公开(公告)号：CN117913015A

公开(公告)日：2024-04-19

申请号：CN202311755478.0

申请日：2023-12-19

Applicant: 北京烁科中科信电子装备有限公司

Inventor： 刘瑞强 ,  赵官源 ,  喻晓 ,  李亚明 ,  苏永飞 ,  李进 ,  李士会

IPC: H01L21/683 ,  H01L21/67 ,  H05B6/36 ,  H05B6/42

Abstract: 本发明公开一种利用线圈加热的高温静电吸盘，包括：加热线圈单元，以及依次重叠的陶瓷基板、隔热板和水冷基座，当高温静电吸盘处于工作状态时，陶瓷基板处于真空环境，水冷基座处于标准大气压环境；加热线圈单元包括线圈组件和引出组件，线圈组件烧结在陶瓷基板内，引出组件贯穿在隔热板和水冷基座中，且引出组件的一端与线圈组件连接，引出组件的另一端与标准大气压环境内的加热电源连接，以实现对线圈组件供电，进而实现高温静电吸盘升温加热。本发明具有结构紧凑、拆装便捷、稳定可靠、加热均匀性高等优点，不仅提高了高温静电吸盘加热线圈引出触点接触的稳定性，还有效解决了线缆及接头从高真空引入到标准大气压环境的连接问题。

公开(公告)号：CN222600949U

公开(公告)日：2025-03-11

申请号：CN202421292178.3

申请日：2024-06-06

Applicant: 北京烁科中科信电子装备有限公司

Inventor： 孙丁丁 ,  李亚明 ,  李进 ,  王银 ,  明瑞 ,  宋超亮 ,  陈磊

IPC: H01L21/677 ,  B25J11/00 ,  B25J15/08 ,  H01L21/68

Abstract: 本实用新型公开了一种用于晶圆传输的机械手装置，包括：机械手指、固定模块和机械臂；所述机械手指通过固定模块与机械臂连接，机械手指用于承载晶圆；机械手指上均布有多个防滑垫，所述防滑垫用于提供摩擦力，以防止晶圆滑动；所述固定模块上设有调平组件，所述调平组件用于实现机械手指进行水平校准。本实用新型具有结构紧凑、体积小巧、稳定性高等特点，弥补了现有技术中夹持式、真空吸附等机械手指的使用空间的局限性。