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公开(公告)号：CN101226856A
公开(公告)日：2008-07-23
申请号：CN200810001293.X
申请日：2008-01-17
Applicant: 富士通株式会社
CPC classification number: H01H57/00 , H01H59/0009 , H01H61/04 , H01H2057/006 , H01H2061/006 , Y10T29/49105
Abstract: 一种微开关器件及其制造方法，所述微开关器件包括：固定部；可移动部；第一电极，具有第一触点和第二触点；第二电极，具有与第一触点相接触的第三触点；以及第三电极，具有与第二触点相对的第四触点。在制造微开关器件的过程中，在衬底上形成第一电极，再在衬底上形成牺牲层以覆盖第一电极。然后，在牺牲层中对应于第一电极的位置形成第一凹部和较浅的第二凹部。形成第二电极，第二电极具有经由牺牲层与第一电极相对的部分并且填充第一凹部。形成第三电极，第三电极具有经由牺牲层与第一电极相对的部分并且填充第二凹部。然后去除牺牲层。
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公开(公告)号：CN101224865A
公开(公告)日：2008-07-23
申请号：CN200710196910.1
申请日：2007-12-06
Applicant: 富士通株式会社
CPC classification number: H01H59/0009 , H01H2059/0081 , Y10T29/49105
Abstract: 一种微开关器件及其制造方法，所述微开关器件包括：基部衬底；位于衬底上的固定件；可移动部件，具有固定到固定件的端部，并且沿着衬底延伸；可移动接触电极，设置在可移动部件上并且背对衬底；固接接触电极对，接合到固定件，并且包括面对可移动接触电极的区域；可移动驱动器电极，设置在可移动部件上背对衬底的表面上，并位于可移动接触电极与固接端之间；以及固接驱动器电极，接合到固定件，并且包括具有面对可移动驱动器电极的区域的增高部分。增高部分具有面对可移动驱动器电极的台阶，其中距可移动接触电极越远的台阶越靠近衬底。本发明所提供的微开关器件可以有效降低其驱动电压。
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公开(公告)号：CN1988080A
公开(公告)日：2007-06-27
申请号：CN200610144641.X
申请日：2006-11-09
Applicant: 富士通株式会社
Abstract: 一种电子元件，包括衬底以及位于该衬底上的电容器单元。该电容器单元具有层叠结构，该层叠结构包括设置在该衬底上的第一电极层、与该第一电极层相对的第二电极层以及位于该第一电极层与该第二电极层之间的电介质层。该第一电极层具有多层结构，该多层结构包括与该电介质层接合的粘合金属层。该粘合金属层在该电介质层一侧设置有氧化物涂层。
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公开(公告)号：CN1831579A
公开(公告)日：2006-09-13
申请号：CN200610059745.0
申请日：2006-03-06
Applicant: 富士通株式会社
IPC: G02B26/08 , H01L29/84 , G01P15/125 , G03F7/20 , H01L21/027
CPC classification number: B81C1/00547 , B81B2201/033
Abstract: 本发明提供梳齿电极对的制造方法。该方法由材料衬底制造一对梳齿电极，该材料衬底包括第一导电层、第二导电层以及位于第一导电层与第二导电层之间的绝缘层。该对梳齿电极包括第一梳齿电极和第二梳齿电极。第一梳齿电极包括由第一导电层得到的第一导体、由第二导电层得到的第二导体以及由绝缘层得到的绝缘体。第二梳齿电极由第二导电层得到。
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公开(公告)号：CN1782778A
公开(公告)日：2006-06-07
申请号：CN200510125068.3
申请日：2005-11-17
Applicant: 富士通株式会社
CPC classification number: G02B26/0841
Abstract: 本发明提供一种微振荡元件，其由材料衬底一体地形成，该材料衬底由第一导电层、第二导电层以及置于第一导电层和第二导电层之间的绝缘层制成。该微振荡元件包括：振荡部件、振荡部件支撑框架以及扭转接合部件。该振荡部件包括可移动操作部件。该扭转接合部件将该振荡部件与该框架接合，还限定用于该振荡部件作振荡运动的振荡轴。该可移动操作部件是形成在该第一导电层中的一部分，而该框架是形成在该第二导电层中的一部分。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN1685270A
