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公开(公告)号：CN101356727B
公开(公告)日：2011-12-14
申请号：CN200680050852.5
申请日：2006-12-12
Applicant: 株式会社村田制作所
CPC classification number: H03H3/08 , H03H3/10 , H03H9/02818 , H03H9/1092 , Y10T29/42 , Y10T29/49156 , Y10T29/49165
Abstract: 本发明提供一种声表面波滤波器装置(1)的制造方法，包括如下工序：在压电基板(2)的一个主面(2a)形成槽(2b、2c)，并在槽(2b)中埋入金属膜形成了IDT电极之后，按照从压电基板(2)的一个主面(2a)除去压电基板(2)的一部分的方式实施加工，由此，在形成了被埋入IDT电极的具有底面的凹部(2d)之后，将盖部件(13)与压电基板(2)接合。从而，可提供不需要复杂的加工工序，且不需要准备复杂形状的盖部件等部件、廉价且可促进小型化的声表面波装置及其制造方法。
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公开(公告)号：CN102257729A
公开(公告)日：2011-11-23
申请号：CN200980150881.2
申请日：2009-11-25
Applicant: 株式会社村田制作所
CPC classification number: H03H9/02559 , H03H9/14541
Abstract: 本发明提供一种机电耦合系数(k2)大且插入损失低，并且具有高耐静电性的弹性表面波装置。在压电体(10)上形成有多根槽(10a)。IDT电极(37)的电极指(31a、31b)具有：位于槽(10a)的内部的第一电极层(21)、形成在第一电极层(21)上且位于比槽(10a)的上端面靠上侧的位置的第二电极层(22)。在弹性表面波装置(1)中，第一电极层(21)的平均密度(ρa)的3次方与第一电极层的平均刚度(C44a)之积的1/2次方(ρa3×C44a)1/2比第二电极层(22)的平均密度(ρb)的3次方与第二电极层(22)的平均刚度(C44b)之积的1/2次方(ρb3×C44b)1/2大。
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公开(公告)号：CN112470298B
公开(公告)日：2024-05-28
申请号：CN201980049523.6
申请日：2019-07-10
Applicant: 株式会社村田制作所
Abstract: MEMS器件(101)具备由压电体的单晶构成的压电层(10)、配置于压电层(10)的第一方向(91)的表面的第一电极(14)、以及配置为覆盖压电层(10)的第一方向(91)的表面的作为第一层的中间层(3)。压电层(10)的至少一部分包含在膜片部(6)中。第一电极(14)被第一层(3)覆盖且具有凹部。压电层(10)在与第一电极(14)的至少一部分对应的位置处具有贯通孔(18)，该贯通孔(1g)贯穿压电层(10)，使得将压电层(10)的与第一方向(91)相反的一侧即第二方向(92)的表面与所述凹部连结。
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公开(公告)号：CN117083800A
公开(公告)日：2023-11-17
申请号：CN202280025224.0
申请日：2022-03-25
Applicant: 株式会社村田制作所
IPC: H03H9/25
Abstract: 本公开的弹性波装置具备包括在第一方向上具有厚度方向的支承基板的支承构件、设置在所述支承构件上的压电层以及分别具有设置于所述压电层的功能电极的多个谐振器，在所述支承构件，在沿所述第一方向俯视时与所述多个谐振器各自的至少一部分重叠的位置设置有空洞部，所述多个谐振器包括相邻配置的第一谐振器和第二谐振器，在所述压电层的所述第一谐振器与所述第二谐振器之间设置有到达所述空洞部的贯通孔。
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公开(公告)号：CN117044105A
公开(公告)日：2023-11-10
申请号：CN202280018297.7
申请日：2022-03-01
Applicant: 株式会社村田制作所
Inventor： 木村哲也
IPC: H03H9/25
Abstract: 提高Q值。弹性波装置具备：支承构件，在第一方向上具有厚度；压电层，设置于所述支承构件的所述第一方向；及IDT电极，设置于所述压电层的所述第一方向，具有沿着与所述第一方向正交的第二方向延伸的多个第一电极指、连接有所述多个第一电极指的第一汇流条电极、在与所述第二方向正交的第三方向上与所述多个第一电极指中的任意一个对置且沿所述第二方向延伸的多个第二电极指、及连接有所述多个第二电极指的第二汇流条电极，在所述支承构件的所述压电层侧，在沿所述第一方向俯视时至少一部分与所述IDT电极重叠的位置设置有空洞部，在所述压电层设置有在沿所述第一方向俯视时贯穿至少一个第一电极指与所述第二汇流条电极之间的区域的所述压电层的至少一个第一贯通孔，所述第一贯通孔与所述空洞部连通，在沿所述第一方向俯视时，与所述至少一个第一电极指的未与所述第一汇流条电极连接的一侧的端部重叠。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN110114977B
