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公开(公告)号：CN112595790A
公开(公告)日：2021-04-02
申请号：CN202011549670.0
申请日：2020-12-24
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
Abstract: 本发明提供一种基于六通隔膜阀自动进样的气相色谱装置及检测方法，六通隔膜阀基于高压载气驱动，功耗较低，且与之联用的微型电磁阀功耗较低，从而可整体降低气相色谱装置的功耗；六通隔膜阀体积小、重量轻，且与之联用的微型电磁阀体积小、重量轻，从而可整体降低气相色谱装置的体积及重量，实现气相色谱装置的微小型化；基于六通隔膜阀及电磁阀可实现气相色谱装置的自动吹扫、采样、进样及检测等功能，从而本发明有利于实现气相色谱装置的低功耗和微小型化，以提高气相色谱装置的操作便捷性，扩大气相色谱装置的应用范围。
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公开(公告)号：CN104003352B
公开(公告)日：2018-07-06
申请号：CN201410264566.5
申请日：2014-06-13
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
Abstract: 本发明提供一种基于吸气剂薄膜的混合晶圆级真空封装方法及结构，该方法包括步骤：a）提供一垫片、一衬底片及一盖片，于所述垫片中形成芯片封装腔；b）键合所述垫片及所述衬底片；c）将待封装芯片通过键合结构键合于所述衬底片；d）提供吸气剂，并将所述吸气剂固定于朝向所述芯片封装腔的盖片表面；e）键合所述盖片及所述垫片并激活吸气剂。本发明基于MEMS技术制作封装腔体，将非致冷红外探测器芯片置于芯片封装腔内完成真空封装，有利于保护非致冷红外探测器芯片上脆弱的微结构，且具有了圆片级封装的效率；采用吸气剂薄膜维持腔体的真空度，可降低真空封装的体积；只对已通过测试的非致冷红外探测器芯片进行真空封装，降低了封装成本。
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公开(公告)号：CN108181415A
公开(公告)日：2018-06-19
申请号：CN201611124545.9
申请日：2016-12-08
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
Abstract: 本发明提供一种薄膜型微热导检测器及其制备方法，该薄膜型微热导检测器具有三明治结构，从下而上依次是玻璃衬底、带微沟槽的硅片和带微沟道的玻璃；交叉网状结构制作于硅片表面并悬浮于微通道之中，其结构是由两层氧化硅/氮化硅薄膜所保护的热敏电阻；关键工艺包括通过深反应离子刻蚀（DRIE）工艺刻蚀硅片背面硅释放交叉网状结构，通过两次静电键合完成微热导检测器芯片的制作。本发明的热敏电阻的上下两层氧化硅/氮化硅薄膜不仅对其起到保护作用，并且由于结构的对称分布还能起到应力平衡的作用，减小了交叉网状结构的形变，大大提高了热敏电阻支撑结构的强度及稳定性；采用一步DRIE工艺释放交叉网状结构，使得微沟槽侧壁陡直，器件死体积小。
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公开(公告)号：CN104810411A
公开(公告)日：2015-07-29
申请号：CN201410035654.8
申请日：2014-01-24
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
IPC: H01L31/0224 , H01L31/18
CPC classification number: H01L31/0224 , H01L31/022408 , H01L31/101 , H01L31/18
Abstract: 本发明提供一种光导型紫外探测器及其制作方法，该紫外探测器从下而上依次由绝缘衬底、紫外敏感薄膜、金属电极和石墨烯透明梳齿电极构成，其中绝缘衬底可采用石英玻璃片或表面生长或沉积了氧化硅或氮化硅等绝缘介质的硅片，紫外敏感薄膜可以是氮化镓、掺铝氮化镓、氧化锌、掺镁氧化锌、碳化硅和金刚石中的某一种薄膜材料，长条状金属电极由金或铂构成，石墨烯透明梳齿电极覆盖在紫外敏感薄膜和金属电极上方。由于采用石墨烯透明梳齿电极结构，与金属梳齿电极相比较，探测器的紫外辐射透过率高，提高了器件的性能。
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公开(公告)号：CN100595534C
公开(公告)日：2010-03-24
申请号：CN200510026743.7
申请日：2005-06-15
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
