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公开(公告)号：CN107646087A
公开(公告)日：2018-01-30
申请号：CN201680029734.X
申请日：2016-05-18
Applicant: 卡尔蔡司SMT有限责任公司
CPC classification number: G01B9/02039 , B21D11/10 , C03B37/15 , G01B9/02028 , G01B9/02032 , G01B9/02057 , G01B9/02072 , G01B11/2441 , G01B2290/30 , G01M11/005 , G01M11/0264 , G02B5/08 , G02B13/143 , G03F7/702 , G03F7/706
Abstract: 本发明涉及干涉式地确定被测装置(14)的表面(12)的形状的测量布置(10)。所述测量布置(10)包括提供输入波(18)的光源(16)和衍射光学元件(24)。衍射光学元件(24)适当地设计为从输入波(18)通过衍射分别产生测试波(26)和参考波(28)，该测试波指向被测装置(14)并且具有至少部分适配于光学表面(12)的期望的形状的波前。所述测量布置(10)还包含用于参考波(28)的背向反射的反射光学元件(30)、以及在捕获平面(48)中捕获干涉图的捕获装置(36)，该干涉图由与被测装置(14)相互作用后的测试波(26)和反射的参考波(28)分别在所述衍射光学元件(24)处的另一次衍射之后的叠加产生。本发明还涉及确定被测装置(14)的表面形状的相应方法。
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公开(公告)号：CN104685317B
公开(公告)日：2017-12-22
申请号：CN201380051045.5
申请日：2013-09-27
Applicant: 卡尔蔡司SMT有限责任公司
Inventor： J.赫茨勒
CPC classification number: G01B11/2441 , G01B9/02028 , G01B9/02039 , G01B9/02057 , G01B9/02072 , G01M11/005 , G01M11/0271 , G02B5/1871 , G02B5/32 , Y10T29/49771
Abstract: 提供了一种衍射光学元件(50)，具有基板(52)和布置在其上的衍射结构图案(54)。所述衍射结构图案构造为将辐射至其上的平面或球面输入波(42)转换为：1)至少四个分离的输出波，其中，所述输出波中的至少一个是非球面波，所述输出波中的至少另外一个是球面波(58；70)，所述输出波中的至少另外两个分别是平面波(60)或球面波(72，74)；2)至少三个分离波，其中的至少一个是非球面波，另外两个是球面或平面波；3)至少三个球面波。衍射光学元件用在干涉测量方法和装置中，用于确定光学元件的光学表面的实际形状与预期形状的偏离。光学元件制造成具有光学表面，用上述方法和装置测量的光学表面与预期形状的偏离位于预定水平之下。
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公开(公告)号：CN103842769B
公开(公告)日：2017-12-15
申请号：CN201280048126.5
申请日：2012-08-02
Applicant: 加利福尼亚大学董事会
IPC: G01B9/02 , G01N33/483
CPC classification number: G01N33/57492 , G01B9/02057 , G01B9/02089 , G01B9/0209 , G01B11/0675 , G01N33/502 , G01N33/5026
Abstract: 癌症治疗的核心问题是肿瘤细胞群中的单体细胞如何响应旨在阻止它们生长的药物。然而，无论是癌性细胞还是生理学细胞，细胞的绝对生长、它们物理质量上的变化，难于直接用常规技术测量。本发明的实施方式提供用于对暴露于变化环境的细胞的细胞质量进行快速的、实时定量的活细胞干涉测量法(LCI)。总之，LCI提供用于评估细胞群来确定、监测和测量单个细胞对例如对治疗用药物的响应的观念上的发展。
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公开(公告)号：CN107110640A
公开(公告)日：2017-08-29
申请号：CN201680005622.0
申请日：2016-05-16
Applicant: CKD株式会社
CPC classification number: G01B9/0203 , G01B9/02007 , G01B9/02011 , G01B9/02018 , G01B9/02024 , G01B9/02027 , G01B9/02057 , G01B9/02079 , G01B9/02081 , G01B11/2441 , G01B2290/45 , G01B2290/70 , G01J3/0205 , H01L22/12 , H05K3/00
Abstract: 提供一种三维测量装置，能够利用波长不同的两种光扩大测量范围，并且提高测量効率。三维测量装置(1)包括：偏振分光器(20)，能够将入射的预定的光分割为偏振光方向彼此正交的两种偏振光，将一者作为测量光照射至工件(W)且将另一者作为参照光照射至参照面(23)，并且将它们再次合成而射出；第一投光系统(2A)，使具有第一波长的第一光入射至该偏振分光器(20)的第一面(20a)；第二投光系统(2B)，使具有第二波长的第二光入射至偏振分光器(20)的第二面(20b)；第一拍摄系统(4A)，能够拍摄从偏振分光器(20)的第二面(20b)射出的所述第一光；以及第二拍摄系统(4B)，能够拍摄从偏振分光器(20)的第一面(20a)射出的所述第二光。
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公开(公告)号：CN103635775B
公开(公告)日：2016-12-28
申请号：CN201280032164.1
申请日：2012-06-25
Applicant: 赫克斯冈技术中心
Inventor： 托马斯·延森
CPC classification number: G01B9/02049 , G01B9/02004 , G01B9/02057 , G01B9/02065 , G01B9/0209
