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公开(公告)号：CN100563748C
公开(公告)日：2009-12-02
申请号：CN200710040830.7
申请日：2007-05-18
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
Abstract: 本发明公开了一种高密度植入式平面阵列微电极及其制作方法，其特征在于所述的阵列微电极利用聚合物作为绝缘层材料，通过隔层布线的设计，将电极刺激位点或记录位点与其连接导线分布在不同的绝缘层之间，并在隔离绝缘层上制作通孔结构，由电镀工艺在通孔中形成金属连接结构，实现位于隔离绝缘层上下电极刺激位点或记录位点与其连接导线的连接；其中电镀工艺后，采用化学抛光的方法对上层表面进行抛光，保证电镀金属柱与上层溅射金属层良好的电连接。本发明提供的制作方法可以在单位面积上制作比常规单层布线设计更高密度的阵列微电极，实现植入式阵列微电极更高选择性刺激或记录。
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公开(公告)号：CN100461981C
公开(公告)日：2009-02-11
申请号：CN200610026292.1
申请日：2006-04-29
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
Abstract: 本发明公开了一种基于聚合物基底的凸起电极、制备方法及应用，其特征在于采用具有生物相容性和柔性聚合物作为基底材料和加工凸起电极结构，保证电极的刺激点与神经的充分接触，改善神经电刺激和神经信号记录的效果。本发明以各向异性湿法腐蚀硅片制作模具，氧化硅片模具表面形成二氧化硅作为牺牲层，通过剥离、注胶、释放牺牲层得到凸起聚合物微电极(见摘要附图)。本发明提供的基于聚合物基底的凸起电极制备方法具有与传统的微机电(Micro-Electro-Mechanical System，MEMS)加工工艺兼容、可标准化大批量制作的特点。本发明制作的电极可广泛应用于神经康复、神经生物学等领域。
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公开(公告)号：CN101067621A
公开(公告)日：2007-11-07
申请号：CN200710041619.7
申请日：2007-06-05
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
Abstract: 本发明涉及一种基于微加工方法制作的微型固相萃取芯片及使用方法。该芯片包括至少一个盖层和一个管道层，所述管道层通过微加工形成至少一段固相萃取填料填充管道和一段过滤管道，其中固相萃取填料填充管道通过坝型结构或栅栏结构与相邻管道部分分隔，但保持与相邻管道部分气相和液相的连通性，过滤管道部分由光引发聚合物形成的微孔结构构成；同时所述管道层对应固相萃取填料填充管道区域背面加工有微型加热电极和温度感应电极，用于加热控温。本发明可应用于分析化学和生物化学领域的微量样品快速萃取。
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公开(公告)号：CN1715902A
公开(公告)日：2006-01-04
申请号：CN200510027687.9
申请日：2005-07-12
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
IPC: G01N27/447 , B01D57/02
Abstract: 本发明公开了一种夹流进样的毛细管电泳芯片以及其使用方法，该芯片通过在进样管道和分离管道两侧加工辅助夹流管道，利用夹流管道中形成的平行夹流电场，抑制常规毛细管电泳芯片“十字交叉形”和“双T形”进样方式中，进样管道和分离管道交汇处样品分子的扩张，提高了电泳芯片的分离效率和检测灵敏度，同时该芯片还可以通过调节夹流电场相对于进样管道中进样电场的强度，改变进样条带的宽度，实现进样量的调整，以适应不同分析的需要。本发明可应用于无机分子、有机分子、生物大分子、病毒和细胞等的快速、高灵敏度分离检测。
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公开(公告)号：CN1554947A
公开(公告)日：2004-12-15
申请号：CN200310122866.1
申请日：2003-12-26
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 , 南通医学院附属医院
IPC: G01N33/493 , G01N27/413
Abstract: 本发明涉及一种毛细管电泳芯片分离检测尿蛋白的方法，其特征在于首先通过微加工工艺制作石英介质的毛细管电泳芯片，然后在管道中冲入筛分介质，并在加样池中加入检测样品，最后将加样后的毛细管电泳芯片置于光学检测平台上，各池中插入相应电极，施加适当时序和幅值的电压进行分离检测。与常规尿蛋白分离检测技术相比，本发明具有样品和试剂消耗量少，检测速度快，成本低等优点。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN103278643B
公开(公告)日：2015-05-27
申请号：CN201310182719.7
申请日：2013-05-16
