-
公开(公告)号：CN119651111A
公开(公告)日：2025-03-18
申请号：CN202411593407.X
申请日：2024-11-08
Applicant: 北京烁科中科信电子装备有限公司
IPC: H01P7/10 , H01J37/317
Abstract: 本发明公开了一种高能离子注入机射频谐振器，包括：壳体、电感线圈、耦合环和同轴馈通；电感线圈呈螺旋状设置在壳体内，电感线圈底部贯穿壳体底部后密封延伸至真空加速腔室内，电感线圈顶部贯穿壳体顶部；同轴馈通包括内导体和外导体，耦合环的一端与内导体端部连接，另一端与外导体端部连接；当同轴馈通贯穿安装在壳体顶部后，内导体、外导体和耦合环均位于壳体内部，且耦合环与电感线圈之间存在间隙；通过旋转同轴馈通，以带动耦合环旋转，进而实现对射频谐振器与外部电路之间耦合度的调节，且调节过程中耦合环与电感线圈互不干涉。本发明具有结构紧凑、稳定性高且调节灵活性高等特点，弥补了现有技术中调节耦合度操作复杂且耗时较长的缺陷。
-
公开(公告)号：CN119519392A
公开(公告)日：2025-02-25
申请号：CN202411502892.5
申请日：2024-10-25
Applicant: 北京烁科中科信电子装备有限公司
Abstract: 本发明公开了一种用于离子注入机的具有双向能量控制特性的高压直流电源，包括电压源、电流源和限流单元；所述电流源与限流单元串联后，整体再与电压源并联以对外输出。本发明的具有双向能量控制特性的高压直流电源，能够有效的通过电源内部的限流电阻设计，从而使得电源具有双向电流输出能力，能够实现输出能量和吸收能量的双向功能特性；本发明可以灵活设定电流源电流或电压源电压；电流源可以根据需要外部受控调节电流；电压源可以根据需要外部受控调节电压。
-
公开(公告)号：CN119322202A
公开(公告)日：2025-01-17
申请号：CN202411271895.2
申请日：2024-09-11
Applicant: 北京烁科中科信电子装备有限公司
IPC: G01R27/02
Abstract: 本发明公开了一种离子注入机线圈电阻率的非接触式测量系统及方法，系统包括控制单元、磁场检测单元和感应线圈单元；所述控制单元分别与所述磁场检测单元、感应线圈单元和待测线圈相连；所述磁场检测单元用于检测待测线圈产生的磁场信号，并发送至控制单元；所述感应线圈单元用于产生与待测线圈相对应的感应电动势，并发送至控制单元；所述控制单元用于接收磁场检测单元的磁场信号和感应线圈单元的感应电动势以计算得到线圈电阻率。本发明具有测量精准等优点。
-
公开(公告)号：CN118884289A
公开(公告)日：2024-11-01
申请号：CN202410803494.0
申请日：2024-06-20
Applicant: 北京烁科中科信电子装备有限公司
Abstract: 本发明公开了一种离子注入机的高压电源间隙放电测试装置，包括间隙放电组件、间隙控制驱动机构、放电控制器和待测高压电源；所述间隙放电组件包括高压电位引出电极和地电位引出电极，所述高压电位引出电极与所述地电位引出电极之间平行布置，所述高压电位引出电极与待测高压电源相连；所述放电控制器与所述间隙控制驱动机构相连，用于控制所述间隙控制驱动机构来调整高压电位引出电极与所述地电位引出电极之间的放电间隙距离；所述放电控制器与待测高压电源相连，用于控制所述待测高压电源输出目标电压并检测高压电源的状态信息。本发明具有结构简单、操作简便等优点。
-
公开(公告)号：CN118553672A
公开(公告)日：2024-08-27
申请号：CN202410506269.0
申请日：2024-04-25
Applicant: 北京烁科中科信电子装备有限公司
IPC: H01L21/683 , H01L21/67
Abstract: 本发明的一种低温静电吸盘，吸附基板上设有吸附电极层，吸附电极层上设有介电层，吸附电极层中设有六相吸附电极，以实现承载物被吸附在介电层上，介电层与承载物之间形成气密空间；吸附基板与冷却基座连接，吸附基板与冷却基座之间设有导电垫圈，吸附基板的圆周面设有导电环，导电垫圈分别与导电环和冷却基座导通，冷却基座连接地线，以导走吸附基板上无用或有害的电荷；冷却基座与外部设备连接，以实现吸盘安装固定；冷却基座中设有冷却组件和背气组件，当静电吸盘在常温或是超低温条件下使用时，冷却组件和背气组件将发挥不同的作用。本发明具有结构紧凑、拆装便捷、温度均匀性高等特点，在低温使用时，降温速率高，还可兼容常温静电吸盘使用。
-
Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN118486573A
公开(公告)日：2024-08-13
申请号：CN202410632831.4
申请日：2024-05-21
Applicant: 北京烁科中科信电子装备有限公司
IPC: H01J37/05 , H01J37/317
Abstract: 本发明公开了一种用于离子注入机的一价离子过滤装置及离子注入机，过滤装置包括真空腔体，所述真空腔体上设有束流入口，所述束流入口与离子注入机中质量分析器的出口对接，所述真空腔体内部设有膜片透镜组件，所述膜片透镜组件包括过滤电极组件，用于抑制束流中一价离子通过。本发明具有结构简单、操作简便、避免一价离子的能量污染等优点。
-
公开(公告)号：CN117976602A
公开(公告)日：2024-05-03
申请号：CN202410019471.0
申请日：2024-01-05
Applicant: 北京烁科中科信电子装备有限公司
IPC: H01L21/683 , H01L21/67
Abstract: 本发明公开一种高温静电吸盘，包括：加热线圈组件、电极吸附组件、测温组件以及由上至下依次重叠的陶瓷基体、隔热板和水冷基座，当高温静电吸盘处于工作状态时，陶瓷基体处于真空环境，水冷基座处于标准大气压环境；陶瓷基体顶部设有介质层，介质层与承载物接触；电极吸附组件、加热线圈组件和测温组件由上至下依次设置在陶瓷基体内，电极吸附组件与标准大气压环境内的六相电源连接，以实现高温静电吸盘产生吸附力；加热线圈单元与标准大气压环境内的加热控制器连接，以实现高温静电吸盘加热升温；测温组件与标准大气压环境内的温控器连接，以实时监测高温静电吸盘的温度。本发明具有结构紧凑、拆装便捷、稳定可靠、功能全面等优点。
-
公开(公告)号：CN117913015A
公开(公告)日：2024-04-19
申请号：CN202311755478.0
申请日：2023-12-19
Applicant: 北京烁科中科信电子装备有限公司
IPC: H01L21/683 , H01L21/67 , H05B6/36 , H05B6/42
Abstract: 本发明公开一种利用线圈加热的高温静电吸盘，包括：加热线圈单元，以及依次重叠的陶瓷基板、隔热板和水冷基座，当高温静电吸盘处于工作状态时，陶瓷基板处于真空环境，水冷基座处于标准大气压环境；加热线圈单元包括线圈组件和引出组件，线圈组件烧结在陶瓷基板内，引出组件贯穿在隔热板和水冷基座中，且引出组件的一端与线圈组件连接，引出组件的另一端与标准大气压环境内的加热电源连接，以实现对线圈组件供电，进而实现高温静电吸盘升温加热。本发明具有结构紧凑、拆装便捷、稳定可靠、加热均匀性高等优点，不仅提高了高温静电吸盘加热线圈引出触点接触的稳定性，还有效解决了线缆及接头从高真空引入到标准大气压环境的连接问题。
-
公开(公告)号：CN115932933A
公开(公告)日：2023-04-07
申请号：CN202211686637.1
申请日：2022-12-27
Applicant: 北京烁科中科信电子装备有限公司
IPC: G01T1/29
Abstract: 本发明公开了一种带电粒子束流测量装置，包括盒体，所述盒体的一个端面为石墨挡板，所述盒体的另一个端面为背板；所述盒体内依次设置有一个以上的反射电极计量杯、连接板及一个终端检测计量杯，所述反射电极计量杯靠近石墨挡板，所述终端检测计量杯靠近背板；所述连接板上的槽内设有绝缘块，所述绝缘块内设有石墨。本发明具有结构简单、制作简便、易拆装等优点。
-
公开(公告)号：CN222600949U
公开(公告)日：2025-03-11
申请号：CN202421292178.3
申请日：2024-06-06
Applicant: 北京烁科中科信电子装备有限公司
IPC: H01L21/677 , B25J11/00 , B25J15/08 , H01L21/68
Abstract: 本实用新型公开了一种用于晶圆传输的机械手装置，包括：机械手指、固定模块和机械臂；所述机械手指通过固定模块与机械臂连接，机械手指用于承载晶圆；机械手指上均布有多个防滑垫，所述防滑垫用于提供摩擦力，以防止晶圆滑动；所述固定模块上设有调平组件，所述调平组件用于实现机械手指进行水平校准。本实用新型具有结构紧凑、体积小巧、稳定性高等特点，弥补了现有技术中夹持式、真空吸附等机械手指的使用空间的局限性。
-
-
-
-
-
-
-
-
-
Search Results
47
records
(took 0.045 seconds)
