公开(公告)号：CN107215847A

公开(公告)日：2017-09-29

申请号：CN201710548247.0

申请日：2017-07-06

Applicant: 上海应用技术大学

Inventor： 李以贵 ,  吕曈 ,  蔡金东 ,  黄远 ,  颜平 ,  王欢

IPC: B81C1/00

CPC classification number: B81C1/00023 ,  B81C1/00206 ,  B81C1/00444

Abstract: 本发明公开了一种新的特氟龙加工装置及工艺，包括同步辐射光源、喷嘴、光束整形器、加热板，其中：同步辐射光源位于喷嘴前端，光束整形器位于加热板的中心位置，加热板上的电阻丝采用钨电阻丝，加热板基片采用玻璃材料，能使加热丝绝缘。同步辐射光源产生的同步辐射光，通过喷嘴汇聚在光束整形器上，形成一束较细的同步辐射光束，照射到特氟龙加工件上进行特氟龙微加工，同时使加热板贴近特氟龙工件对特氟龙工件实行局部加热，实现快速加工。

公开(公告)号：CN109634062A

公开(公告)日：2019-04-16

申请号：CN201810794694.9

申请日：2018-07-18

Applicant: 上海应用技术大学

Inventor： 李以贵 ,  吕曈 ,  蔡金东 ,  王欢 ,  吴文渊 ,  何易德

IPC: G03F7/20

CPC classification number: G03F7/2039 ,  G03F7/70058 ,  G03F7/7055 ,  G03F7/70558

Abstract: 本发明属于半导体集成电路制造技术领域，更具体地，涉及一种基于整形X射线移动曝光的微台阶加工装置及方法。基于整形X射线移动曝光的微台阶加工装置，它包括同步辐射光光源、掩膜版、PMMA光刻胶板、移动工作台和曝光腔，所述掩膜版、PMMA光刻胶板、移动工作台设置在曝光腔内，PMMA光刻胶板固定设置在移动工作台上，掩膜版位于PMMA光刻胶板前方，所述同步辐射光光源位于曝光腔外，且设置在掩膜版前方，所述掩膜版上设有小孔，所述同步辐射光光源发射的X射线进入曝光腔区域，通过掩膜版上的小孔，得到整形好的X射线，对移动工作台的上PMMA光刻胶板进行曝光。通过控制整形X射线照射到光刻胶的时间，获得不同的曝光剂量，从而获得不同深度的台阶式结构。

公开(公告)号：CN107448648A

公开(公告)日：2017-12-08

申请号：CN201710877686.6

申请日：2017-09-25

Applicant: 上海应用技术大学

Inventor： 李以贵 ,  蔡金东 ,  吕曈 ,  黄毅 ,  王欢 ,  吴文渊

IPC: F16K15/00 ,  B05D7/04

CPC classification number: F16K15/00 ,  B05D7/04

Abstract: 本发明公开了一种全塑微型单向阀，包括基板和阀膜，基板上设有圆锥状通孔，阀膜覆于圆锥状通孔窄口端的基板一侧，阀膜上设有围绕中间一圆形膜片环形布置的多个通孔，圆形膜片的面积大于圆锥状通孔窄口端，完全将圆锥状通孔窄口端覆盖，基板的圆锥状通孔与阀膜上圆形膜片周围的通孔之间构成微型单向阀的流体流路，本发明还公开了一种全塑微型单向阀的加工方法，采用准分子激光微细加工技术对基板进行加工，并将阀口薄膜图形化形成阀口通道，避免使用复杂的化学刻蚀和机械加工方法，刻蚀精度高，工艺简单，操作方便，生产效率高，生产成本低，适合批量化生产。