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公开(公告)号：CN111707844A
公开(公告)日：2020-09-25
申请号：CN202010478007.X
申请日：2020-05-29
Applicant: 上海应用技术大学
Abstract: 本发明涉及一种风速传感器，包括位于密闭空间的测速单元，所述测速单元包括位于密闭空间内的T型加热器和测温传感器；所述T型加热器为T型结构，该T型结构的横部两端分别设有两个加热电阻；所述测温传感器围绕设于所述T型结构的外侧，并且在位于所述T型结构的中间竖部两侧的位置分别设有两个测温电阻；以T型结构的中间竖部为对称轴，所述两个加热电阻呈对称放置，两个测温电阻呈对称设置。与现有技术相比，本发明具有传感器体积小、灵敏度高、实用性强等优点。
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公开(公告)号：CN110806496A
公开(公告)日：2020-02-18
申请号：CN201910959295.8
申请日：2019-10-10
Applicant: 上海应用技术大学
Abstract: 本发明涉及一种全金属微惯性系统器件的加工方法，包括以下步骤：提供硅基板，在硅基板电镀一层Cr/Au金属层，将PMMA光刻胶层覆盖到Cr/Au金属层表面；将掩模板与硅基板对准后，采用X射线照射PMMA光刻胶层，显影得到光刻胶微结构，并在光刻胶微结构的缝隙中显露出Cr/Au金属层；在显露的Cr/Au金属层表面电镀Ni/Cu金属层；打磨将Ni/Cu金属层的厚度处理为100～1000um；分离硅基板，去除PMMA光刻胶层和Cr/Au金属层得到全金属微惯性系统器件。与现有技术相比，本发明具有工艺步骤少、成本低、加工过程简单、成品抗冲击力强等优点。
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公开(公告)号：CN110207864A
公开(公告)日：2019-09-06
申请号：CN201910527313.5
申请日：2019-06-18
Applicant: 上海应用技术大学
Abstract: 本发明涉及一种敏感膜和传力导杆一体化的微力传感器，包括固定连接的敏感膜和传力导杆，敏感膜包括基板、设于基底中心位置的中心板、连接于基板和中心板之间的悬臂梁、设于悬臂梁上的压敏电阻，基板上设有与压敏电阻位置匹配的接触孔，金属引线与压敏电阻在接触孔内形成欧姆接触，并组成惠斯登电桥；中心板一体连接传力导杆。与现有技术相比，本发明具有制备简便、成本低、测量误差小、方便安装等优点。
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公开(公告)号：CN112630465A
公开(公告)日：2021-04-09
申请号：CN202011363930.5
申请日：2020-11-27
Applicant: 上海应用技术大学
Abstract: 本发明涉及一种MEMS热式流速传感器封装装置，包括封装盖体、封装隔板和封装基体，所述封装盖体设有放置薄膜驱动模块的第一腔体，以及放置MEMS热式流速传感器芯片的第二腔体，所述封装隔板设有与第一腔体对应的薄膜，以及与第二腔体对应的芯片流体通孔，所述封装基体设有流体凹槽、流体进口通道和流体出口通道，所述流体凹槽包括薄膜接触部和芯片接触部，所述薄膜接触部连通流体出口通道，所述芯片接触部连通流体进口通道，所述流体出口通道的截面面积小于薄膜的面积，所述芯片接触部与芯片流体通孔连通，所述封装盖体、封装隔板和封装基体依次固定连接。与现有技术相比，灵敏度高、反应速度快、体积更小、均一性好，且可用于腐蚀性气体的检测。
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公开(公告)号：CN109920747A
公开(公告)日：2019-06-21
申请号：CN201910185830.9
申请日：2019-03-12
Applicant: 上海应用技术大学
Abstract: 本发明公开了一种湿法刻蚀设备及光刻胶清洗显影装置，该湿法刻蚀设备包括：壳体，壳体的外壁上设有控制面板；载液盆设于壳体内，用于盛放溶液；该载液盆的盆沿与壳体的内壁固连；超声波雾化器固设于载液盆的底部，用于将载液盆中的溶液雾化成液滴；刻蚀花篮设于载液盆的盆沿上，用于盛放被刻蚀器件；该被刻蚀器件与溶液分离；供电模块设于壳体的底部；其中，超声波雾化器与控制面板电连接；超声波雾化器、控制面板均与供电模块电连接。采用刻蚀花篮使被刻蚀器件与溶液分离，并用超声波雾化器将刻蚀液雾化，利用雾化液滴刻蚀器件，使镂空、栅格等精细复杂结构平稳释放，提供刻蚀精细复杂结构的成功率。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN111220324A
