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公开(公告)号：CN204479095U
公开(公告)日：2015-07-15
申请号：CN201420795900.5
申请日：2014-12-17
Applicant: 哈尔滨理工大学
IPC: G01D21/02
Abstract: 一种镍铬合金膜加热温度可控环境参数集成传感器，适用于对环境参数进行测量。本实用新型的目的是要解决现有的环境参数传感器测量参数单一、受环境温湿度影响较大、工作温度随环境变化、精度低、体积大、成本高等问题。一种镍铬合金膜加热温度可控环境参数集成传感器其特征在于：主要有硅基底、二氧化硅绝缘层、镍铬合金膜加热线圈，氧化铝绝缘层、镍铬合金膜传感器、连接线和凹槽构成。一种镍铬合金膜加热温度可控环境参数集成传感器，内置镍铬合金膜加热线圈，可为传感器提供适应的工作温度，从而提高精度，悬臂梁式结构可大大减小热量的浪费，MEMS技术的应用，可将风速风向传感器单元、温湿度传感器单元和加热体温度传感器单元和气体传感器单元集成在一个传感器中，可使本传感器体积变小、成本降低。
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公开(公告)号：CN218726842U
公开(公告)日：2023-03-24
申请号：CN202222822016.3
申请日：2022-10-25
Applicant: 哈尔滨理工大学
Abstract: 本实用新型涉及传感器技术领域，具体涉及一种带温度检测的层叠式MEMS气体传感器。包括单晶硅衬底、绝缘隔热层、加热电极层、下导热层、温度检测电极层、上导热层和叉指电极层。所述隔热层为覆盖在单晶硅表面的氧化硅，加热电极为云雷纹形铜电极，导热层为氮化铝薄膜，温度检测电极层为钯银合金，叉指电极为金电极。本实用新型采用强导电与强导热性能的铜电极，弱导电性能与较强导热性能的氮化铝，电阻温度系数低且电阻率稳定的钯银合金及强导电性能的金电极，通过带有微热板的温度传感器以满足微传感器和许多其他应用的温度控制要求,并且可以保持低功耗和快速热响应时间。
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公开(公告)号：CN214734497U
公开(公告)日：2021-11-16
申请号：CN202120806713.2
申请日：2021-04-19
Applicant: 哈尔滨理工大学
Abstract: 本实用新型公开了一种新型类雪花状微热板，所述的微热板，是由基底、加热电极、叉指电极和绝缘层组成的。所述的基底上表面之上设有加热电极；所述的加热电极下表面与基底相接触，所述加热电极上表面设有绝缘层；所述的绝缘层下表面与加热电极相接触，所述的绝缘层上表面设有叉指电极。所述的加热电极的宽度为10～30μm，所述的加热电极的厚度为200nm。本实用新型采用类雪花状加热电极，采用雪花中心稀疏，外部密集的结构特点，提高了加热区的温度分布均匀性，减小了温差，降低了温度环境因素对气体传感器性能的影响。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN209605974U
公开(公告)日：2019-11-08
申请号：CN201920741797.9
申请日：2019-05-22
Applicant: 哈尔滨理工大学
Abstract: 一种电容式MEMS温度传感器，它涉及一种温度传感器。本实用新型的目的是要解决现有电容式温度传感器的体积大，功耗高的问题。一种电容式MEMS温度传感器包括底板、中段和顶盖，底板、中段和顶盖由下至上依次叠在一起；所述底板包括底板SiO2绝缘膜层、底板Si基层、底板SiO2隔离层、底板Ag电极层和底板AlN绝缘导热层；所述中段包括Si支架、中段SiO2绝缘层和三维黑磷电解质层；所述顶盖包括顶盖SiO2绝缘膜层、顶盖Si基层、顶盖SiO2隔离层、顶盖Ag电极层和顶盖AlN绝缘导热层。优点：体积小、成本低、功耗低的特点；提高了敏感度。本实用新型主要用于制备电容式MEMS温度传感器。
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公开(公告)号：CN211697693U
公开(公告)日：2020-10-16
申请号：CN201922300268.8
