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公开(公告)号：CN113189171B
公开(公告)日：2023-09-08
申请号：CN202110410826.5
申请日：2021-04-16
Applicant: 哈尔滨理工大学
IPC: G01N27/30
Abstract: 本发明属于气体敏感型传感器领域，具体是涉及一种有机无机杂化复合材料的气体传感器制备方法。本发明主要是为了解决无机气敏材料的半导体气体传感器选择性差、工作温度高，而有机气敏材料的半导体气体传感器灵敏度低，响应慢的问题，提出了一种有机无机杂化复合材料的气体传感器制备方法，包括：一、无机气敏材料二氧化锡的制备；二、有机气敏材料聚合物聚苯胺的制备；三、MEMS气体传感器器件制备；四、气敏材料滴涂与器件烧结；本发明制备的气敏材料比无机气敏材料选择性好、工作温度低，比有机气敏材料灵敏度高，制备的微型器件温度分布均匀、功耗低，可用于气体传感器的加热装置。
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公开(公告)号：CN113109308B
公开(公告)日：2022-09-30
申请号：CN202110392178.5
申请日：2021-04-13
Applicant: 哈尔滨理工大学
IPC: G01N21/64
Abstract: 本发明公开了一种VOCs气体传感器阵列的制备及检测方法，属于VOCs气体传感器研究领域。通过在不同MEMS芯片上涂覆不同敏感材料制备传感器阵列，传感器阵列与VOCs气体反应后，在LED紫外灯激发下，传感器阵列上的敏感材料产生荧光颜色的变化，通过微型摄像头模组采集反应前后的图像，利用图像处理技术提取各传感器单元对应位置上RGB的变化值，判断VOCs气体的种类；同时，MEMS芯片叉指电极两端产生电信号的变化，利用此变化获得气体的响应曲线，判断出VOCs气体的浓度值；结合在同一传感阵列上检测到的两类变化，实现VOCs气体的定性和定量测量。本发明所制备的气体传感器阵列尺寸微小、制造成本低、易于集成，检测方法简单高效，检测范围广，具有广阔的应用前景。
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公开(公告)号：CN113092545B
公开(公告)日：2022-12-09
申请号：CN202110391440.4
申请日：2021-04-13
Applicant: 哈尔滨理工大学
IPC: G01N27/12
Abstract: 一种基于CuO/In2O3修饰的石墨烯MEMS气体传感器的制备方法，它属于气体敏感型传感器领域。该方法包括：一、纳米CuO的制备；二、纳米In2O3的制备；三、rGO‑CuO/In2O3的制备；四、AlN陶瓷基板的制备；五、银叉指电极的制备；六、铜加热电极的制备；七、单晶硅衬底的制备；八、气敏材料的涂敷。本发明通过分步式制备单一材料，一步超声水热制备复合材料的方法得到rGO‑CuO/In2O3气敏材料，此方法可以杜绝一步混合制备石墨烯基复合材料过程中所导致的中间产物残留等问题，使所制备的复合材料中单一材料间的比例可控且更为精确。同时辅以全新设计的复合多层式传感器芯片结构，使其在极小的体积，极低的功耗条件下也能有出色的工作性能，兼具自动化程度高，集成性好等优势。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN113189171A
公开(公告)日：2021-07-30
申请号：CN202110410826.5
申请日：2021-04-16
Applicant: 哈尔滨理工大学
IPC: G01N27/30
Abstract: 本发明属于气体敏感型传感器领域，具体是涉及一种基于有机无机杂化复合材料的气体传感器的制备方法。本发明主要是为了解决基于无机气敏材料的半导体气体传感器选择性差、工作温度高，而基于有机气敏材料的半导体气体传感器灵敏度低，响应慢的问题，提出了一种基于有机无机杂化复合材料的气体传感器制备方法，包括：一、无机气敏材料二氧化锡的制备；二、有机气敏材料聚合物聚苯胺的制备；三、MEMS气体传感器器件制备；四、气敏材料滴涂与器件烧结；本发明制备的气敏材料比无机气敏材料选择性好、工作温度低，比有机气敏材料灵敏度高，制备的微型器件温度分布均匀、功耗低，可用于气体传感器的加热装置。
