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公开(公告)号：CN105210161A
公开(公告)日：2015-12-30
申请号：CN201480026067.0
申请日：2014-07-24
Applicant: 三菱综合材料株式会社
IPC: H01C7/04 , C04B35/581 , C23C14/34 , G01K7/22 , H01C17/12
CPC classification number: G01K7/22 , C01B21/0602 , C01P2002/72 , C01P2004/04 , C01P2006/32 , C04B35/58007 , C04B35/58042 , C04B35/581 , C04B2235/40 , C04B2235/402 , C04B2235/404 , C04B2235/405 , C04B2235/407 , C04B2235/6584 , C04B2235/6585 , C04B2235/767 , C04B2235/81 , C23C14/0036 , C23C14/0641 , C23C14/0676 , C23C14/34 , C23C14/5826 , H01C7/04 , H01C7/041 , H01C17/12
Abstract: 本发明的用于热敏电阻的金属氮化物材料，由以通式：MxAly(N1-wOw)z表示的金属氮化物构成，其中，M表示Fe、Co、Mn、Cu及Ni的至少一种，0.70≤y/(x+y)≤0.98、0.45≤z≤0.55、0＜w≤0.35、x+y+z＝1，其结晶结构为六方晶系的纤锌矿型的单相。该热敏电阻用金属氮化物材料的制造方法具有成膜工序，所述成膜工序使用M-Al合金溅射靶在含氮及氧的气氛中进行反应性溅射而成膜，其中，M表示Fe、Co、Mn、Cu及Ni的至少一种。
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公开(公告)号：CN104700969A
公开(公告)日：2015-06-10
申请号：CN201510058120.1
申请日：2008-07-31
Applicant: 三菱综合材料株式会社
IPC: H01C7/04
CPC classification number: H01C7/008 , C04B35/016 , C04B35/42 , C04B2235/3225 , C04B2235/3227 , C04B2235/3241 , C04B2235/3267 , C04B2235/80 , H01C7/043 , H01C17/06533
Abstract: 本发明公开了一种热敏电阻用金属氧化物烧结体，含有通式La(Cr1－xMnx)O3(x＝0.0～0.6)所示的复合氧化物。此外，热敏电阻元件(3)包括热敏电阻用金属氧化物烧结体(2)和一对导线(1)，每条导线的一端固定在热敏电阻用金属氧化物烧结体(2)上。
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公开(公告)号：CN104376939A
公开(公告)日：2015-02-25
申请号：CN201410381828.6
申请日：2014-08-06
Applicant: 三菱综合材料株式会社
IPC: H01C7/04
CPC classification number: C30B25/06 , C23C14/0641 , C23C14/5826 , C23C14/586 , C30B29/38 , C30B33/04 , H01C7/008 , H01C7/041
Abstract: 本发明提供一种热敏电阻用金属氮化物材料及其制造方法以及薄膜型热敏电阻传感器，该热敏电阻用金属氮化物材料能够在非烧成条件下直接形成在薄膜等上，且具有高耐热性而可靠性较高。本发明的用于热敏电阻的金属氮化物材料，由以通式：(M1-wAw)xAlyNz表示的金属氮化物构成，其中，M表示Ti、V、Cr、Mn、Fe及Co中的至少一种，并且A表示Sc、Zr、Mo、Nb及W中的至少一种，0.0＜w＜1.0、0.70≤y/(x+y)≤0.98、0.4≤z≤0.5、x+y+z＝1，其结晶结构为六方晶系的纤锌矿型的单相。该热敏电阻用金属氮化物材料的制造方法具有成膜工序，所述成膜工序使用M-A-Al合金溅射靶在含氮气氛中进行反应性溅射而成膜。
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公开(公告)号：CN102300829B
公开(公告)日：2014-04-23
申请号：CN200980155791.2
