公开(公告)号：CN118884289A

公开(公告)日：2024-11-01

申请号：CN202410803494.0

申请日：2024-06-20

Applicant: 北京烁科中科信电子装备有限公司

Inventor： 尹进峰 ,  陈辉 ,  林萍 ,  李进 ,  程全森 ,  李晓其 ,  高国珺 ,  于兆昕

IPC: G01R31/40 ,  G01R31/12

Abstract: 本发明公开了一种离子注入机的高压电源间隙放电测试装置，包括间隙放电组件、间隙控制驱动机构、放电控制器和待测高压电源；所述间隙放电组件包括高压电位引出电极和地电位引出电极，所述高压电位引出电极与所述地电位引出电极之间平行布置，所述高压电位引出电极与待测高压电源相连；所述放电控制器与所述间隙控制驱动机构相连，用于控制所述间隙控制驱动机构来调整高压电位引出电极与所述地电位引出电极之间的放电间隙距离；所述放电控制器与待测高压电源相连，用于控制所述待测高压电源输出目标电压并检测高压电源的状态信息。本发明具有结构简单、操作简便等优点。