申请日：2019-12-20
Applicant: 哈尔滨理工大学
Abstract: 本实用新型的VOC多气体数据采集系统，主要目的是检测苯、甲醛等挥发性有机化合物(VOC)以及氨气、氯化氢等常温下易溶于水、并具有挥发性的气体。本实用新型的有益效果是：针对不同VOC，可监控热电偶加热蒸发器(5)的加热温度，加快其挥发。气体实验箱体积固定，可配置标准气体，对传感器进行标定及检测。传感器平台(10)具有通用的传感器接口(11)，可更换同种接口的多种传感器，测试时可使用一个或多个传感器同时检测一种或多种不同气体。气体实验箱使用密封条和密封胶对箱体密封，保证密封性，提高测量精度。本实用新型解决了挥发性有机化合物检测等待时间长、挥发不完全、气体浓度不均匀等问题，且操作简单便捷，检测效果好。
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公开(公告)号：CN209484795U
公开(公告)日：2019-10-11
申请号：CN201920021943.0
申请日：2019-01-08
Applicant: 哈尔滨理工大学
IPC: F24F11/58 , F24F110/70 , F24F110/64
Abstract: 本实用新型公开了一种基于云平台的智能家居通风系统，其特征在于：包含二氧化碳浓度监测节点（1）、PM2.5浓度监测节点（2）、控制器节点（3）、网关（4）、云平台（5）、远程终端（6）。所述二氧化碳浓度监测节点（1）采集被监室内二氧化碳浓度参数，通过ZigBee模块（1-2）发送网关（4）；所述PM2.5浓度监测节点（2）采集被监测室外PM2.5浓度数据参数，通过ZigBee模块（2-2）发送网关（4）；所述网关（4）将接收的数据通过WiFi模块（4-1）上传至云平台（5）；所述网关（4）的微处理器将操作命令通过ZigBee模块（4-2）发送给控制器节点（3）完成室内通风操作；所述远程终端（6）可以访问云平台（5），对收集到的数据进行详细的查询；本实用新型能够对被监测室内环境中二氧化碳浓度进行异地、远程监测和智能控制，装置简单，方便，实时性强。
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公开(公告)号：CN204479545U
公开(公告)日：2015-07-15
申请号：CN201420796429.1
申请日：2014-12-17
Applicant: 哈尔滨理工大学
Abstract: 一种镍铬合金膜加热温湿度自补偿气体集成传感器，适用于气体测量领域。本实用新型的目的是要解决现有的气体传感器检测参数单一、受环境温湿度影响较大、工作温度随环境变化、精度低、体积大、成本高等问题。一种镍铬合金膜加热温湿度自补偿气体集成传感器其特征在于：主要有硅基底、二氧化硅绝缘层、镍铬合金膜加热线圈，氧化铝绝缘层、镍铬合金膜传感器、连接线和凹槽构成。一种镍铬合金膜加热温湿度自补偿气体集成传感器，内置镍铬合金膜加热线圈，可为传感器提供适应的工作温度，从而提高精度，悬臂梁式结构可大大减小热量的浪费，MEMS技术的应用，不仅实现多传感器的集成，还可使本传感器体积变小、成本降低。
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公开(公告)号：CN204359814U
公开(公告)日：2015-05-27
申请号：CN201420795617.2
申请日：2014-12-17
Applicant: 哈尔滨理工大学
Abstract: 一种镍铬合金膜加热的高精度风速风向集成传感器，适用于风速和风向测量领域。本实用新型的目的是要解决现有的风速风向传感器受环境温湿度影响较大、工作温度随环境变化、精度低、体积大、成本高等问题。一种镍铬合金膜加热的高精度风速风向集成传感器其特征在于：主要有硅基底、二氧化硅绝缘层、镍铬合金膜加热线圈，氧化铝绝缘层、镍铬合金膜传感器、连接线和凹槽构成。一种镍铬合金膜加热的高精度风速风向集成传感器，内置镍铬合金膜加热线圈，可为传感器提供适应的工作温度，8个传感器单元同时对风速风向信息进行测量，可进一步提高测量精度，悬臂梁式结构可大大减小热量的浪费，MEMS技术的应用，可使本传感器体积变小、成本降低。
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