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公开(公告)号：CN105871350A
公开(公告)日：2016-08-17
申请号：CN201610168600.8
申请日：2016-03-22
Applicant: 电子科技大学
Abstract: 本发明属于电子科学技术领域，涉及MEMS压电谐振器，提供一种双窄支撑梁高品质因数的压电谐振器，包括振动块、输入端支撑梁、输出端支撑梁、输入端支撑台、输出端支撑台及基底，所述振动块通过支撑梁与支撑台电气连通，支撑台设置于基底上，支撑台上设置外接金属电极，所述振动块由输入端P型半导体区、N型半导体区构成，所述输入端P型半导体区位于振动块与输入端支撑梁连接处，连接振动块各区的支撑梁与振动块对应区采用相同掺杂类型，压电层部分覆盖振动块，开设缺口以部分露出输入端P型半导体区，压电层上金属电极通过过渡金属电极连接输入端P型半导体区。本发明结构能够大大减小支撑梁宽度，有效的提高谐振器的品质因数Q。
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公开(公告)号：CN104821800A
公开(公告)日：2015-08-05
申请号：CN201510206387.0
申请日：2015-04-28
Applicant: 电子科技大学
Abstract: 本发明属于微机械系统(MEMS)器件设计制造领域，提出了一种降低馈通电容影响的MEMS压电谐振器，包括差分输入/输出结构和两个MEMS压电谐振单元；其特征在于，所述两个MEMS压电谐振单元中，一个在硅基底及二氧化硅绝缘层上对应于振动块和支撑梁的位置刻蚀有空腔，另一个未开设有空腔。与传统的MEMS谐振器相比，该结构通过引入差分输入/输出结构，使两个谐振器的馈通信号在输出端实现相减进而产生抵消作用，从而实现降低馈通电容影响的作用，提高谐振器的能量转换效率，使其具有更好的选频特性，并抑制谐振器的输出杂散。
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公开(公告)号：CN104218916A
公开(公告)日：2014-12-17
申请号：CN201410436945.8
申请日：2014-08-29
Applicant: 电子科技大学
IPC: H03H9/24
Abstract: 具有LC串联谐振电路的MEMS谐振器，属于电子科学技术领域。包含振动块及其支撑锚点；输入/输出电极；输入端LC串联谐振结构；输入/输出端。输入端通过电感与输入电极相连；谐振块的支撑锚点处形成LC串联谐振电路中的电容结构。本发明提供的具有LC串联谐振电路的MEMS谐振器，在常规静电驱动电容式MEMS谐振器的输入电极前增加了有电感与电容组成的LC串联谐振电路，其串联谐振频率与振动块机械谐振频率一致。这种结构的引入提高了谐振器的实际输入电压及能量转换效率，使谐振器振动激励出更大的位移，进而使输出幅度提高，有效的改善了谐振器的输出性能。
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公开(公告)号：CN104037027A
公开(公告)日：2014-09-10
申请号：CN201410298495.0
申请日：2014-06-26
Applicant: 电子科技大学
IPC: H01H59/00
Abstract: 一种MEMS电容开关，属于电子科学技术领域。包含带绝缘层的基底，信号传输线和两侧的地电极，信号传输线表面有介质层，介质层表面具有三个金属覆盖区，两个地电极上分别具有一个固定锚点，两个固定锚点支撑起驱动电极结构；驱动电极结构为“两翼”型阶跃结构，包括中间的第一驱动电极和两翼的第二、三驱动电极，第一驱动电极两侧采用固支梁与固定锚点相连，第二、三驱动电极分别采用悬臂梁与第一驱动电极相连，第二、三驱动电极与信号传输线之间的距离大于第一驱动电极与信号传输线之间的距离；三个驱动电极的面积依次增大。本发明可实现3个工作频段，并且具有插入损耗低、隔离度高、下拉电压低的特点，可应用于射频或微波通信系统中。
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公开(公告)号：CN102857192A
公开(公告)日：2013-01-02
申请号：CN201210337607.X
申请日：2012-09-13
Applicant: 电子科技大学
Abstract: 该发明属于射频通信及微机电系统（MEMS）技术领域中的电极与振动圆盘间隙可调的微机械谐振器。包括基片、设于基片上的振动圆盘，位于振动圆盘两则的环片式交流输入、输出电极及其接头，带定位头的静电电极及位于两端面上的绝缘片，含电极杆、电极臂和弹性导向臂在内的输入、输出电极移动定位组件；该发明由于在基片上增设了带定位头的静电电极及输入、输出电极移动定位组件，从而可将输入、输出电极与振动圆盘之间工作时的间隙（即带电间隙）控制在10nm左右并不会形成楔子形间歇。因而本发明具有谐振器加工工艺的难度低，可有效减小输入、输出电极与振动圆盘之间的间隙和圆盘谐振器工作时的动态电阻，谐振器Q值高，谐振器性能好等特点。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN101694896B
