一种基于DSP实现的主动隔振速度传感器低频补偿方法

    公开(公告)号:CN117686743A

    公开(公告)日:2024-03-12

    申请号:CN202311605346.X

    申请日:2023-11-29

    Abstract: 本发明提出一种基于DSP实现的主动隔振速度传感器低频补偿方法,该方法首先对传感器进行参数辨识,获取其准确参数;之后在模拟域中为传感器设计补偿网络;由于DSP为数字系统,故需对模拟域的补偿网络进行离散化以得到其在离散域下的传递函数;最后在DSP中实现该离散域传递函数,进而实现对传感器低频响应的补偿。该方法基于DSP数字系统实现,其系统参数可以通过编程改变,灵活性强;且相较于由运放、电阻电容等器件构成的模拟扩频电路有更强的抗干扰性和更小的参数误差。这种基于DSP实现的低频补偿方法可以在多种场合中替代模拟扩频电路对磁电式速度传感器进行低频响应补偿。

    一种分体式隔振系统时滞最优控制设计方法

    公开(公告)号:CN117555363A

    公开(公告)日:2024-02-13

    申请号:CN202311316021.X

    申请日:2023-10-12

    Abstract: 本发明提出一种分体式隔振系统时滞最优控制设计方法,所述方法包括以下步骤:建立本发明中分体式隔振系统动力学模型,推导出分体式隔振系统的状态空间方程;将时间滞后引入状态方程,更新分体式隔振系统的状态方程;根据最优二次型算法的目标函数和隔振系统的控制目标分配权重矩阵Q,R;根据权重矩阵Q,R并结合分体式隔振系统的状态空间方程推导出时滞最优控制器的控制力模型,将控制力代入到控制回路中得到完整的时滞最优控制器,并通过优化主动时滞的值以获得更优的控制效果。从而改善超分体式隔振系统的主动控制性能,该方法低成本,简单易用,有效提升分体式隔振系统的隔振能。

    一种六自由度地基激振台
    33.
    发明公开

    公开(公告)号:CN116839845A

    公开(公告)日:2023-10-03

    申请号:CN202310692905.9

    申请日:2023-06-13

    Abstract: 本发明提出一种六自由度地基激振台,属于振动试验机技术领域。优化了现有地基激振设备因为平台固有频率低导致激振频带较窄的问题。一种六自由度地基激振台包括大理石平台支撑框架,通过垫板固定安装在混凝土地面上;大理石平台,是被激励装置,居于支撑框架中间,平台四侧通过连接板与固连在支撑结构上的电机相连。通过电机出力并联解决了激励不足的情况、优化大理石平台及支撑框架的结构提高了各部分的固有频率,保证了激振频带内可控。

    一种大型激振平台的支撑结构设计方法

    公开(公告)号:CN116738609A

    公开(公告)日:2023-09-12

    申请号:CN202310652731.3

    申请日:2023-06-05

    Abstract: 本发明提出一种大型激振平台的支撑结构设计方法,本发明通过框架尺寸设计匹配激振平台尺寸、选材以保证结构的刚度、有限元仿真验证支撑结构的固有频率和应力变形、框架结构分解以方便加工运输和组装、优化结构参数以提高结构的稳定性和刚度。采用本发明提出方法设计的支撑结构稳定性强、结构简明、固有频率高、安装简单,采用焊接以及螺纹连接的方式组装,并在重要部位采用加固板进行加固,保证了结构的刚度和强度。

    一种低频隔振系统的模型预测控制器设计方法

    公开(公告)号:CN119087800A

    公开(公告)日:2024-12-06

    申请号:CN202411091996.1

    申请日:2024-08-09

    Abstract: 一种低频隔振系统的模型预测控制器设计方法,它涉及一种模型预测控制器设计方法。本发明为了解决低频气浮隔振系统的振动隔离效果较差的问题。本发明具体包括:建立本发明中低频隔振系统的动力学方程;推导出隔振系统的状态空间方程;确定模型预测区间,推导出任意时刻预测区间的状态空间方程;定义二次型性能指标;将性能指标转化为二次型规划的标准形式;求解最优控制序列。本发明属于低频隔振系统技术领域。