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公开(公告)号：CN113109308A
公开(公告)日：2021-07-13
申请号：CN202110392178.5
申请日：2021-04-13
Applicant: 哈尔滨理工大学
IPC: G01N21/64
Abstract: 本发明公开了一种VOCs气体传感器阵列的制备及检测方法，属于VOCs气体传感器研究领域。通过在不同MEMS芯片上涂覆不同敏感材料制备传感器阵列，传感器阵列与VOCs气体反应后，在LED紫外灯激发下，传感器阵列上的敏感材料产生荧光颜色的变化，通过微型摄像头模组采集反应前后的图像，利用图像处理技术提取各传感器单元对应位置上RGB的变化值，判断VOCs气体的种类；同时，MEMS芯片叉指电极两端产生电信号的变化，利用此变化获得气体的响应曲线，判断出VOCs气体的浓度值；结合在同一传感阵列上检测到的两类变化，实现VOCs气体的定性和定量测量。本发明所制备的气体传感器阵列尺寸微小、制造成本低、易于集成，检测方法简单高效，检测范围广，具有广阔的应用前景。
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公开(公告)号：CN113092545A
公开(公告)日：2021-07-09
申请号：CN202110391440.4
申请日：2021-04-13
Applicant: 哈尔滨理工大学
IPC: G01N27/12
Abstract: 一种基于CuO/In2O3修饰的石墨烯MEMS气体传感器的制备方法，它属于气体敏感型传感器领域。该方法包括：一、纳米CuO的制备；二、纳米In2O3的制备；三、rGO‑CuO/In2O3的制备；四、AlN陶瓷基板的制备；五、银叉指电极的制备；六、铜加热电极的制备；七、单晶硅衬底的制备；八、气敏材料的涂敷。本发明通过分步式制备单一材料，一步超声水热制备复合材料的方法得到rGO‑CuO/In2O3气敏材料，此方法可以杜绝一步混合制备石墨烯基复合材料过程中所导致的中间产物残留等问题，使所制备的复合材料中单一材料间的比例可控且更为精确。同时辅以全新设计的复合多层式传感器芯片结构，使其在极小的体积，极低的功耗条件下也能有出色的工作性能，兼具自动化程度高，集成性好等优势。
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公开(公告)号：CN214734497U
公开(公告)日：2021-11-16
申请号：CN202120806713.2
申请日：2021-04-19
Applicant: 哈尔滨理工大学
Abstract: 本实用新型公开了一种新型类雪花状微热板，所述的微热板，是由基底、加热电极、叉指电极和绝缘层组成的。所述的基底上表面之上设有加热电极；所述的加热电极下表面与基底相接触，所述加热电极上表面设有绝缘层；所述的绝缘层下表面与加热电极相接触，所述的绝缘层上表面设有叉指电极。所述的加热电极的宽度为10～30μm，所述的加热电极的厚度为200nm。本实用新型采用类雪花状加热电极，采用雪花中心稀疏，外部密集的结构特点，提高了加热区的温度分布均匀性，减小了温差，降低了温度环境因素对气体传感器性能的影响。
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公开(公告)号：CN213364642U
公开(公告)日：2021-06-04
申请号：CN202022232732.7
申请日：2020-10-09
Applicant: 哈尔滨理工大学
IPC: G01N27/12
Abstract: 本实用新型公开了一种养鸡场氨气检测系统，包括恒流源电路(1)，氨气传感器(2)，微处理器(3)，显示模块(4)，报警模块(5)，蓝牙模块(6)，手机/PC机(7)，电源模块(8)。恒流源模块(1)将电压信号转换成氨气传感器所需幅值正确且恒定的电流；氨气传感器(2)将氨气浓度的变化转换为电阻阻值的变化；微处理器(3)控制检测系统的工作；显示模块(4)显示数据转换结果；报警模块(5)在氨气浓度超过预定值时产生报警信号；蓝牙模块(6)将监测数据传输到手机/PC机(7)进行实时存储和监控；电源模块(8)给系统供电。所设计的氨气检测系统具有体积小、功耗低、操作简单、测量精确的特点。
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