公开(公告)日：2020-06-02
申请号：CN202010074375.8
申请日：2020-01-22
Applicant: 上海应用技术大学
IPC: G01L25/00
Abstract: 本发明涉及一种MEMS微力-力矩传感器的标定装置，其特征在于，包括测试平台、设于测试平台上的纳米压痕仪、设于纳米压痕仪的放置平台上的斜面平台组件、以及与待测MEMS微力-力矩传感器连接的模数转换电路和传感器供电电源；斜面平台组件包括若干个斜面倾斜角度不同的斜面平台元件；所述的待测MEMS微力-力矩传感器为六轴传感器，包括传感器本体和与所述的传感器本体连接的立柱；所述的传感器本体固定于所述的斜面平台元件的斜面上；所述的纳米压痕仪的施力杆与所述的立柱在竖直方向上对齐。与现有技术相比，本发明具有成本低，标定精度高等优点。
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公开(公告)号：CN110887977A
公开(公告)日：2020-03-17
申请号：CN201911192786.0
申请日：2019-11-28
Applicant: 上海应用技术大学
Abstract: 本发明涉及一种纳米级压阻式加速度传感器的制备方法，所述纳米级压阻式加速度传感器包括矩形外框、设于所述矩形外框中心的质量块、与所述矩形外框的边部平行的敏感梁、与所述矩形外框的边部垂直的内支撑梁、和设于所述敏感梁上的压敏电阻；制备过程中以5层SOI硅片为基础，采用电子束光刻法直接画出压敏电阻图形，从而压敏电阻的大小缩小到了纳米级范围。与现有技术相比，本发明具有传感器体积小重量轻可靠性高等优点，为更加紧凑、轻便和高性能的三轴加速度传感器。
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公开(公告)号：CN111707844B
公开(公告)日：2022-02-11
申请号：CN202010478007.X
申请日：2020-05-29
Applicant: 上海应用技术大学
Abstract: 本发明涉及一种风速传感器，包括位于密闭空间的测速单元，所述测速单元包括位于密闭空间内的T型加热器和测温传感器；所述T型加热器为T型结构，该T型结构的横部两端分别设有两个加热电阻；所述测温传感器围绕设于所述T型结构的外侧，并且在位于所述T型结构的中间竖部两侧的位置分别设有两个测温电阻；以T型结构的中间竖部为对称轴，所述两个加热电阻呈对称放置，两个测温电阻呈对称设置。与现有技术相比，本发明具有传感器体积小、灵敏度高、实用性强等优点。
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公开(公告)号：CN110207864B
公开(公告)日：2021-09-24
申请号：CN201910527313.5
申请日：2019-06-18
Applicant: 上海应用技术大学
Abstract: 本发明涉及一种敏感膜和传力导杆一体化的微力传感器，包括固定连接的敏感膜和传力导杆，敏感膜包括基板、设于基底中心位置的中心板、连接于基板和中心板之间的悬臂梁、设于悬臂梁上的压敏电阻，基板上设有与压敏电阻位置匹配的接触孔，金属引线与压敏电阻在接触孔内形成欧姆接触，并组成惠斯登电桥；中心板一体连接传力导杆。与现有技术相比，本发明具有制备简便、成本低、测量误差小、方便安装等优点。
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公开(公告)号：CN112630465B
公开(公告)日：2023-03-28
申请号：CN202011363930.5
申请日：2020-11-27
Applicant: 上海应用技术大学
Abstract: 本发明涉及一种MEMS热式流速传感器封装装置，包括封装盖体、封装隔板和封装基体，所述封装盖体设有放置薄膜驱动模块的第一腔体，以及放置MEMS热式流速传感器芯片的第二腔体，所述封装隔板设有与第一腔体对应的薄膜，以及与第二腔体对应的芯片流体通孔，所述封装基体设有流体凹槽、流体进口通道和流体出口通道，所述流体凹槽包括薄膜接触部和芯片接触部，所述薄膜接触部连通流体出口通道，所述芯片接触部连通流体进口通道，所述流体出口通道的截面面积小于薄膜的面积，所述芯片接触部与芯片流体通孔连通，所述封装盖体、封装隔板和封装基体依次固定连接。与现有技术相比，灵敏度高、反应速度快、体积更小、均一性好，且可用于腐蚀性气体的检测。
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