用于形成金属氧化物薄膜的使用醇的化学气相沉积法

    公开(公告)号:CN1234907C

    公开(公告)日:2006-01-04

    申请号:CN03103568.X

    申请日:2003-01-29

    CPC classification number: C23C16/40 C23C16/45553

    Abstract: 本发明提供了一种金属氧化物薄膜的制备方法,其中通过第一反应物和第二反应物之间的化学反应产生的金属氧化物以薄膜形式沉积在基底的表面上。该方法包括将含有金属-有机化合物的第一反应物引入包括基底的反应室;以及引入含醇的第二反应物。由于将不含氧残基的醇蒸汽作为反应气用于薄膜沉积,基底或沉积层的直接氧化被沉积过程中的反应气抑制。并且,因为薄膜通过热分解作用沉积(所述热分解是由醇蒸汽和前体之间的化学反应而引起的),沉积速率很快。特别是当使用带有β-二酮配体的金属-有机化合物作为前体时,沉积速率也很快。此外,因为使用化学蒸汽沉积或原子层沉积方法使得薄膜以超微结构生长,因此得到的薄膜漏电流低。

    可变电阻存储器件
    44.
    发明授权

    公开(公告)号:CN113054100B

    公开(公告)日:2025-03-28

    申请号:CN202011549772.2

    申请日:2020-12-24

    Abstract: 公开可变电阻存储器件。可变电阻存储器件包括可变电阻层、第一导电元件和第二导电元件。可变电阻层包括包含第一金属氧化物材料的第一层和在第一层上的第二层,且第二层包括第二金属氧化物材料。第二金属氧化物材料具有与第一金属氧化物材料的金属化合价不同的金属化合价。第一导电元件和第二导电元件在可变电阻层上并且彼此分开以在可变电阻层中在与第一层和第二层堆叠的方向垂直的方向上形成电流路径。

    可变电阻存储器件
    45.
    发明公开

    公开(公告)号:CN113054100A

    公开(公告)日:2021-06-29

    申请号:CN202011549772.2

    申请日:2020-12-24

    Abstract: 公开可变电阻存储器件。可变电阻存储器件包括可变电阻层、第一导电元件和第二导电元件。可变电阻层包括包含第一金属氧化物材料的第一层和在第一层上的第二层,且第二层包括第二金属氧化物材料。第二金属氧化物材料具有与第一金属氧化物材料的金属化合价不同的金属化合价。第一导电元件和第二导电元件在可变电阻层上并且彼此分开以在可变电阻层中在与第一层和第二层堆叠的方向垂直的方向上形成电流路径。

    非易失性存储器件及其操作方法
    46.
    发明公开

    公开(公告)号:CN112309472A

    公开(公告)日:2021-02-02

    申请号:CN202010348380.3

    申请日:2020-04-28

    Abstract: 提供了一种非易失性存储器件及其操作方法。该非易失性存储器件包括具有垂直堆叠结构的存储单元阵列、用于将编程电压施加到存储单元阵列的位线以及控制逻辑。存储单元阵列包括存储单元,每个存储单元包括半导体层的对应部分和电阻层的对应部分。存储单元包括未被选择的存储单元、补偿存储单元和被选择的存储单元。控制逻辑被配置为基于将第一电压施加到补偿存储单元、将第二电压施加到被选择的存储单元以及将第三电压施加到未被选择的存储单元,将调节后的编程电压施加到被选择的存储单元。由于补偿存储单元,与编程电压相比,调节后的编程电压可以下降。

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