申请日：2009-07-17
Applicant: 三菱综合材料株式会社
CPC classification number: H01C7/008 , C01G25/02 , C01G45/1264 , C01P2002/34 , C01P2002/50 , C01P2002/52 , C01P2006/32 , C04B35/016 , C04B35/42 , C04B35/6262 , C04B35/62675 , C04B35/62685 , C04B35/63416 , C04B2235/3206 , C04B2235/3208 , C04B2235/3213 , C04B2235/3217 , C04B2235/3224 , C04B2235/3225 , C04B2235/3227 , C04B2235/3229 , C04B2235/3241 , C04B2235/3244 , C04B2235/3246 , C04B2235/3263 , C04B2235/3265 , C04B2235/3267 , C04B2235/6021 , C04B2235/662 , C04B2235/768 , H01C17/06533
Abstract: 本发明公开了热敏电阻用金属氧化物烧结体，其包括以下通式表示的复合氧化物：La1-yAy(Cr1-xMnx)O3(前提是A表示Ca或Sr中至少一种，且x和y满足0.0≤x≤1.0和0.0＜y≤0.7)。本发明还公开了热敏电阻元件(3)，其包括热敏电阻用金属氧化物烧结体(2)；和各自具有一端固定于热敏电阻用金属氧化物烧结体(2)的至少一对导线(1)。
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公开(公告)号：CN102194559A
公开(公告)日：2011-09-21
申请号：CN201110037652.9
申请日：2011-02-11
Applicant: 三菱综合材料株式会社
IPC: H01C7/04
Abstract: 本发明提供一种热敏电阻元件及其制造方法，该热敏电阻元件能够抑制绝缘体的量的同时，比以往结构大幅度地提高阻抗值。其具备有：板状的金属氧化物烧结体(2)；绝缘层(3)，形成在分别除了作为电极接合部(2a)这一部分以外的该金属氧化物烧结体(2)的上下面；以及一对电极层(4)，在金属氧化物烧结体(2)的上下面至少形成于电极接合部(2a)。并且，在金属氧化物烧结体(2)的原料中混合有通过烧结使一部分在表面以绝缘薄膜的形式析出的绝缘材料，绝缘层(3)为在金属氧化物烧结体(2)的烧结时析出于表面的绝缘薄膜。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN104838453B
公开(公告)日：2017-07-04
申请号：CN201380060807.8
申请日：2013-11-28
Applicant: 三菱综合材料株式会社
CPC classification number: H01C7/008 , C23C14/0036 , C23C14/0641 , C23C14/34 , C23C14/3414 , G01K7/22 , H01C7/042 , H01C17/06513 , H01C17/12
Abstract: 本发明提供一种热敏电阻用金属氮化物材料及其制造方法以及薄膜型热敏电阻传感器，该热敏电阻用金属氮化物材料能够在非烧成条件下直接成膜于薄膜等上，且具有高耐热性而可靠性较高。用于热敏电阻的金属氮化物材料，由以通式：CrxAlyNz表示的金属氮化物构成，其中，0.70≤y/(x+y)≤0.95、0.4≤z≤0.5、x+y+z＝1，其结晶结构为六方晶系的纤锌矿型的单相。该热敏电阻用金属氮化物材料的制造方法具有成膜工序，所述成膜工序使用Cr‑Al合金溅射靶在含氮气氛中进行反应性溅射而成膜。
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公开(公告)号：CN105122385A
公开(公告)日：2015-12-02
申请号：CN201480022226.X
申请日：2014-05-26
Applicant: 三菱综合材料株式会社
CPC classification number: H01C7/008 , C01B21/0602 , C01P2006/32 , C23C14/0036 , C23C14/0641 , C23C14/5826 , C30B23/02 , C30B29/38 , G01K7/22 , H01C7/006 , H01C7/04 , H01C17/12
