一种高能离子注入机射频谐振器
    3.
    发明公开

    公开(公告)号:CN119651111A

    公开(公告)日:2025-03-18

    申请号:CN202411593407.X

    申请日:2024-11-08

    Abstract: 本发明公开了一种高能离子注入机射频谐振器,包括:壳体、电感线圈、耦合环和同轴馈通;电感线圈呈螺旋状设置在壳体内,电感线圈底部贯穿壳体底部后密封延伸至真空加速腔室内,电感线圈顶部贯穿壳体顶部;同轴馈通包括内导体和外导体,耦合环的一端与内导体端部连接,另一端与外导体端部连接;当同轴馈通贯穿安装在壳体顶部后,内导体、外导体和耦合环均位于壳体内部,且耦合环与电感线圈之间存在间隙;通过旋转同轴馈通,以带动耦合环旋转,进而实现对射频谐振器与外部电路之间耦合度的调节,且调节过程中耦合环与电感线圈互不干涉。本发明具有结构紧凑、稳定性高且调节灵活性高等特点,弥补了现有技术中调节耦合度操作复杂且耗时较长的缺陷。

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