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公开(公告)号：CN222600949U
公开(公告)日：2025-03-11
申请号：CN202421292178.3
申请日：2024-06-06
Applicant: 北京烁科中科信电子装备有限公司
IPC: H01L21/677 , B25J11/00 , B25J15/08 , H01L21/68
Abstract: 本实用新型公开了一种用于晶圆传输的机械手装置，包括：机械手指、固定模块和机械臂；所述机械手指通过固定模块与机械臂连接，机械手指用于承载晶圆；机械手指上均布有多个防滑垫，所述防滑垫用于提供摩擦力，以防止晶圆滑动；所述固定模块上设有调平组件，所述调平组件用于实现机械手指进行水平校准。本实用新型具有结构紧凑、体积小巧、稳定性高等特点，弥补了现有技术中夹持式、真空吸附等机械手指的使用空间的局限性。
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