Abstract: 本发明提供一种热敏电阻用金属氮化物材料及其制造方法以及薄膜型热敏电阻传感器，该热敏电阻用金属氮化物材料能够在非烧成条件下直接成膜于薄膜等上，且具有高耐热性而可靠性较高。本发明的热敏电阻用金属氮化物材料是用于热敏电阻的金属氮化物材料，由以通式：VxAlyNz表示的金属氮化物构成，其中，0.70≤y/(x+y)≤0.98、0.4≤z≤0.5、x+y+z＝1，其结晶结构为六方晶系的纤锌矿型的单相。该热敏电阻用金属氮化物材料的制造方法具有成膜工序，所述成膜工序使用V-Al合金溅射靶在含氮气氛中进行反应性溅射而成膜。
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公开(公告)号：CN104838453A
公开(公告)日：2015-08-12
申请号：CN201380060807.8
申请日：2013-11-28
Applicant: 三菱综合材料株式会社
CPC classification number: H01C7/008 , C23C14/0036 , C23C14/0641 , C23C14/34 , C23C14/3414 , G01K7/22 , H01C7/042 , H01C17/06513 , H01C17/12
Abstract: 本发明提供一种热敏电阻用金属氮化物材料及其制造方法以及薄膜型热敏电阻传感器，该热敏电阻用金属氮化物材料能够在非烧成条件下直接成膜于薄膜等上，且具有高耐热性而可靠性较高。用于热敏电阻的金属氮化物材料，由以通式：CrxAlyNz表示的金属氮化物构成，其中，0.70≤y/(x+y)≤0.95、0.4≤z≤0.5、x+y+z＝1，其结晶结构为六方晶系的纤锌矿型的单相。该热敏电阻用金属氮化物材料的制造方法具有成膜工序，所述成膜工序使用Cr-Al合金溅射靶在含氮气氛中进行反应性溅射而成膜。
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公开(公告)号：CN104797734A
公开(公告)日：2015-07-22
申请号：CN201380060050.2
申请日：2013-11-27
Applicant: 三菱综合材料株式会社
CPC classification number: C23C14/0641 , C23C14/0036 , C23C14/3414 , C23C14/5826 , C23C14/586 , G01K7/22 , H01C7/008 , H01C7/042 , H01C17/06513
Abstract: 本发明提供一种热敏电阻用金属氮化物材料及其制造方法以及薄膜型热敏电阻传感器，该热敏电阻用金属氮化物材料能够在非烧成条件下直接成膜于薄膜等上，且具有高耐热性而可靠性较高。本发明的用于热敏电阻的金属氮化物材料，由以通式：(Ti1-wCrw)xAlyNz表示的金属氮化物构成，其中，0.0＜w＜1.0、0.70≤y/(x+y)≤0.95、0.4≤z≤0.5、x+y+z＝1，其结晶结构为六方晶系的纤锌矿型的单相。
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公开(公告)号：CN104425090A
公开(公告)日：2015-03-18
申请号：CN201410432236.2
申请日：2014-08-28
Applicant: 三菱综合材料株式会社
IPC: H01C7/02
CPC classification number: G01K7/226 , C23C14/0036 , C23C14/0641 , C23C14/5826 , H01C1/1406 , H01C7/006 , H01C7/008 , H01C17/06513 , H01C17/12
Abstract: 本发明提供一种热敏电阻用金属氮化物材料及其制造方法以及薄膜型热敏电阻传感器，该热敏电阻用金属氮化物材料能够在非烧成条件下直接成膜在薄膜等上，且具有高耐热性且可靠性较高。本发明的用于热敏电阻的金属氮化物材料，由以通式：(M1-wAw)xAlyNz表示的金属氮化物构成，其中，M表示选自Ti、V、Cr、Mn、Fe及Co中的至少一种，并且A表示选自Mn、Cu、Ni、Fe及Co中的至少一种且与所选的所述M不同的元素，0.0＜w＜1.0、0.70≤y/(x+y)≤0.98、0.4≤z≤0.5、x+y+z＝1，其结晶结构为六方晶系的纤锌矿型的单相。该热敏电阻用金属氮化物材料的制造方法具有成膜工序，所述成膜工序使用M-A-Al合金溅射靶在含氮气氛中进行反应性溅射而成膜。
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