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公开(公告)号：CN111483972B
公开(公告)日：2025-04-22
申请号：CN201910075661.3
申请日：2019-01-25
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
Abstract: 本发明提供一种富集器芯片结构及制备方法，制备包括：提供衬底，制备凹槽结构；制备若干个微柱结构，相邻所述微柱结构基于所述开口嵌套设置；制备微流控端口，与所述凹槽结构相连通；及提供一盖板，并将所述盖板制备于所述衬底形成有所述凹槽结构的一侧，且所述盖板至少覆盖所述凹槽结构。本发明通过在凹槽结构形成的腔体内设计嵌套设置的微柱结构阵列，可以获得大的表面积，并使得流场均匀分布，且延长气体流路路径，进而提高吸附材料的均匀性，提高吸附气体的富集率，另外，通过在腔体内表面构筑一层高比面积的介孔氧化硅，如纳米介孔氧化硅，可极大地增加腔体内的内表面积，从而进一步提高吸附材料的承载量，提高富集器芯片结构的富集率。
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公开(公告)号：CN115993407B
公开(公告)日：2024-12-06
申请号：CN202211257199.7
申请日：2022-10-14
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
Abstract: 本发明属于生物医药技术领域，公开了早期慢性肾脏病的标志物及其用途。一种诊断和/或预测早期慢性肾脏病的标志物，所述标志物选自4‑庚酮、2‑甲基‑2‑丁醇、邻二甲苯、正辛烷、间二甲苯、正壬烷、正十二烷、正十四烷和苯乙烯中的一种或多种。本发明的标志物能准确地区分健康人和早期慢性肾脏病患者，有利于临床对症下药，且标志物来源于呼出气，因采样具有便捷、即时、无侵入性的优点，本发明具有重要应用价值。
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公开(公告)号：CN115993407A
公开(公告)日：2023-04-21
申请号：CN202211257199.7
申请日：2022-10-14
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
Abstract: 本发明属于生物医药技术领域，公开了早期慢性肾脏病的标志物及其用途。一种诊断和/或预测早期慢性肾脏病的标志物，所述标志物选自4‑庚酮、2‑甲基‑2‑丁醇、邻二甲苯、正辛烷、间二甲苯、正壬烷、正十二烷、正十四烷和苯乙烯中的一种或多种。本发明的标志物能准确地区分健康人和早期慢性肾脏病患者，有利于临床对症下药，且标志物来源于呼出气，因采样具有便捷、即时、无侵入性的优点，本发明具有重要应用价值。
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公开(公告)号：CN112915590B
公开(公告)日：2022-09-23
申请号：CN202110088082.X
申请日：2021-01-22
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
Abstract: 本发明提供一种用于轻烃分离的微色谱柱及制备方法，微色谱柱包括衬底、微沟道、微柱阵列、盖板及复合MOFs固定相，其中，复合MOFs固定相覆盖腔室内表面，且形成复合MOFs固定相的复合MOFs材料包括UIO‑66及ZIF‑8。本发明采用两种含有不同窗口尺寸的MOFs材料，并以特定的配比进行混合形成复合MOFs材料，且在经过老化后形成覆盖腔室内表面的复合MOFs固定相，该复合MOFs固定相能够起到分子筛的作用，从而可提高微色谱柱对轻烃的分离度，尤其是可提高对甲烷‑乙烷这两种性质较为接近的轻烃的分离度，以满足对轻烃定性定量分析检测的要求。
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公开(公告)号：CN111483972A
公开(公告)日：2020-08-04
申请号：CN201910075661.3
申请日：2019-01-25
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
Abstract: 本发明提供一种富集器芯片结构及制备方法，制备包括：提供衬底，制备凹槽结构；制备若干个微柱结构，相邻所述微柱结构基于所述开口嵌套设置；制备微流控端口，与所述凹槽结构相连通；及提供一盖板，并将所述盖板制备于所述衬底形成有所述凹槽结构的一侧，且所述盖板至少覆盖所述凹槽结构。本发明通过在凹槽结构形成的腔体内设计嵌套设置的微柱结构阵列，可以获得大的表面积，并使得流场均匀分布，且延长气体流路路径，进而提高吸附材料的均匀性，提高吸附气体的富集率，另外，通过在腔体内表面构筑一层高比面积的介孔氧化硅，如纳米介孔氧化硅，可极大地增加腔体内的内表面积，从而进一步提高吸附材料的承载量，提高富集器芯片结构的富集率。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN110203877A
公开(公告)日：2019-09-06
申请号：CN201910545104.3
申请日：2019-06-21
