公开(公告)号：CN119885821A

公开(公告)日：2025-04-25

申请号：CN202411728246.0

申请日：2024-11-28

Applicant: 北京烁科中科信电子装备有限公司

Inventor： 贾永智 ,  朱婉莹 ,  张兆龙 ,  李进 ,  肖鸿超 ,  张腾龙 ,  王新宇

IPC: G06F30/27 ,  G06F18/214 ,  G06N3/092 ,  H01J37/302 ,  G06F113/08 ,  G06F119/14 ,  G06F111/04

Abstract: 本发明公开一种高能离子注入机射频段四极透镜联合调控方法及装置，该方法步骤包括：获取高能离子注入机运动过程中的各类运行参数，分类为强化学习所需的参数并构建为训练数据集；使用训练数据集采用Actor‑Critic架构训练强化学习模型，在训练过程中，根据传输效率调整各个四极透镜的设置电压，并在调整过程中将动作参数及其变化量输入至Actor网络获得状态函数，训练完成后得到使得传输效率最高的强化学习智能体；实时获取被控高能离子注入机的各个四极透镜的回读电流以及传输效率，输入至训练获得的强化学习智能体。本发明具有实现方法简单、成本低、调控效率以及精度高且可迁移性强等优点。