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公开(公告)号：CN117451910B
公开(公告)日：2025-05-09
申请号：CN202311526934.4
申请日：2023-11-15
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
Abstract: 本发明提供一种氦离子检测器及其制备方法，在闭合腔室中设置对收集电极可以得到较为理想的电场分布，以及在闭合腔室中结合设置偏置电极可以有效提高离子收集效率，使得氦离子检测器在较小体积的前提下，也能具有较低的检测限，较高的检测灵敏度。此外，该氦离子检测器采用三明治结构，适合与色谱柱结合使用或者与微色谱柱进行单片集成。
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公开(公告)号：CN114965833A
公开(公告)日：2022-08-30
申请号：CN202210604091.4
申请日：2022-05-30
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
Abstract: 本发明提供一种微沟道横截面为圆角矩形的玻璃基微色谱柱，在玻璃基底中的微沟道横截面呈圆角矩形结构，这种微沟道具有均匀的“准零流速区”，可使得微色谱柱的固定相涂覆均匀，获得对称度较高的色谱峰，从而更加适合精确定性定量检测；采用飞秒激光或超快激光对预设深度处的玻璃基底进行激光改性并辅助化学湿法刻蚀，可直接在玻璃基底预设深度处制备微沟道，无需采用光刻、DRIE及键合工艺，制备工艺步骤简单，且玻璃本身成本低，可大大降低制造成本，更适合批量生产。
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公开(公告)号：CN114965833B
公开(公告)日：2024-10-25
申请号：CN202210604091.4
申请日：2022-05-30
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
Abstract: 本发明提供一种微沟道横截面为圆角矩形的玻璃基微色谱柱，在玻璃基底中的微沟道横截面呈圆角矩形结构，这种微沟道具有均匀的“准零流速区”，可使得微色谱柱的固定相涂覆均匀，获得对称度较高的色谱峰，从而更加适合精确定性定量检测；采用飞秒激光或超快激光对预设深度处的玻璃基底进行激光改性并辅助化学湿法刻蚀，可直接在玻璃基底预设深度处制备微沟道，无需采用光刻、DRIE及键合工艺，制备工艺步骤简单，且玻璃本身成本低，可大大降低制造成本，更适合批量生产。
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公开(公告)号：CN117451910A
公开(公告)日：2024-01-26
申请号：CN202311526934.4
申请日：2023-11-15
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
Abstract: 本发明提供一种氦离子检测器及其制备方法，在闭合腔室中设置对收集电极可以得到较为理想的电场分布，以及在闭合腔室中结合设置偏置电极可以有效提高离子收集效率，使得氦离子检测器在较小体积的前提下，也能具有较低的检测限，较高的检测灵敏度。此外，该氦离子检测器采用三明治结构，适合与色谱柱结合使用或者与微色谱柱进行单片集成。
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