含金属光刻胶显影剂组合物及图案形成方法

    公开(公告)号:CN117348341A

    公开(公告)日:2024-01-05

    申请号:CN202310445626.2

    申请日:2023-04-24

    Abstract: 本发明提供一种含金属光刻胶显影剂组合物,及一种包含使用所述组合物进行显影的步骤的图案形成方法,且所述含金属光刻胶显影剂组合物包含:有机溶剂;以及至少一种添加剂,选自亚磷酸类化合物、次磷酸类化合物、亚硫酸类化合物以及氧肟酸类化合物,其中包含约0.0001重量%至小于约1.0重量%的量的所述添加剂。含金属光刻胶显影剂组合物可使曝光工艺之后存在于含金属光刻胶膜中的缺陷最小化且实现容易显影,由此实现极佳对比度特性、极佳敏感性以及减小的线边缘粗糙度。

Patent Agency Ranking