金刚石n型半导体及其制造方法、半导体元件及电子发射元件

    公开(公告)号:CN1883052A

    公开(公告)日:2006-12-20

    申请号:CN200480033959.X

    申请日:2004-11-17

    CPC classification number: H01L29/1602

    Abstract: 本发明涉及在较大的温度范围中充分降低载流子浓度的变化量的金刚石n型半导体等。该金刚石n型半导体,具备金刚石基板和在其主面上形成的被判定为n型的金刚石半导体。该金刚石半导体,在被判定为n型的温度区域内的一部分温度中,载流子浓度(电子浓度)的温度依存性显示负的相互关系的同时,霍尔系数的温度依存性显示正的相互关系。具有这种特性的金刚石n型半导体,例如可以通过一边将施主元素以外的杂质元素导入金刚石基板,一边形成大量掺入施主元素的金刚石半导体后获得。

    制备n-型半导体金刚石的方法及n-型半导体金刚石

    公开(公告)号:CN1708834A

    公开(公告)日:2005-12-14

    申请号:CN200380100646.7

    申请日:2003-12-22

    Abstract: 本发明制备n-型半导体金刚石的方法的特征在于,通过向结合有10ppm或以上N的单晶金刚石中注入Li离子,使得其中含有10ppm的Li离子,来制备结合有Li和N的金刚石,或者,在用Li和N离子掺杂单晶金刚石的过程中,注入离子,使得在后注入Li和N浓度各为10ppm或以上处的离子注入深度将会重叠,来制备结合有Li和N的金刚石,然后在800℃或以上至低于1800℃的温度退火金刚石,以电激活Li和N且恢复金刚石的晶体结构。在本发明中,n-型半导体金刚石在从晶体面至相同的深度结合了各为10ppm或以上的Li和N,其中其薄层电阻为107Ω/□或更低。

    金刚石磁传感器
    40.
    发明授权

    公开(公告)号:CN110325869B

    公开(公告)日:2022-06-24

    申请号:CN201880012808.8

    申请日:2018-02-21

    Abstract: 一种金刚石磁传感器,所述金刚石磁传感器包括:金刚石,所述金刚石包含至少一个NV—中心;微波发生器,所述微波发生器向所述金刚石发射微波;激发光发生器,所述激发光发生器向所述金刚石的NV—中心发射激发光;以及荧光传感器,所述荧光传感器接收从所述金刚石的NV—中心产生的荧光,所述荧光金刚石磁传感器包括模式测量装置,所述模式测量装置基于由所述荧光传感器感测的荧光强度的变化来测量磁场强度的时间变化模式。

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