Abstract: 本发明涉及一种室温F-P红外探测器阵列及制作方法，其特征在于硅基底和可动微镜之间构成了红外谐振腔，可动微镜和带有高反膜的玻璃之间构成F-P腔。其制作特征在于采用普通硅片，首先通过腐蚀硅确定F-P腔的长度，通过制作牺牲层确定红外谐振腔的长度，在牺牲层上淀积氮化硅、铝或金薄膜，光刻并刻蚀出微镜图案，随后去掉牺牲层材料，释放可动微镜，最后在真空中作硅-玻璃键合，形成F-P腔。本发明的优点在于：采用体硅与表面牺牲层技术相结合的工艺，可方便的制作出符合要求的红外谐振腔和F-P腔，提高了器件的红外探测性能，同时在工艺过程即实现了红外探测器阵列的真空封装，不需要专门的真空封装，简化了工艺，保证了器件的性能。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN1727855A
公开(公告)日：2006-02-01
申请号：CN200510026744.1
申请日：2005-06-15
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
Abstract: 本发明涉及一种新颖的微机械碳纳米管场发射型非致冷热成像器件及制作方法，属于微电子机械系统领域。该器件由红外光学系统、衬底1、m×n的像素阵列15、荧光屏14以及偏置电路16等组成。其特征在于采用微机械技术制作双材料梁(膜)作为栅极，在催化剂上定向生长的碳纳米管作为场发射源。其制作特征在于：选择合适的衬底材料，制作牺牲层及锚区，淀积双层材料，刻蚀出栅孔，并在栅孔下制作催化剂材料，在催化剂材料材料上定向生长碳纳米管，去掉牺牲层材料释放双材料梁(膜)，随后封接荧光屏，实现对m×n的像素阵列的真空封装。最后连接偏置电路及其它校准电路，装配红外光学系统，形成微机械碳纳米管场发射型非致冷热成像器件。
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公开(公告)号：CN1173220C
公开(公告)日：2004-10-27
申请号：CN02136625.X
申请日：2002-08-23
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
Abstract: 本发明涉及一种用于光调制热成像系统的芯片及制作方法，属于微电子机械系统领域。该芯片由滤光片、半透镜和微镜阵列组成，其特征在于微镜的反射面和半透镜的反射面构成F-P腔的两个反射面，其之间的距离为入射红外辐射波长的四分之一。其制作特征是选择合适厚度的硅膜、二氧化硅膜的SOI硅片，首先光刻微镜阵列图案，腐蚀硅膜、二氧化硅膜，重新热氧化硅、蒸上铝膜，使得这二层膜的总厚度等于原来SOI硅片中二氧化硅的厚度，而后光刻并刻蚀出微镜图案，随后作一次硅-玻璃键合，把F-P腔的两个面键合在一起。本发明不但保证了F-P腔的两个反射面之间的距离满足要求，同时较为方便地制作出了符合要求的双层镜面。
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公开(公告)号：CN117451910B
公开(公告)日：2025-05-09
申请号：CN202311526934.4
申请日：2023-11-15
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
Abstract: 本发明提供一种氦离子检测器及其制备方法，在闭合腔室中设置对收集电极可以得到较为理想的电场分布，以及在闭合腔室中结合设置偏置电极可以有效提高离子收集效率，使得氦离子检测器在较小体积的前提下，也能具有较低的检测限，较高的检测灵敏度。此外，该氦离子检测器采用三明治结构，适合与色谱柱结合使用或者与微色谱柱进行单片集成。
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公开(公告)号：CN115993406A
公开(公告)日：2023-04-21
申请号：CN202211257197.8
申请日：2022-10-14
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
Abstract: 本发明属于生物医药技术领域，公开了代谢标志物在制备检测慢性肾脏病临床分期的产品中的用途。一种预测慢性肾脏病临床分期的标志物，所述标志物选自正辛烷、4‑庚酮、正十二烷、邻二甲苯、乙苯、间二甲苯和正庚烷中的一种或多种。本发明采用呼出气中挥发性有机物作为标志物来预测慢性肾脏病的临床分期，具有方便多次采集且更易于前处理的优势综合，因此具有重要临床应用价值。
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公开(公告)号：CN114965833A
公开(公告)日：2022-08-30
申请号：CN202210604091.4
申请日：2022-05-30
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
Abstract: 本发明提供一种微沟道横截面为圆角矩形的玻璃基微色谱柱，在玻璃基底中的微沟道横截面呈圆角矩形结构，这种微沟道具有均匀的“准零流速区”，可使得微色谱柱的固定相涂覆均匀，获得对称度较高的色谱峰，从而更加适合精确定性定量检测；采用飞秒激光或超快激光对预设深度处的玻璃基底进行激光改性并辅助化学湿法刻蚀，可直接在玻璃基底预设深度处制备微沟道，无需采用光刻、DRIE及键合工艺，制备工艺步骤简单，且玻璃本身成本低，可大大降低制造成本，更适合批量生产。
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