Abstract: 本发明涉及一种用于测量表面（13）的距离测量方法。产生具有相干长度的激光束以便提供测量辐射（MS）并且在所述表面（13）处作为测量辐射（MS）被发射，所述激光束的波长能通过调制激光源（1）的频率在波长范围被调谐，所述表面位于特定距离范围内。由所述表面（13）背向散射的所述测量辐射（MS）再次被接收并且用来对从参考点到所述表面（13）的距离进行干涉测量，使用了测量干涉仪臂和参考干涉仪臂。所述特定距离范围至少部分地位于所述相干长度外，并且所述测量束被分成两个束部分。其中一个束部分相对于另一个束部分被时间上延迟，使得由所述延迟引起的一个光程差匹配与所述特定距离中的距离加上或减去所述激光的相干长度相对应的光程差。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN104487799A
公开(公告)日：2015-04-01
申请号：CN201380039375.2
申请日：2013-07-18
Applicant: 赫克斯冈技术中心
Inventor： 托马斯·延森
IPC: G01B9/02
CPC classification number: G01B9/02091 , G01B9/02004 , G01B9/02027 , G01B9/02044 , G01B9/0205 , G01B9/02057 , G01B11/14
Abstract: 本发明涉及一种用于测量表面的干涉距离测量装置，使用：至少一个可调谐激光器，该可调谐激光器具有用于生成利用波长斜坡调制的测量辐射；光束路径，该光束路径具有光学发送系统，用于向表面发射测量辐射；以及光学采集系统，用于采集有该表面反向散射的测量辐射，其包括测量臂和基准臂；以及辐射检测器和估计单元，用于确定从距离测量装置的基准点至表面的距离。分别通过针对测量辐射的并行发射的至少一个分束器(13、29)来定义n≥2个通道，在预定的发射时间点将波长斜坡的一个不同的子区域分配至所述通道。
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公开(公告)号：CN102057269B
公开(公告)日：2014-08-13
申请号：CN200980120703.5
申请日：2009-11-23
Applicant: 齐戈股份有限公司
Inventor： 马克·戴维森 , 简·莱塞纳 , 彼得·德格鲁特 , 泽维尔·科洛纳德莱加 , 莱斯利·L·德克
CPC classification number: G01B9/0209 , G01B9/02007 , G01B9/0201 , G01B9/02027 , G01B9/02039 , G01B9/02057 , G01B9/02068 , G01B9/02077 , G01B11/2441 , G01B2290/45 , G01B2290/70 , Y10T29/49002
Abstract: 一种设备包括宽带扫描干涉测量系统，该系统包括光学部件，用以结合来自测试物的测试光和参考光，而在探测器上形成干涉图案。该设备还包括配置为扫描从共用光源至探测器的、所述测试光和参考光之间的光程差(OPD)的台，以及包括探测器的探测器系统，用以记录一系列的光程差增量的每一者的干涉图案，每一个光程差增量的频率定义帧频。光学部件被配置以产生至少二个监测干涉测量信号，当扫描光程差时，干涉测量信号的每一者表示光程差的变化，探测器系统被配置以记录监测干涉测量信号。该设备包括处理器，被配置以对于大于所述帧频的频率的OPD增量，决定所述光程差增量对扰动灵敏度的信息。
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公开(公告)号：CN102460063B
公开(公告)日：2014-04-09
申请号：CN201080027264.6
申请日：2010-06-18
Applicant: 齐戈股份有限公司
CPC classification number: G01B9/02058 , G01B9/02039 , G01B9/02057 , G01B9/02059 , G01B9/0209 , G02B21/14
Abstract: 本发明提供一种使用于干涉仪中的光学总成。光学总成包括第一及第二部分反射表面，沿着光轴被定位且向着光轴被定向于不同的非法线角。第二部分反射表面被配置以接收沿着光学路径透射通过第一部分反射表面的光，将部分的接收光传送至测试物体以限定干涉仪的测量光且将另一部分的接收光朝向第一部分反射表面反射回去以限定用于干涉仪的参考光。参考光在第二及第一部分反射表面间行进至少一次来回的路径。
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公开(公告)号：CN101836072B
公开(公告)日：2013-04-17
申请号：CN200880113315.X
申请日：2008-11-19
Applicant: 株式会社尼康
Inventor： 刘志强
CPC classification number: G01B9/0209 , G01B9/02057
Abstract: 本发明提供一种干涉仪，即使受检面与参照面的表面形状的差别大，也可以测定受检物的表面形状。测定受检物(9)的表面形状的干涉仪具备：具有低空间相干特性的面光源、将面光源与受检物在光学上共轭地配置的导光光学系统(6、8)、具有配置于与受检物在光学上共轭的位置的检测面的光检测器(13)。面光源具有多个相互具有低干涉性的微小面光源。
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公开(公告)号：CN102272549B
公开(公告)日：2013-03-13
申请号：CN200980154403.9
申请日：2009-11-10
Applicant: 齐戈股份有限公司
Inventor： 莱斯利.L.德克
CPC classification number: G01B9/02048 , G01B9/02057 , G01B9/02077 , G01B9/02079 , G01B9/02087 , G01B11/2441
Abstract: 本发明提供一种相移干涉测量(PSI)方法和对应的系统，包括：(i)在测试表面反射回来的测试光与参考表面反射回来的参考光之间记录相位序列中的每个相位的干涉图，该干涉图对于腔的每个不同横向位置定义干涉信号，所述腔由测试表面与参考表面定义；(i)基于至少一些记录的干涉图，计算腔的初始相位图；(iii)基于初始相位图与至少一些记录的干涉图，计算至少一些相移增量的每一个的估计；以及(iv)基于所述估计与至少一些记录的干涉图，计算改善的相位图。
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