薄膜晶体管及其制造方法
    43.
    发明授权

    公开(公告)号:CN101246909B

    公开(公告)日:2014-03-26

    申请号:CN200810074302.8

    申请日:2008-02-15

    CPC classification number: H01L29/7869 H01L29/78609

    Abstract: 本发明公开了一种薄膜晶体管及其制造方法,该薄膜晶体管(TFT)可以包括沟道层、源电极、漏电极、保护层、栅电极、和/或栅极绝缘层。沟道层可以包括氧化物半导体材料。源电极和漏电极可以在沟道层上方相互面对。保护层可以在源电极和漏电极下面和/或可以覆盖沟道层。栅电极可以配置为向沟道层施加电场。栅极绝缘层可以夹置在栅电极和沟道层之间。

    薄膜晶体管及其制造方法
    44.
    发明授权

    公开(公告)号:CN101304046B

    公开(公告)日:2013-03-13

    申请号:CN200810127791.9

    申请日:2008-02-05

    CPC classification number: H01L29/7869 H01L29/78696

    Abstract: 本发明公开了一种薄膜晶体管及其制造方法。具体而言,薄膜晶体管可以包括:栅绝缘层;形成在栅绝缘层上的栅电极;形成在栅绝缘层上的沟道层;以及接触沟道层的源和漏电极。沟道层可以具有包含上层和下层的双层结构。上层可以具有比下层低的载流子浓度。一种晶体管的制造方法可以包括:在衬底上形成沟道层;在衬底上形成源和漏电极;在衬底上形成栅绝缘层;以及在沟道层上方的栅绝缘层上形成栅电极。一种晶体管的制造方法可以包括:在衬底上形成栅电极;在衬底上形成栅绝缘层;在栅绝缘层上形成沟道层;以及在栅绝缘层上形成源和漏电极。

    薄膜晶体管及其制造方法
    50.
    发明公开

    公开(公告)号:CN101304046A

    公开(公告)日:2008-11-12

    申请号:CN200810127791.9

    申请日:2008-02-05

    CPC classification number: H01L29/7869 H01L29/78696

    Abstract: 本发明公开了一种薄膜晶体管及其制造方法。具体而言,薄膜晶体管可以包括:栅绝缘层;形成在栅绝缘层上的栅电极;形成在栅绝缘层上的沟道层;以及接触沟道层的源和漏电极。沟道层可以具有包含上层和下层的双层结构。上层可以具有比下层低的载流子浓度。一种晶体管的制造方法可以包括:在衬底上形成沟道层;在衬底上形成源和漏电极;在衬底上形成栅绝缘层;以及在沟道层上方的栅绝缘层上形成栅电极。一种晶体管的制造方法可以包括:在衬底上形成栅电极;在衬底上形成栅绝缘层;在栅绝缘层上形成沟道层;以及在栅绝缘层上形成源和漏电极。

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