公开(公告)日：2005-10-19
申请号：CN02829744.X
申请日：2002-10-10
Applicant: 富士通株式会社 , 富士通媒体部品株式会社
IPC: G02B26/08
CPC classification number: G02B26/0841 , G02B26/085 , H02N1/008
Abstract: 一种微型可动元件(X1)，具有在材料基板上一体成形的可动部(111)、框架(112)、和连接可动部与框架的连接部(113)，所述材料基板具有由含有中心导体层(110b)的多个导体层(110a～110c)和夹在导体层(110a～110c)间的绝缘层(110d、110e)构成的叠层结构。可动部(111)包含来源于中心导体层(110b)的第一结构体。框架(112)包含来源于中心导体层(110b)的第二结构体。连接部(113)包含多个扭杆(113a、113b)，该多个扭杆(113a、113b)来源于中心导体层(110b)，相对于第一结构体和第二结构体而连续连接，且相互电分离。
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公开(公告)号：CN1650214A
公开(公告)日：2005-08-03
申请号：CN02829427.0
申请日：2002-08-14
Applicant: 富士通株式会社
CPC classification number: G02B26/0841 , B81B3/007 , B81B2201/0235 , B81B2201/033 , B81B2201/042 , B81B2203/0109 , B81B2203/0154 , B81B2203/058
Abstract: 一种微型摇动元件，具有框架(113)和通过连结部(112)与该框架(113)连结的摇动部件(111)。各连结部(112)包含2个扭杆(112a)，各扭杆(112a)形成多个孔(112b)，由此，按照朝向框架(113)刚性相对高、且朝向摇动部件(111)刚性相对低的方式构成。
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公开(公告)号：CN1580862A
公开(公告)日：2005-02-16
申请号：CN200410028717.3
申请日：2004-03-15
Applicant: 富士通株式会社 , 富士通媒体部品株式会社
CPC classification number: G02B26/0841
Abstract: 微型振荡元件包括振荡部分和框架。振荡部分设有镜面并通过梯形的第一和第二弹簧与框架相连。振荡部分位于第一弹簧和第二弹簧之间。第一弹簧和第二弹簧的每一个都可随振荡部分的振荡发生形变。
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公开(公告)号：CN103843089A
公开(公告)日：2014-06-04
申请号：CN201180073760.X
申请日：2011-10-19
Applicant: 富士通株式会社
CPC classification number: H01L28/60 , H01G5/16 , H01G5/18 , H01H59/0009 , H01H2001/0078 , H01H2059/0045 , H01H2059/0072 , H01L21/6835 , H01L21/687 , H02N1/006
Abstract: 提供能够抑制因热膨胀而引起的可动电极位移的可动电气设备。可动电气设备具有：支撑衬底；第一以及第二固定电极，其形成于支撑衬底上，具有相对于支撑衬底的表面大致垂直的相向电极面，在相向电极面之间划定内腔；可动部，其具有可动电极和弯曲弹簧部，可动电极的第一端接近第一固定电极，第二端接近第二固定电极，弯曲弹簧部与可动电极的第一端、第二端的至少一方连续，且包含向可动电极的厚度方向弯曲的部分；第一、第二固定件，其配置在支撑衬底上，支撑可动部的两端。
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公开(公告)号：CN102074352B
公开(公告)日：2013-01-02
申请号：CN201010537486.4
申请日：2010-11-08
Applicant: 富士通株式会社
CPC classification number: H01P1/2039 , H01P3/081
Abstract: 本发明涉及可变分布常数线路、可变滤波器及通信模块，可变分布常数线路包括衬底；信号线路，其设置在该衬底上，且包括彼此面对的第一线路部分和第二线路部分；可移动电极，其设置在该衬底上方，且以面向第一线路部分和第二线路部分的方式横跨第一线路部分和第二线路部分；以及驱动电极，其以面向该可移动电极的方式设置在该衬底上，通过施加在该驱动电极和该可移动电极之间的电压作用吸引该可移动电极，且改变该信号线路和该可移动电极之间的距离。
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