-
Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN110971140A
公开(公告)日：2020-04-07
申请号：CN201911194701.2
申请日：2019-11-28
Applicant: 上海应用技术大学
Abstract: 本发明涉及一种基于MEMS的压电装置，包括PZT基板和支撑基板，PZT基板上设有布置于内圈的驱动部、布置于外圈的固定部、以及与所述驱动部和固定部连接的引线线路；所述固定部和驱动部均为PZT材料，所述支撑基板上覆盖于驱动部和固定部上，支撑基板上与所述固定部对应的位置处设有连接凸起，支撑基板上与所述驱动部对应的位置设有驱动凸起，所述连接凸起与固定部固定连接，所述驱动凸起与驱动部固定连接。与现有技术相比，本发明具有形状可变、生产成本低、容易大批量生产等优点。
-
公开(公告)号：CN110806496A
公开(公告)日：2020-02-18
申请号：CN201910959295.8
申请日：2019-10-10
Applicant: 上海应用技术大学
Abstract: 本发明涉及一种全金属微惯性系统器件的加工方法，包括以下步骤：提供硅基板，在硅基板电镀一层Cr/Au金属层，将PMMA光刻胶层覆盖到Cr/Au金属层表面；将掩模板与硅基板对准后，采用X射线照射PMMA光刻胶层，显影得到光刻胶微结构，并在光刻胶微结构的缝隙中显露出Cr/Au金属层；在显露的Cr/Au金属层表面电镀Ni/Cu金属层；打磨将Ni/Cu金属层的厚度处理为100～1000um；分离硅基板，去除PMMA光刻胶层和Cr/Au金属层得到全金属微惯性系统器件。与现有技术相比，本发明具有工艺步骤少、成本低、加工过程简单、成品抗冲击力强等优点。
-
公开(公告)号：CN110207864A
公开(公告)日：2019-09-06
申请号：CN201910527313.5
申请日：2019-06-18
Applicant: 上海应用技术大学
Abstract: 本发明涉及一种敏感膜和传力导杆一体化的微力传感器，包括固定连接的敏感膜和传力导杆，敏感膜包括基板、设于基底中心位置的中心板、连接于基板和中心板之间的悬臂梁、设于悬臂梁上的压敏电阻，基板上设有与压敏电阻位置匹配的接触孔，金属引线与压敏电阻在接触孔内形成欧姆接触，并组成惠斯登电桥；中心板一体连接传力导杆。与现有技术相比，本发明具有制备简便、成本低、测量误差小、方便安装等优点。
-
公开(公告)号：CN109634062A
公开(公告)日：2019-04-16
申请号：CN201810794694.9
申请日：2018-07-18
Applicant: 上海应用技术大学
IPC: G03F7/20
CPC classification number: G03F7/2039 , G03F7/70058 , G03F7/7055 , G03F7/70558
Abstract: 本发明属于半导体集成电路制造技术领域，更具体地，涉及一种基于整形X射线移动曝光的微台阶加工装置及方法。基于整形X射线移动曝光的微台阶加工装置，它包括同步辐射光光源、掩膜版、PMMA光刻胶板、移动工作台和曝光腔，所述掩膜版、PMMA光刻胶板、移动工作台设置在曝光腔内，PMMA光刻胶板固定设置在移动工作台上，掩膜版位于PMMA光刻胶板前方，所述同步辐射光光源位于曝光腔外，且设置在掩膜版前方，所述掩膜版上设有小孔，所述同步辐射光光源发射的X射线进入曝光腔区域，通过掩膜版上的小孔，得到整形好的X射线，对移动工作台的上PMMA光刻胶板进行曝光。通过控制整形X射线照射到光刻胶的时间，获得不同的曝光剂量，从而获得不同深度的台阶式结构。
-
公开(公告)号：CN215072198U
公开(公告)日：2021-12-07
申请号：CN202023116443.7
申请日：2020-12-22
Applicant: 上海应用技术大学
Abstract: 本实用新型涉及一种设有镂空部的压电能量采集器，包括自下而上依次设置的硅基板、金属层和PZT压电层，硅基板和PZT压电层通过金属层共晶键合连接，硅基板的中部下侧设有凹槽，该凹槽区域设有贯穿硅基板、金属层和PZT压电层的镂空部，硅基板在凹槽的两侧分别形成有固定端和自由端，自由端的上侧连接有上部质量块、下侧连接有下部质量块。与现有技术相比，本实用新型具有便于加工、产品固有频率低、功率输出高等优点。
-
-
-
-
Search Results
45
records
(took 0.022 seconds)