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
IPC: G01N33/68
Abstract: 本发明涉及一种用于微量蛋白检测的微芯片的制备方法，包括：以硅片为基底材料，以SU-8光刻胶作为掩模层，分别曝光、显影制作模具A和模具B；将PDMS和固化剂混合后，分别浇注在模具A和模具B上，加热固化；分别剥离A-PDMS、B-PDMS；A-PDMS打孔后，与经过处理的玻璃片贴合；将A-PDMS揭掉后，将固定有抗体的玻璃片与B-PDMS对准贴合，并取另一经打孔的玻璃片贴合在B-PDMS的另一面，即得微芯片。本发明的微芯片将全血中血浆的分离、检测连接为一体，可以一次针对多个靶目标的检测，具有特异、快速和高灵敏的特点，可望应用于临床中微量全血中多种蛋白的诊断和检测。
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公开(公告)号：CN104297298A
公开(公告)日：2015-01-21
申请号：CN201410452147.4
申请日：2014-09-05
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
IPC: G01N27/02
Abstract: 本发明涉及一种外周血循环肿瘤细胞检测芯片及系统，其中，检测芯片包括衬底，其特征在于，所述衬底上制备有相互连接的叉指电容电路和螺旋电感金属电路；所述叉指电容电路上紧密贴合有单层石墨烯薄膜；所述石墨烯薄膜上贴合有微流控制通道；所述微流控制通道与单层石墨烯薄膜形成了用于筛选出的肿瘤细胞的集成石墨烯微流控管道筛选微芯片；所述单层石墨烯薄膜、叉指电容电路和螺旋电感电路形成一个整体RCL谐振网络；所述螺旋电感电路还充当互耦天线的作用。检测系统包括检测信号读出分析装置和上述的外周血循环肿瘤细胞检测芯片。本发明能够实现对肿瘤细胞的快速、灵敏、准确和低成本的检测。
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公开(公告)号：CN103009534A
公开(公告)日：2013-04-03
申请号：CN201210555203.8
申请日：2012-12-19
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
Abstract: 本发明公开了一种集成微结构的PDMS薄膜制作方法，其特征在于首先利用PDMS转模工艺将目标微结构从基于微加工工艺制作的母模复制至热熔性或水溶性材料表面，形成具有可熔化或溶解特性的牺牲层模具；然后在所制作牺牲层模具表面旋涂一薄层PDMS，同时在PDMS上压贴一胶片外框，待PDMS固化后，最后通过加热或浸入水中熔化或溶解牺牲层模具释放PDMS薄膜结构，并通过胶片外框辅助实现PDMS薄膜的转移和应用。该方法利用牺牲层模具制作和释放集成微结构的PDMS薄膜，避免了传统手工机械剥离方法对PDMS薄膜的损坏，大大降低了制作脆弱PDMS薄膜结构的难度，提高了制作PDMS薄膜的成功率，可实现PDMS薄膜结构的高产率批量化生产。
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公开(公告)号：CN102418684A
公开(公告)日：2012-04-18
申请号：CN201110238664.8
申请日：2011-08-19
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
IPC: F04B19/00
Abstract: 本发明涉及一种模块化组装式微泵、使用方法及应用，所述的微泵为一种单向、一次性、气压驱动泵，它是由集成微管道网络或微孔结构的脱气PDMS(聚二甲基硅氧烷)块体组成。该微泵利用脱气后PDMS材料对气体的高溶解特性，将脱气的PDMS泵体贴附于微流体芯片出口，同时在微流体芯片进样口滴加液样，使微流体芯片管道形成封闭空间，由于脱气的PDMS块体吸收此封闭空间中的空气，导致微管道中，形成负压，从而驱动进样口液样进入微流体芯片管道。该微泵无需外接能源和特殊接口，无机械运动部件，同时可根据微流体驱动的压强需求灵活组装和更换，适用于便携式微生化反应器和芯片实验室。
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公开(公告)号：CN102278293A
公开(公告)日：2011-12-14
申请号：CN201110095562.5
申请日：2011-04-15
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
Abstract: 本发明涉及一种基于毛细作用的微泵其使用方法，其特征在于所述微泵由毛细泵腔、分隔阀、进样微管道和储液微腔组成，其中毛细泵腔为一个微管道网络；分隔阀为一段连接毛细泵腔和进样微管道的微管道或微腔；进样微管道为一段处于进样口和储液微腔之间的微管道，储液微腔为一个培养腔或反应腔，位于进样微管道终端。微泵使用方法：1)在进样口中加入样品或试剂，使之在毛细作用力驱动下充满进样微管道，并因毛细微阀作用停止于储液微腔入口处；2)在毛细泵腔入口加入驱动液体，驱动液体将在毛细作用力下填充毛细泵腔并压缩其中空气产生驱动压强，从而分割并推动进样微管道样品或试剂进入储液微腔。提供的微泵还可双体联用实现定量的微混合、反应或细胞培养。
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