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公开(公告)号：CN111252728B
公开(公告)日：2023-03-28
申请号：CN202010074417.8
申请日：2020-01-22
Applicant: 上海应用技术大学
Abstract: 本发明涉及一种MEMS压电装置的批量加工方法，MEMS压电装置包括PZT立柱和设于的PZT立柱上的Si层；该加工方法包括以下步骤：取一PZT基板和Si基板，在的Si基板上加工出定位刀口，并将PZT基板加工成固定于的Si基板上的PZT立柱；的Si基板相对位置的边部上的定位刀口的连线构成切割路径，横向和纵向的切割路径构成PZT立柱边缘形状；取一与的Si基板形状大小相同的Si晶片，在的Si晶片的边部加工出定位刀口，的Si晶片键合连接于的PZT立柱上得到中间产品，并且位于Si晶片上的定位刀口与位于Si基板的定位刀口上下对齐；通过切割工艺切割Si晶片，得到覆盖于PZT立柱上的Si层。与现有技术相比，本发明具有生产成本低、切割简单、容易批量生产等优点。
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公开(公告)号：CN113601846A
公开(公告)日：2021-11-05
申请号：CN202110804984.9
申请日：2021-07-16
Applicant: 上海应用技术大学
IPC: B29C64/393 , B29C64/264 , B29C64/227 , B29C64/135 , B29C64/20 , B06B1/06 , B33Y10/00 , B33Y30/00
Abstract: 本发明涉及一种基于DMD的压电振动式快速光固化的3D打印系统及其应用，该系统包括：盛有液态光硬化树脂(8)的成型工作池(7)，用于最终成型3D打印模型(5)；可升降的平台(6)，用于承载3D打印模型(5)；曝光设备，用于将成型工作池(7)中的液态光硬化树脂(8)固化；计算机(11)，用于向曝光设备提供3D打印数据，并用于控制3D打印系统；所述的平台(6)位于成型工作池(7)内，所述的计算机(11)与曝光设备电连接，该系统应用于3D打印。与现有技术相比，本发明具有成型速度快、加工过程简单、光源成本低的基于DMD的压电振动式快速光固化等优点。
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公开(公告)号：CN110971140B
公开(公告)日：2022-08-16
申请号：CN201911194701.2
申请日：2019-11-28
Applicant: 上海应用技术大学
Abstract: 本发明涉及一种基于MEMS的压电装置，包括PZT基板和支撑基板，PZT基板上设有布置于内圈的驱动部、布置于外圈的固定部、以及与所述驱动部和固定部连接的引线线路；所述固定部和驱动部均为PZT材料，所述支撑基板上覆盖于驱动部和固定部上，支撑基板上与所述固定部对应的位置处设有连接凸起，支撑基板上与所述驱动部对应的位置设有驱动凸起，所述连接凸起与固定部固定连接，所述驱动凸起与驱动部固定连接。与现有技术相比，本发明具有形状可变、生产成本低、容易大批量生产等优点。
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公开(公告)号：CN112564546A
公开(公告)日：2021-03-26
申请号：CN202011530916.X
申请日：2020-12-22
Applicant: 上海应用技术大学
Abstract: 本发明涉及一种设有镂空部的压电能量采集器及其制备方法，方法包括：S1：获取硅基板，对该硅基板进行清洗以及干燥处理；S2：获取PZT压电层，分别在步骤S1获取的硅基板上侧和PZT压电层的下侧镀接金属层；S3：将硅基板和PZT压电层的金属层共晶键合；S4：对PZT压电层的上侧进行研磨减薄至预设的厚度范围；S5：在硅基板的下表面进行刻蚀得到凹槽；S6：采用KrF准分子激光器在凹槽区域进行镂空处理，形成镂空部，得到最终的压电能量采集器。与现有技术相比，本发明具有工艺步骤少、加工过程简单、固有频率低、功率输出高等优点。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN111252728A