    一种超低频气浮隔振系统的自抗扰反馈控制器设计方法

    公开(公告)号:CN119087779A

    公开(公告)日:2024-12-06

    申请号:CN202411061774.5

    申请日:2024-08-05

    Abstract: 本发明提出一种超低频气浮隔振系统的自抗扰反馈控制器设计方法,所述方法包括以下步骤:建立本发明中超低频气浮隔振系统的动力学方程;推导出隔振系统的状态空间方程;设计基于状态空间的状态观测器来估计总扰动;将状态空间观测器表示为线性扩展状态观测器;将观测器补偿后的模型简化为单位增益双积分器;针对简化后的模型设计比例微分控制器。本方法不依赖于准确的系统参数,因为其具有线性扩展状态观测器,从而具有更强的抗干扰能力。同时该方法简单易用,有效提高了超低频气浮隔振系统的振动隔离效果。

    一种气浮式大负载低刚度隔振结构及设计方法

    公开(公告)号:CN119084510A

    公开(公告)日:2024-12-06

    申请号:CN202411064409.X

    申请日:2024-08-05

    Abstract: 一种气浮式大负载低刚度隔振结构及设计方法,本发明为解决在超精密加工、航空航天技术以及微电子制造中,如何有效的控制和隔离微小振动的问题,本发明包括隔振器上板、隔振器下板、隔振器内腔,所述隔振器内腔位于隔振器上板和隔振器下板之间,且隔振器内腔的上端通过转动件与隔振器上板的下表面中部连接。本发明综合利用气浮支承和空气弹簧的优点,在垂向上兼顾大负载和低刚度的特点,在径向上达到零刚度,具有极高的被动隔振价值;兼顾负载能力大、刚度极低、隔振效高的优点,能满足大负载系统的隔振需求。本发明属于精密仪器振动隔离控制技术领域。

    一种多自由度准零刚度气浮弹簧主动隔振装置

    公开(公告)号:CN119062706A

    公开(公告)日:2024-12-03

    申请号:CN202411064203.7

    申请日:2024-08-05

    Abstract: 一种多自由度准零刚度气浮弹簧主动隔振装置,本发明为解决在超精密加工过程中,如何有效隔离振动的问题,本发明包括隔振器上板、隔振器下板、隔振器气腔、主动减振单元和隔振器气腔安装在隔振器上板和隔振器下板之间,隔振器气腔的一侧设有主动减振单元。本发明保证垂向低刚度,水平向准零刚度特点,垂向还可以通过外加气室减小刚度。主动减振单元部分主要包含一个水平电机和垂向电机,可以实现两个方向的主动控制。由三台及以上此隔振装置还可以组装成一个六自由度零刚度的主动隔振系统。兼顾负载能力大、刚度极低、隔振效高的优点,能满足光刻系统的隔振需求。本发明属于精密仪器振动隔离控制技术领域。

    基于相位预测校正的磁电式速度传感器温度误差补偿方法

    公开(公告)号:CN118960938A

    公开(公告)日:2024-11-15

    申请号:CN202411134004.9

    申请日:2024-08-19

    Abstract: 本发明提出一种磁电式速度传感器温度误差补偿方法。本发明为了解决温度变化会影响传感器的测量精度,进而影响主动各镇系统振动抑制效果的问题。本发明通过相位预测校正算法实现对磁电式速度传感器温度误差的补偿,相位预测矫正算法包括序列预测器、相位校正器和幅值校正器序列预测器的输入为传感器温度、信号频率和信号幅值,序列预测器根据当时时间之间的序列预测当前时间之后的序列;相位校正器根据所预测的序列计算与参考信号同相位的电压信号;幅值校正器用于对传感器的灵敏度进行修正,幅值校正器基于温度和灵敏度数据,建立温度对灵敏度的补偿网络。

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