公开(公告)日：2023-11-10
申请号：CN201780080765.2
申请日：2017-10-13
Applicant: 株式会社村田制作所
Inventor： 木村哲也
Abstract: 提供一种频带高的带通型滤波器的滤波器特性不易由于频带低的带通型滤波器的影响而劣化的多工器。多工器具备：公共端子；第1带通型滤波器，与公共端子连接，具有第1通带；和第2带通型滤波器，与公共端子连接，具有频率比第1通带高的第2通带，第1带通型滤波器具有弹性波装置(11)，弹性波装置(11)具备：支承基板(12)；压电体(13)，层叠在支承基板(12)上；和IDT电极(14)，设置在压电体(13)上，压电体(13)为铌酸锂，弹性波装置(11)利用了瑞利波。
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公开(公告)号：CN116530011A
公开(公告)日：2023-08-01
申请号：CN202180075665.7
申请日：2021-11-09
Applicant: 株式会社村田制作所
Inventor： 木村哲也
IPC: H03H9/145
Abstract: 提供一种弹性波装置，能够得到良好的谐振特性。本发明的弹性波装置是连接在具有第1、第2信号端(12A、12B)的滤波器装置(10)的第1、第2信号端(12A、12B)之间的弹性波装置，具备：支承构件；压电层(17)，设置在支承构件上，具有作为晶轴的X轴、Y轴及Z轴且包括Z切割的铌酸锂；及IDT电极。IDT电极具有多个第1、第2电极指。在将压电层(17)的厚度设为d并将相邻的第1、第2电极指的中心间距离设为p的情况下，d/p为0.5以下。在将通过连结多个第1电极指的前端而形成的假想线设为包络线时，包络线延伸的方向和Y轴的方向交叉，将包络线延伸的方向和Y轴的方向所成的角的角度且0°以外的角度设为倾斜角α，将倾斜角α的绝对值设为|α|时，9°≤|α|≤14°。
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公开(公告)号：CN116438740A
公开(公告)日：2023-07-14
申请号：CN202180075923.1
申请日：2021-11-11
Applicant: 株式会社村田制作所
IPC: H03H9/25
Abstract: 抑制压电层的裂纹产生。弹性波装置具备：支承基板，其在第1方向上具有厚度；压电层，其设置在所述支承基板的所述第1方向；IDT电极，其设置在所述压电层的所述第1方向，具有多个第1电极指和多个第2电极指，所述多个第1电极指在与所述第1方向交叉的第2方向上延伸，所述多个第2电极指在与所述第2方向正交的第3方向上与所述多个第1电极指的任一个对置，并且在所述第2方向上延伸；以及加强膜，其设置在所述压电层的所述第1方向，在所述支承基板和所述压电层之间，在至少一部分在所述第1方向上与所述IDT电极重叠的位置，设置有空洞部，在相对于所述IDT电极在所述第3方向上不与所述IDT电极重叠的位置，具有贯穿所述压电层的至少一个贯通孔，所述贯通孔与所述空洞部连通，所述加强膜的至少一部分在所述第1方向上与所述空洞部重叠。
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公开(公告)号：CN114424458A
公开(公告)日：2022-04-29
申请号：CN202080066157.8
申请日：2020-09-25
Applicant: 株式会社村田制作所
Abstract: 即便在推进了小型化的情况下也能够提高Q值，并且能够实现小型化。弹性波装置还具备压电体层(4)、第一电极(51)和第二电极(52)、第一分割谐振器(RS3)和第二分割谐振器(RS4)以及支承基板(2)。支承基板(2)具有第一能量封闭层和第二能量封闭层。第一能量封闭层与压电体层(4)的第一区域(451)的至少一部分重叠。第二能量封闭层与压电体层(4)的第二区域(452)的至少一部分重叠。在支承基板(2)中，第一能量封闭层和第二能量封闭层被一体形成。
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公开(公告)号：CN107925396B
公开(公告)日：2021-06-18
申请号：CN201680048608.9
申请日：2016-06-22
Applicant: 株式会社村田制作所
Abstract: 本发明提供一种利用了板波的S0模式的弹性波装置，其中，即使电极膜厚变化，也不易产生声速、频率特性的偏差。在压电薄膜(5)的第一主面(5a)上设置有具有多根电极指的IDT电极(6)。在压电薄膜(5)的第二主面(5b)上设置有导电层(8)。在弹性波装置(1)中，在压电薄膜(5)中传播的弹性波为板波的S0模式，处于所述IDT电极(6)的电极指间下方的区域的压电薄膜(5)部分比电极指以及处于电极指下方的区域的压电薄膜(5)部分变化得大。
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