公开(公告)日：2012-08-29
申请号：CN200910167957.4
申请日：2009-10-21
Applicant: 电子科技大学
Abstract: 该发明属于射频通信及微机电技术中的五位射频微机电式移相器，包含CPW信号线及其绝缘层、地线，MEMS孔板式金属梁及弹性悬臂式支撑，比例电容，直流偏置电极及绝缘层，偏置导线组成的31个MEMS开关，5个直流加载电极及连接导线，带绝缘层的基片。该发明因增设了直流偏置电极、有效避免了因MEMS金属梁自激振荡而失去移相功能的缺陷，采用孔板式金属梁及弹性悬臂式支撑、又将所需下拉的电压降至9V左右，不但实现了11.25°的小步进、5位移相，移相状态达32种，且反射损耗小、移相精度最高可达3.5°。而具有插入损耗及下拉电压低、步进幅度小，移相器位数、移相精度及可靠性高，加工工艺较简单，可与现代电子通信系统配套使用等特点。
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公开(公告)号：CN118367892A
公开(公告)日：2024-07-19
申请号：CN202310100624.X
申请日：2023-01-18
Abstract: 本申请公开了一种声表面波谐振器、其制备方法、滤波器及电子设备，该谐振器包括压电层和位于压电层表面上的叉指换能器。叉指换能器包括：第一汇流条、第二汇流条、与第一汇流条连接的多个第一电极条、以及与第二汇流条连接的多个第二电极条；多个第一电极条和多个第二电极条交替排布。谐振器还包括：位于第一汇流条表面和第二汇流条表面上的金属层，或者，位于叉指换能器表面上且覆盖叉指换能器的钝化层。金属层可以抑制第一汇流条和第二汇流条之间起振产生的杂散，钝化层可以移出第一汇流条和第二汇流条之间起振产生的杂散，以增加滤波器带内平坦度，以提高谐振器性能。
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公开(公告)号：CN117792335A
公开(公告)日：2024-03-29
申请号：CN202211157813.2
申请日：2022-09-22
Abstract: 本申请实施例公开了一种纵向耦合谐振器型滤波器、制作方法和电子设备，涉及电子技术领域，解决了由高耦合强度的压电材料构成的纵向耦合谐振器型滤波器，带内插损较大的问题。具体方案为：提供一种纵向耦合谐振器型滤波器，该滤波器包括第一谐振器、耦合结构和第二谐振器，耦合结构设置在第一谐振器上，第二谐振器设置在耦合结构上。其中，耦合结构中设置有多个过孔，该多个过孔中的任一个过孔沿第二谐振器向第一谐振器的方向设置。
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公开(公告)号：CN107640740B
公开(公告)日：2019-12-27
申请号：CN201710834957.X
申请日：2017-09-15
Applicant: 电子科技大学
IPC: B81C1/00
Abstract: 一种复合固支梁的制备方法，属于微机电系统技术领域。本发明提出了一种基于“金‑石墨烯‑金”三层复合材料形成的固支梁结构。本发明复合固支梁的制作工艺简单、成本低廉、操作可控性强，且兼具易于与CMOS电路集成的优势；运用本发明复合固支梁作为微机电系统开关，由于其相比石墨烯梁具有较小的杨氏模量和弹性系数，因而能够降低开关的驱动电压；同时，由于其相比传统金属梁具有高机械强度，因此能够解决其作为开关的可靠性问题，进而有利于其作为MEMS开关的商业化发展。
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公开(公告)号：CN110289348A
公开(公告)日：2019-09-27
申请号：CN201910331525.6
申请日：2019-04-24
Applicant: 电子科技大学
IPC: H01L35/02 , H01L35/34 , C09D11/03 , C09D11/102
Abstract: 本发明公开了一种光辅助热电器件的油墨印刷式制备方法：将粘合剂、稀释剂、N型或P型热电材料粉末进行混合，获得N型热电油墨和P型热电油墨；将N型或P型热电油墨印刷在基底上，待烘干之后，再在基底上印刷P型或N型热电油墨；将印刷热电油墨的基底进行固化后，采用导电材料将N型热电油墨和P型热电油墨串联形成热电发电单元；在热电发电单元上覆盖两种或以上的吸收率不同的吸光材料，得到最终的光辅助式热电器件。制备的光辅助热电器件，包括基底、覆盖于基底上的热电发电单元以及覆盖于热电发电单元上的光热转化单元。本发明提供了一种基于油墨印刷的光辅助式热电器件，可以同时收集光能和热能，并且具有可批量生产、成本低廉的特点。
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