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公开(公告)号：CN104064631B
公开(公告)日：2016-08-31
申请号：CN201410334717.X
申请日：2014-07-15
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
IPC: H01L31/18 , H01L31/101
CPC classification number: Y02P70/521
Abstract: 本发明提供一种降低超导纳米线单光子探测器件非本征暗计数的方法及器件，包括步骤：于所述超导纳米线单光子探测器件上集成短波通多层薄膜滤波器；其中，所述短波通多层薄膜滤波器为通过多层介质薄膜实现的具有短波通滤波功能的器件。所述非本征暗计数为由于光纤黑体辐射及外界杂散光触发的暗计数。本发明操作简单，仅需在衬底上集成短波通多层薄膜滤波器，将非信号辐射过滤掉，该方法可以在保证信号辐射和器件的光耦合效率的同时，有效降低非本征暗计数，从而提高器件在特定暗计数条件下的探测效率，另外，只需要过滤波长范围大于1550nm的光波，降低了设计要求，有利于滤波器的实现。
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公开(公告)号：CN102790253A
公开(公告)日：2012-11-21
申请号：CN201110128183.1
申请日：2011-05-18
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
Abstract: 一种定向耦合器，利用二维长方晶格柱状光子晶体的自准直效应实现，属于半导体光学技术领域。该定向耦合器通过在相邻两排硅柱的长边中间引入一定数量、相同尺寸的耦合柱体，这样，在一排柱体中传播的自准直光束被引入的中间柱体耦合到另一排柱体中继续自准直传播，通过控制中间柱体的数量可以控制两排柱体中自准直光束传输功率的比例，从而实现相邻两排硅柱间的光耦合。相对于传统定向耦合器，本发明提供的光子晶体定向耦合器能够将器件耦合长度控制在10μm以内甚至更短，这使总体器件的长度极大缩短，结构更为紧凑。同时，通过控制中间柱体的数量可以控制两排柱体中自准直光束传输功率的比例，能够灵活控制耦合效率。
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公开(公告)号：CN119244927A
公开(公告)日：2025-01-03
申请号：CN202411372575.6
申请日：2024-09-29
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
Abstract: 本发明提供一种液氮杜瓦组件，包括外筒、插设于外筒且用于容置液氮的内筒、插设于内筒的支柱、基台、套设于支柱的顶端且位于基台上方的顶盖、设于顶盖上方的盖板、两个真空阀、液氮加注阀以及泄压阀；基台固定于外筒和内筒上方，以将外筒和内筒固定在一起，在外筒、内筒和基台之间限定形成第一密封腔；支柱的顶端设有冷台；顶盖具有侧壁，其底部与冷台密封，其顶部与盖板密封，在顶盖、冷台和盖板之间形成第二密封腔；支柱的材质为黄铜；外筒、内筒、基台、盖板和顶盖的材质采用环氧树脂与玻璃纤维聚合物。本发明的液氮杜瓦组件具有可拆卸、具有长时工作能力的特点，能够为器件、芯片提供液氮温区低温工作环境。
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公开(公告)号：CN116046184A
公开(公告)日：2023-05-02
申请号：CN202310040128.X
申请日：2023-01-12
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
IPC: G01J11/00
Abstract: 本发明提供一种基于单个超导纳米线单光子探测器的光子数分辨方法，包括：提供一种超导纳米线单光子探测器的读出电路，其包括一个具有读出端口和接地端口的超导纳米线单光子探测器组件、与两个端口相连的一个恒流偏置源、以及与读出端口连接的第一读取电路，且接地端口接地；在超导纳米线单光子探测器组件响应待测光子时，利用超导纳米线单光子探测器的读出电路读取超导纳米线单光子探测器的响应脉冲的上升沿时间或者上升沿斜率；根据超导纳米线单光子探测器的响应脉冲的上升沿时间，确定响应的光子数。本发明的方法可以在单个超导纳米线单光子探测器上直接分辨光子数，具有很高的保真度，并且快速简便。
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公开(公告)号：CN114383811B
公开(公告)日：2022-11-11
申请号：CN202210049463.1
申请日：2022-01-17
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
Abstract: 本发明的一种光学自对准极低温测试系统包括低温冷源模块、吸附式制冷模块及光学自对准模块，低温冷源模块与吸附式制冷模块横向并排排布，降低了极低温测试系统的高度，方便后续的拆卸安装；低温冷源模块的真空罩与吸附式制冷模块的吸附级真空罩相连通，通过同一真空泵提供真空环境，减少空气对流造成的热损失；两级封闭低温环境，可减少系统对待测器件的辐射漏热，提供恒定的极低温环境，保证器件正常工作；设置可拆卸的吸附级真空密封板、吸附级一级冷板与吸附级二级冷板，简单方便地更换器件、滤波片、光纤；能够兼容光纤和自由空间这两种真空光传播方式，突破传统壁垒，大大提高光学自对准极低温测试系统的应用范围。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN112050935B
