黑磷薄膜，然后在黑磷薄膜的一侧贴上聚酰亚胺薄膜胶带。本发明制备的传感器对DMMP蒸汽有显著反应，灵敏度高，具备作为检测DMMP蒸汽传感器的能力。本发明传感器具有体积小，自动化程度高，可以长时间使用，重复性好，灵敏度高等优点。本发明应用于含磷有机物挥发产生蒸汽的检验。
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公开(公告)号：CN111122898A
公开(公告)日：2020-05-08
申请号：CN202010021947.6
申请日：2020-01-09
Applicant: 哈尔滨理工大学
Abstract: 一种检测气体矢量的装置及方法，它涉及一种检测装置及方法，具体涉及一种检测气体矢量的装置及方法。本发明为了解决现有的检测气流矢量的装置精度较低、集成度不高、灵敏度不足的问题。本发明所述装置包括传感器托架、法兰联轴器、过孔导电滑环、步进电机部件、和底座电路部件；传感器托架通过过孔导电滑环与底部电路部件连接，步进电机部件安装在底部电路部件上，步进电机部件通过法兰联轴器与传感器托架连接。本发明属于气体检测领域。
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公开(公告)号：CN110124761A
公开(公告)日：2019-08-16
申请号：CN201910420014.1
申请日：2019-05-20
Applicant: 哈尔滨理工大学
IPC: B01L3/00 , G01N27/416
Abstract: 基于微流控芯片的水环境多参数电化学检测装置及其检测方法，属于水环境污染检测技术领域，为解决现有水环境参数测定装置比较大，不便携，且测试类型单一的问题。本发明储液装置包括五个存储不同试剂的试剂瓶，试剂瓶与微流控芯片的进液口之间通过管道相连，每个连接试剂瓶的管道上设置有一个阀门，阀门与微流控芯片之间的管道上设置有两个蠕动泵，微流控芯片中设置有四个微反应池检测四种水质参数，微流控芯片检测获得的数据输出至信号采集电路，信号采集电路将检测数据进行放大滤波处理后发送至微控制器，微控制器将检测数据进行运算处理后发送至显示模块进行显示，微流控芯片的出液口通过管道连接至废液收集装置。本发明用于水环境参数检测。
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公开(公告)号：CN110006969A
公开(公告)日：2019-07-12
申请号：CN201910313726.3
申请日：2019-04-18
Applicant: 哈尔滨理工大学
IPC: G01N27/30 , G01N27/416
Abstract: 一种基于电化学检测技术的多参数水环境集成微传感器及其制备方法，涉及电化学传感器技术领域。本发明是为了解决现有用于水质检测的电化学传感器装置，体积大、清洗维护程序复杂，并且所需试剂较多，会对测试结果产生影响的问题。本发明所述的一种基于电化学检测技术的多参数水环境集成微传感器，包括从下至上依次层叠设置的基底、一号绝缘层、加热器层、二号绝缘层、微电极层和测试腔。在电化学微传感器上设置了PH传感器及温度传感器，利用PH传感器测得的PH值与温度传感器测得的温度值，可以对另外两个传感器测得的水质参数进行修正，实现水质参数的精确测量。
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公开(公告)号：CN106053541B
公开(公告)日：2019-02-19
申请号：CN201610561951.5
申请日：2016-08-25
Applicant: 哈尔滨理工大学
IPC: G01N27/00
Abstract: 一种环形加热器的Al2O3‑AlN陶瓷微热板气体传感器，包括：衬底、导热介质层、加热器电极、信号电极、焊盘、热隔离通孔、敏感膜。传感器中心加热区采用环形加热器设计，环形加热器周围采用环形热隔离通孔设计，从而减小热传导损耗。传感器衬底采用Al2O3陶瓷基片，通过磁控溅射在Al2O3陶瓷基片表面形成AlN导热介质膜，在AlN介质膜上通过柔性机械光刻剥离工艺实现Pt膜加热电极和信号电极制备，通过激光微加工工艺实现热隔离通孔的刻蚀。本发明通过环形加热器和半环形热隔离通孔设计，解决了微热板气体传感器热损耗高问题。同时，通过高热导率AlN导热介质膜设计，降低了微热板加热区热梯度效应，提高热平衡响应速率。本发明传感器可兼容多种半导体敏感膜，实现多种有毒有害气体检测功能，对现代传感器智能终端微型化、低功耗、智能化发展具有重要意义。
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