公开(公告)日：2020-06-09
申请号：CN202010074417.8
申请日：2020-01-22
Applicant: 上海应用技术大学
Abstract: 本发明涉及一种MEMS压电装置的批量加工方法，MEMS压电装置包括PZT立柱和设于的PZT立柱上的Si层；该加工方法包括以下步骤：取一PZT基板和Si基板，在的Si基板上加工出定位刀口，并将PZT基板加工成固定于的Si基板上的PZT立柱；的Si基板相对位置的边部上的定位刀口的连线构成切割路径，横向和纵向的切割路径构成PZT立柱边缘形状；取一与的Si基板形状大小相同的Si晶片，在的Si晶片的边部加工出定位刀口，的Si晶片键合连接于的PZT立柱上得到中间产品，并且位于Si晶片上的定位刀口与位于Si基板的定位刀口上下对齐；通过切割工艺切割Si晶片，得到覆盖于PZT立柱上的Si层。与现有技术相比，本发明具有生产成本低、切割简单、容易批量生产等优点。
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公开(公告)号：CN113315415A
公开(公告)日：2021-08-27
申请号：CN202110591967.1
申请日：2021-05-28
Applicant: 上海应用技术大学
IPC: H02N2/18
Abstract: 本发明涉及一种基于激光面减薄的阶梯式压电能量采集器及制备方法，阶梯式压电能量采集器包括悬臂梁，以及设于悬臂梁两端的固定装置与质量块，其中悬臂梁包括自上而下依次设置的压电层、粘结层以及金属衬底层，并且沿指向质量块的悬臂梁长度方向，压电层与金属衬底层的厚度均呈阶梯状逐渐减小。与现有技术相比，本发明通过激光设备进行阶梯减薄工艺，在传统矩形悬臂梁上释放应力，获得低频、高输出和高能量密度的阶梯式压电能量采集器件，具有制备方法简单、可控性强、兼容性好等优点，所制备的阶梯状悬臂梁具有能量密度高、谐振频率低和输出电能高等优点，具有较为广阔的应用前景。
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公开(公告)号：CN112564546B
公开(公告)日：2024-11-22
申请号：CN202011530916.X
申请日：2020-12-22
Applicant: 上海应用技术大学
Abstract: 本发明涉及一种设有镂空部的压电能量采集器及其制备方法，方法包括：S1：获取硅基板，对该硅基板进行清洗以及干燥处理；S2：获取PZT压电层，分别在步骤S1获取的硅基板上侧和PZT压电层的下侧镀接金属层；S3：将硅基板和PZT压电层的金属层共晶键合；S4：对PZT压电层的上侧进行研磨减薄至预设的厚度范围；S5：在硅基板的下表面进行刻蚀得到凹槽；S6：采用KrF准分子激光器在凹槽区域进行镂空处理，形成镂空部，得到最终的压电能量采集器。与现有技术相比，本发明具有工艺步骤少、加工过程简单、固有频率低、功率输出高等优点。
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公开(公告)号：CN113944615A
公开(公告)日：2022-01-18
申请号：CN202111249966.5
申请日：2021-10-26
Applicant: 上海应用技术大学
IPC: F04B43/04
Abstract: 本发明涉及一种一体化微压电液体泵送装置及其制造和驱动方法，泵送装置包括微压电驱动器(1)、弹性板(2)、一体化腔体(3)和止回阀(4)；所述的微压电驱动器(1)包括压电陶瓷(11)、基板(12)、电极(13)和驱动块(14)，一体化腔体(3)包括进出口流道(31)和储存室(32)；所述的弹性板(2)设置在储存室(32)上，驱动块(14)连接弹性板(2)，止回阀(4)设置在进出口流道(31)上；所述的电极(13)包括上电极(131)和下电极(132)，上电极(131)连接压电陶瓷(11)，下电极(132)连接基板(12)。与现有技术相比，本发明具有加工步骤少、结构简单、驱动力大、防漏效果好等优点。
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