公开(公告)日：2022-06-24
申请号：CN202010958801.4
申请日：2020-09-14
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
Abstract: 本发明属于光探测技术领域，涉及一种超导纳米线单光子探测器及其制备方法。所述超导纳米线单光子探测器，包括：衬底；反射层，位于所述衬底表面；探测层，位于所述反射层表面，用于探测光子，所述探测层包括若干超导纳米线单元；匹配层，至少位于所述超导纳米线单元表面且包覆所述超导纳米线单元，至少用于降低所述超导纳米线单元的偏振消光比；通过在超导纳米线单光子探测器中设置包覆超导纳米线单元的匹配层，能够利用匹配层降低超导纳米线单光子探测器的偏振消光比，从而降低超导纳米线单光子探测器的偏振敏感性，扩大超导纳米线单光子探测器的应用领域，提高其探测的准确性和可重复性。
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公开(公告)号：CN109659386B
公开(公告)日：2021-08-20
申请号：CN201811486995.1
申请日：2018-12-06
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
IPC: H01L31/09 , H01L31/0232 , H01L31/0352
Abstract: 本发明提供一种多光谱超导纳米线单光子探测器，包括：衬底；第一光学薄膜叠层结构，位于衬底的上表面；第二光学薄膜叠层结构，位于第一光学薄膜叠层结构的上表面；第二光学薄膜叠层结构的中心波长与第一光学薄膜叠层结构的中心波长不同；超导纳米线，位于第二光学薄膜叠层结构的上表面。本发明的第二光学薄膜叠层结构即作为反射镜用于在其中心波长处达到高效吸收，又对第一光学薄膜叠层结构反射波段的光起到相移的作用，导致其吸收波长发生偏移、吸收峰数量变多，可以实现多个波段的高效吸收，即可以得到多个共振吸收波长，从而可以满足用户对不同波段单光子探测器的应用需求，以及多波段成像或多波段探测等应用的需求。
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公开(公告)号：CN111584707A
公开(公告)日：2020-08-25
申请号：CN202010277519.X
申请日：2020-04-10
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
Abstract: 本发明涉及一种用于SNSPD器件纳米线结构的双层胶剥离方法，采用ZEP-520A电子束抗蚀剂作为双层胶的底层胶，AR-P 6200型电子束抗蚀剂作为双层胶的顶层胶。本发明采用的两种抗蚀剂均可在邻二甲苯中显影，且去胶过程可于相同步骤中同时进行，工艺更为简单，通过与多种溶剂配合实现曲折纳米线结构的溶胶剥离；同时，利用两种抗蚀剂中心剂量的差距实现底切结构，具有流程简单、重复性好等优点。
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公开(公告)号：CN111443442A
公开(公告)日：2020-07-24
申请号：CN202010192524.0
申请日：2020-03-18
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
Abstract: 本申请提供一种SNSPD阵列与光波导阵列的耦合装置及方法，该耦合装置包括金属底座、硅衬底层、DBR介质层和上表面刻蚀有SNSPD阵列的氮化铌层，光波导阵列和固定座，其中，单元光波导与单元SNSPD一一对应，固定座的一端与光波导阵列的侧表面连接另一端与金属底座的上表面连接。本申请相较于传统的单个SNSPD器件与单根光纤耦合的方法，本申请具有提高SNSPD集成度、拓展器件规模等优点，并且还有助于提高工作效率和实现SNSPD大批量生产，此外，相较于片上集成斜入射耦合或射倏逝波耦合方法，采用分离式垂直耦合的方法将SNSPD阵列与光波导阵列直接耦合，能够有效减少光路损耗，提高光耦合效率。
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公开(公告)号：CN110726484A
公开(公告)日：2020-01-24
申请号：CN201911088568.2
申请日：2019-11-08
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
IPC: G01J11/00
Abstract: 本发明提供一种背面光耦合超导纳米线单光子探测器件、制备及测试装置，背面光耦合超导纳米线单光子探测器件包括器件光敏区域及定位环。测试装置包括封装件及套管，背面光耦合超导纳米线单光子探测器件固定于封装件中，并通过套管与封装件及光纤插头的连接，使得光纤插头的中心与背面光耦合超导纳米线单光子探测器件的中心位于同一垂线上。本发明制备具有特殊形貌的背面光耦合超导纳米线单光子探测器件并与测试装置配合应用，实现高稳定性的自对准光耦合；且利用μm级的标记刻度尺，结合光学显微镜可以直接量化对光误差，使得对光误差控制在μm量级。
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