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
Abstract: 本发明提供基于硅纳米线阵列的微富集器芯片及制备方法，制备包括：提供衬底，制备凹槽结构；制备若干个微柱结构，相邻所述微柱结构基于所述开口嵌套设置；制备微流控端口，与所述凹槽结构相连通；及提供一盖板，并将所述盖板制备于所述衬底形成有所述凹槽结构的一侧，且所述盖板至少覆盖所述凹槽结构。本发明通过在凹槽结构形成的腔体内设计嵌套设置的微柱结构阵列，可以获得大的表面积，并使得流场均匀分布，且延长气体流路路径，进而提高吸附材料的均匀性，提高吸附气体的富集率，另外，通过在腔体内表面构筑一层高比面积的硅纳米线阵列，可极大地增加腔体内的内表面积，提高吸附材料的承载量，提高基于硅纳米线阵列的微富集器芯片的富集率。
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公开(公告)号：CN104810411B
公开(公告)日：2018-07-06
申请号：CN201410035654.8
申请日：2014-01-24
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
IPC: H01L31/0224 , H01L31/18
Abstract: 本发明提供一种光导型紫外探测器及其制作方法，该紫外探测器从下而上依次由绝缘衬底、紫外敏感薄膜、金属电极和石墨烯透明梳齿电极构成，其中绝缘衬底可采用石英玻璃片或表面生长或沉积了氧化硅或氮化硅等绝缘介质的硅片，紫外敏感薄膜可以是氮化镓、掺铝氮化镓、氧化锌、掺镁氧化锌、碳化硅和金刚石中的某一种薄膜材料，长条状金属电极由金或铂构成，石墨烯透明梳齿电极覆盖在紫外敏感薄膜和金属电极上方。由于采用石墨烯透明梳齿电极结构，与金属梳齿电极相比较，探测器的紫外辐射透过率高，提高了器件的性能。
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公开(公告)号：CN107561201A
公开(公告)日：2018-01-09
申请号：CN201610507286.1
申请日：2016-06-30
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
IPC: G01N30/60
Abstract: 本发明提供一种高分离效率的硅基微气相色谱柱及其制备方法，所述制备方法包括：1）于硅衬底上制作微沟道及微流控端口；2）制作掩膜层保护所述硅衬底上的键合面；3）于所述微沟道内构筑纳米介孔氧化硅；4）将一封装盖板键合于所述硅衬底的键合面上；5）基于所需分离的组分于所述纳米介孔氧化硅表面形成相应的修饰材料。由于纳米介孔氧化硅具有较大的比表面积及孔容，且具有较好的热稳定性及机械强度，本发明将其构筑于硅基微气相色谱柱内，能极大地提高色谱柱的分离效率；纳米介孔氧化硅表面具有高密度的硅羟基（Si-OH），可根据分离对象的不同在其表面进一步构筑具有不同分离功能的单分子层，实现所需的分离效果。
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公开(公告)号：CN104022046B
公开(公告)日：2017-07-11
申请号：CN201410264998.6
申请日：2014-06-13
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
CPC classification number: H01L2224/16225
Abstract: 本发明提供一种基于带状吸气剂的混合晶圆级真空封装方法及结构，包括步骤：a）提供一垫片、一衬底片及一盖片，于所述垫片中形成芯片封装腔及吸气剂腔，并形成通气孔；b）键合所述垫片及所述衬底片形成封装腔体；c）提供一待封装芯片，将所述芯片通过键合结构键合于所述衬底片；d）提供吸气剂，并固定于所述吸气剂腔中；e）激活吸气剂并键合所述盖片及所述垫片。本发明基于MEMS技术制作封装腔体，将待封装芯片置于芯片封装腔内完成真空封装，有利于保护待封装芯片上脆弱的微结构，且具有了圆片级封装的效率；设计了专门放置带状吸气剂的吸气剂腔，与吸气剂薄膜等相比较，成本较低；只对已通过测试的芯片进行真空封装，降低了封装成本。
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公开(公告)号：CN105304505A
公开(公告)日：2016-02-03
申请号：CN201410270430.5
申请日：2014-06-17
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
Abstract: 本发明提供一种混合晶圆级真空封装方法及结构，包括步骤：a）提供一衬底片，于所述衬底片中形成芯片封装腔；b）于所述衬底片的芯片封装腔中制作吸气剂薄膜；c）提供一包括基底及器件区域的已通过测试的待封装芯片；d）提供一真空设备，将所述待封装芯片及芯片封装腔对准后，进行抽真空、激活吸气剂及加热加压，通过键合结构键合所述衬底片及所述待封装芯片。本发明只对已通过测试的待封装芯片进行真空封装，降低了封装成本；直接在如红外滤波片的衬底片上制作芯片封装腔，将如红外探测器芯片等待封装芯片置于芯片封装腔上完成真空封装，提高了封装效率，减少了封装体积。
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